检索结果-南通市图书馆

基于电喷高分子薄膜的SAWR湿敏传感器研究

在线全文

同方期刊数据库

学校读者我要写书评

暂无评论

农业工程学报 2010年第10期26卷 104-107页

作者：郭希山雷声李扬朱松明浙江大学生物系统工程与食品科学学院农业生物环境与能源工程研究所杭州310027 浙江大学生物传感器国家专业试验室杭州310027 浙江大学高分子科学与工程学系杭州310027

研究了一种具有高灵敏度、响应快速、重复性好的微型湿敏传感器,可用于植株叶面湿度检测。传感器以单端声表面波谐振器(SAWR)作为基本元件,制备在零温度系数的ST切型石英基底上以消除温度影响,SAWR谐振中心频率为433MHz。使用静电喷雾... 详细信息

研究了一种具有高灵敏度、响应快速、重复性好的微型湿敏传感器,可用于植株叶面湿度检测。传感器以单端声表面波谐振器(SAWR)作为基本元件,制备在零温度系数的ST切型石英基底上以消除温度影响,SAWR谐振中心频率为433MHz。使用静电喷雾的方法在器件表面形成微纳尺度的含硅聚电解质高分子粒子簇薄膜作为感湿材料。结果表明,所研制湿敏传感器具有相对湿度检测范围广(10%～97%)、灵敏度高(500Hz/%RH)、响应时间短(5s),测量精度高(可达3%)等优点。

关键词：湿敏传感器静电喷雾含硅聚电解质声表面波谐振器

基于MWCNTs/Nafion复合膜的高性能声表面波湿敏传感器研究

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

传感技术学报 2011年第6期24卷 813-817页

作者：雷声陈大竞陈裕泉潘敏浙江大学生物传感器国家专业实验室生物医学工程系杭州310027

湿度检测广泛应用于工业、医疗等各个领域,对高性能湿度传感器的需求日趋迫切。首先对声表面波传感器敏感机理进行了深入的分析,得到影响其性能的主要因素。在此基础上研制出一种以多壁碳纳米管(MWCNTs)和Nafion复合材料为湿敏膜,高频... 详细信息

湿度检测广泛应用于工业、医疗等各个领域,对高性能湿度传感器的需求日趋迫切。首先对声表面波传感器敏感机理进行了深入的分析,得到影响其性能的主要因素。在此基础上研制出一种以多壁碳纳米管(MWCNTs)和Nafion复合材料为湿敏膜,高频声表面波谐振器为换能元件的高性能湿敏传感器。实验表明,制得的湿敏传感器在宽湿度范围内(10%RH～80%RH)具有很高的检测灵敏度(大于300 kHz%RH),良好的线性度及快速的响应速度(传感器性能的影响。

关键词：湿敏传感器声表面波复合材料碳纳米管

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

Pt/TiO2二极管湿敏传感器

半导体技术 1998年第5期23卷 29-32,42页

作者：孙德明肖梦秋汪荣昌戎瑞芬复旦大学材料科学系

Ｐｔ常被用来在金属氧化物半导体上做肖特基接触。在常温下，Ｐｔ／ＴｉＯ２界面处的电子电导对Ｐｔ／ＴｉＯ２肖特基势垒高度的变化非常敏感。本文描述了利用该性质制造的湿敏传感器的性能，并讨论了因水在Ｐｔ／ＴｉＯ２界面处的化学... 详细信息

Ｐｔ常被用来在金属氧化物半导体上做肖特基接触。在常温下，Ｐｔ／ＴｉＯ２界面处的电子电导对Ｐｔ／ＴｉＯ２肖特基势垒高度的变化非常敏感。本文描述了利用该性质制造的湿敏传感器的性能，并讨论了因水在Ｐｔ／ＴｉＯ２界面处的化学吸附，引起表面Ｆｅｒｍｉ能级改变，影响Ｐｔ／ＴｉＯ２肖特基势垒的高度，从而导致了Ｉ－Ｖ曲线变化的物理过程，对器件制造过程中的工艺问题也有所论述。

关键词：湿敏传感器肖特基势垒半导体湿敏器件

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

新型湿敏传感器的测试

气象科学 1994年第4期14卷 376-380页

作者：李汝谅莫天麟顾庆超南京大学大气科学系南京大学高分子科学与工程系

本文讨论了正在开发中的耐水性高分子新型湿敏传感器的长期稳定性、初步证明这种传感器具有实用前景，所得结论对今后设计实用电路具有一定的指导意义。

关键词：湿度传感器稳定性传感器湿敏传感器湿度监测

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

新型Ti_2O_3基湿敏传感器的研制

材料科学与工程学报 2019年第2期37卷 300-303页

作者：张文倩张敏王曼卡马勒.托克达尔汗新疆大学物理科学与技术学院新疆乌鲁木齐830046

本研究探索了Ti_2O_3的湿敏性能,通过水热法合成Ti_2O_3晶体材料,并对其物相结构和形貌进行表征。随后将Ti_2O_3涂覆于碳叉指电极上制作出Ti_2O_3基湿敏传感器,该传感器灵敏度高,湿滞小,响应时间较快。当环境湿度从11%RH(相对湿度)增至9... 详细信息

本研究探索了Ti_2O_3的湿敏性能,通过水热法合成Ti_2O_3晶体材料,并对其物相结构和形貌进行表征。随后将Ti_2O_3涂覆于碳叉指电极上制作出Ti_2O_3基湿敏传感器,该传感器灵敏度高,湿滞小,响应时间较快。当环境湿度从11%RH(相对湿度)增至95%RH时,该传感器的电阻值下降了两个数量级。Ti_2O_3基湿敏传感器的最大湿滞值小于2%RH,响应时间小于5。通过复阻抗谱讨论了传感器的敏感机理。研究结果显示出Ti_2O_3在制作湿敏传感器方面的潜在应用价值。

关键词： Ti2O3 湿敏传感器半导体

通孔结构阳极氧化铝湿敏传感器的制备与性能表征

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

科学通报 2007年第12期52卷 1396-1399页

作者：凌志远陈烁烁王金池李屹华南理工大学材料学院电子材料科学与工程系广州510640

以0.5mol/L草酸为电解液,在40V直流电压、0～5℃下采用二步氧化法制备通孔阳极氧化铝膜片,用射频磁控溅射在膜片上下表面沉积金电极,成功地制备了一种通孔结构湿敏传感器.湿度-阻抗特性测试显示,该传感器不但可在12%～97%的相对湿度范... 详细信息

以0.5mol/L草酸为电解液,在40V直流电压、0～5℃下采用二步氧化法制备通孔阳极氧化铝膜片,用射频磁控溅射在膜片上下表面沉积金电极,成功地制备了一种通孔结构湿敏传感器.湿度-阻抗特性测试显示,该传感器不但可在12%～97%的相对湿度范围内具有良好的阻抗-湿度线性变化关系,而且具有响应恢复速度快、重复稳定性好的特征.

关键词：湿敏传感器阳极氧化铝多孔电极

纳米TiO_2修饰MoS_2薄膜湿敏传感器实验研究

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

实验技术与管理 2018年第2期35卷 30-33页

作者：张冬至王冬瑞周兰娟任旭虎中国石油大学(华东)信息与控制工程学院山东青岛266580

通过水热法制备了MoS_2和TiO_2,采用层层自组装制作电容型薄膜湿敏传感器,在11%~97%RH湿度范围内的测试结果表明其灵敏度高达150 270%,而且具有快速响应及恢复特性。采用STM32、结合LabVIEW进行了硬件电路设计以及程序编写,实现了湿度... 详细信息

通过水热法制备了MoS_2和TiO_2,采用层层自组装制作电容型薄膜湿敏传感器,在11%~97%RH湿度范围内的测试结果表明其灵敏度高达150 270%,而且具有快速响应及恢复特性。采用STM32、结合LabVIEW进行了硬件电路设计以及程序编写,实现了湿度测量和人体呼吸频率的监控,构建了人机界面友好的实验测试平台。

关键词：湿敏传感器 MoS2 TiO2 自组装

电化学法制备阳极多孔氧化铝及其在湿敏传感器中的应用

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

电化学法制备阳极多孔氧化铝及其在湿敏传感器中的应用

作者：何增华上海交通大学

学位级别：硕士

电化学氧化高纯铝片制得的多孔氧化铝模板具有独特的规则有序的纳米孔阵列,在纳米技术、物理光电子学等方面具有广泛的应用。该材料的制备方法简单低廉,近几年来越来越多的引起了人们的关注及深入研究。本文首先介绍了纳米材料的发展历... 详细信息

电化学氧化高纯铝片制得的多孔氧化铝模板具有独特的规则有序的纳米孔阵列,在纳米技术、物理光电子学等方面具有广泛的应用。该材料的制备方法简单低廉,近几年来越来越多的引起了人们的关注及深入研究。本文首先介绍了纳米材料的发展历史,制备工艺和研究手段。接下来介绍了传感器分类,湿敏传感器原理和分类,并详述湿敏传感器的主要性能指标。本文主要研究高场条件下,电化学方法制备高度有序纳米多孔氧化铝模板的制备工艺及在湿敏传感器中的应用。在传统条件下,多孔阳极氧化铝的大多在低场条件下制备,由于反应速率较慢,限制了其进一步应用。高场条件下反应较快,但制备工艺很不完善,为此,我们研究了多孔氧化铝在高场下制备工艺。在研究过程中,我们得到了高场条件下完整的电流时间曲线。通过显微研究,我们发现高场条件下氧化铝的生长过程和低场有很多区别:在电流特性曲线上,高场的电流上升阶段是孔增长阶段,而低场则是孔引发阶段。孔间距是随时间变化的过程,在一次氧化中,表面的孔距是氧化10min后的一半。这一方面,我们运用电流变化导致的应力变化来解释。同时这种应力变化也会造成表面的塑性破坏等特点。由于多孔氧化铝高度有序的孔阵列结构,其孔隙率非常高,同时氧化铝对于湿度有很好的响应性,所以多孔阳极氧化铝也常被用来制备湿敏传感器。高场电化学氧化得到的氧化铝薄膜中含有高含量的杂质离子,而杂质离子有助于电子导电,这会使得在低湿度区域湿敏传感器有较好的灵敏度。在文中,我们通过扩孔改变表面的杂质分布来改善低湿度的灵敏度,并且适当降低高湿度灵敏度。由于在草酸中进行氧化,氧化铝薄膜内含有草酸根阴离子,我们进行扩孔工艺,使得草酸根分解产生二氧化碳。由于二氧化碳的解离度很高,在水溶液中极易解离成项质子。根据高湿度质子导电的机理,很容易提高湿敏传感器的灵敏度。由于低湿度灵敏度提高,高湿度区域灵敏度降低,传感器的线性响应提高。以上研究得到了国家自然科学基金（10874115）,国家重点基础研究项目（2010CB933702）及上海市纳米科技专项（0952nm01900）,上海市重大基础研究目（08JC1411000）和中国高等教育博士点研究基金的资助,特此感谢!

关键词：纳米材料多孔阳极氧化铝高场湿敏传感器灵敏度

同方学位论文库评论

在线全文

同方学位论文库

学校读者我要写书评

暂无评论

电容式碳纳米管湿敏传感器研究

电容式碳纳米管湿敏传感器研究

作者：张中鑫哈尔滨工业大学

学位级别：硕士

自1991年Iijima发现碳纳米管(CNTs)以来,碳纳米管以其比表面积大,吸附性能好,化学稳定性高,以及其独特的电学特性等性质而使得碳纳米管湿度传感器具有灵敏度高、稳定性好等优点,因此其具有良好的应用前景。本文主要进行了对碳纳米管湿... 详细信息

自1991年Iijima发现碳纳米管(CNTs)以来,碳纳米管以其比表面积大,吸附性能好,化学稳定性高,以及其独特的电学特性等性质而使得碳纳米管湿度传感器具有灵敏度高、稳定性好等优点,因此其具有良好的应用前景。本文主要进行了对碳纳米管湿敏传感器的研究。碳纳米管薄膜内部存在大量的具有各种孔径的毛细孔,水蒸气能够在这些毛细孔中发生毛细凝聚现象。根据此原理,利用丝网印刷方法制作了多壁碳纳米管(MWNTs)薄膜和掺杂低温玻璃粉的多壁碳纳米管(MWNTs-SiO2)薄膜。又因为水的相对介电常数(大约80)远大于空气(大约1),传感器电容随湿度变化而变化,因此能够进行湿度检测。据此制作了电容式碳纳米管湿敏传感器。将碳纳米管用丝网印刷工艺印制在铜电极上,制作了平行板电容式碳纳米管湿敏传感器。并利用单片集成差分电容检测电路对传感器电容信号进行处理,最终实现湿度到电压信号的转换。碳纳米管的使用可以有效降低水气的饱和蒸气压;同时还发现较小的极板间距能够提高传感器的灵敏度,此传感器具有响应速度较快和重复性好等优点。利用蒸镀和光刻的工艺制作出Al电极、利用丝网印刷方式制作出碳纳米管薄膜,从而制作出叉指电容式碳纳米管湿敏传感器。MWNTs薄膜的灵敏度在测试频率为1kHz左右时候最大(低于1kHz不稳定),为23%(相对湿度从11%到97%);而MWNTs-SiO2薄膜的灵敏度能提高到300%(相对湿度从11%到97%)以上,并且其具备更好的噪声特性;利用555多谐振荡器电路将传感器的电容信号转变为频率信号输出进行检测。发现经过工艺优化而制得的传感器的灵敏度更高,并且其感湿曲线具有较好的线性度。以上所做工作为下一步的研究工作奠定了较好的基础。

关键词：碳纳米管湿敏传感器毛细凝聚 555多谐振荡电路