新型Ti_2O_3基湿敏传感器的研制

作     者：张文倩 张敏 王曼 卡马勒.托克达尔汗 ZHANG Wenqian;ZHANG Min;WANG Man;TUOKEDAERHAN.Kamale

作者机构：新疆大学物理科学与技术学院新疆乌鲁木齐830046 

出 版 物：《材料科学与工程学报》 (Journal of Materials Science and Engineering)

年 卷 期：2019年第37卷第2期

页      面：300-303页

核心收录：

学科分类：080202[工学-机械电子工程] 08[工学] 0802[工学-机械工程] 

基　　金：国家自然科学基金资助项目(51602273 51160274) 新疆大学大学生创新训练计划资助项目(201610755051) 

主　　题：Ti2O3 湿敏传感器 半导体 

摘      要：本研究探索了Ti_2O_3的湿敏性能,通过水热法合成Ti_2O_3晶体材料,并对其物相结构和形貌进行表征。随后将Ti_2O_3涂覆于碳叉指电极上制作出Ti_2O_3基湿敏传感器,该传感器灵敏度高,湿滞小,响应时间较快。当环境湿度从11%RH(相对湿度)增至95%RH时,该传感器的电阻值下降了两个数量级。Ti_2O_3基湿敏传感器的最大湿滞值小于2%RH,响应时间小于5。通过复阻抗谱讨论了传感器的敏感机理。研究结果显示出Ti_2O_3在制作湿敏传感器方面的潜在应用价值。