检索结果-南通市图书馆

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

液流悬浮超光滑加工硬脆材料去除机理

农业机械学报 2008年第11期39卷 164-168页

作者：曹志强詹建明张富北京七星华创电子股份有限公司宁波大学工学院吉林大学机械科学与工程学院

结合动态压痕断裂力学和粒子冲击磨损理论,建立了纳米磨粒冲击工件表面微观粗糙峰的理论模型,研究了加工区内材料的去除机理,并进行了铝合金和K9玻璃液流悬浮加工实验。理论分析和实验结果表明,液流悬浮超光滑加工是加工液中的纳米磨粒... 详细信息

结合动态压痕断裂力学和粒子冲击磨损理论,建立了纳米磨粒冲击工件表面微观粗糙峰的理论模型,研究了加工区内材料的去除机理,并进行了铝合金和K9玻璃液流悬浮加工实验。理论分析和实验结果表明,液流悬浮超光滑加工是加工液中的纳米磨粒冲击工件表面实现对表面粗糙峰微去除的过程,能够在K9玻璃表面获得无加工变质层和亚表面损伤的纳米级超光滑表面。

关键词：硬脆材料超光滑表面液流悬浮加工机理微去除

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

液流悬浮超光滑纳米加工试验

农业机械学报 2007年第3期38卷 153-155页

作者：曹志强赵继詹建明张富吉林大学机械科学与工程学院

建立了超光滑表面加工的液流悬浮加工系统,并简述了液流悬浮超光滑加工系统及其工作原理。试验实现了光学材料k9玻璃的亚微米去除,并在其表面上获得了纳米级的超光滑表面。试验结果表明,采用液流悬浮加工技术对光学材料进行超光滑加工... 详细信息

建立了超光滑表面加工的液流悬浮加工系统,并简述了液流悬浮超光滑加工系统及其工作原理。试验实现了光学材料k9玻璃的亚微米去除,并在其表面上获得了纳米级的超光滑表面。试验结果表明,采用液流悬浮加工技术对光学材料进行超光滑加工是一种有效方法。

关键词：超光滑加工液流悬浮亚微米去除

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

硅晶片的液流悬浮超光滑加工机理与实验

光学精密工程 2007年第7期15卷 1084-1089页

作者：曹志强赵继陈德祥张富吉林大学机械科学与工程学院吉林长春130022

建立了基于机器人的液流悬浮超光滑加工系统。配置出了适用的悬浮加工液,通过对硅晶片的大量加工实验研究,得到了加工时间、工具转速和粒子浓度对工件表面质量的影响规律。实验结果表明:当加工时间在60 min、工具转速为6 000 r/min上下... 详细信息

建立了基于机器人的液流悬浮超光滑加工系统。配置出了适用的悬浮加工液,通过对硅晶片的大量加工实验研究,得到了加工时间、工具转速和粒子浓度对工件表面质量的影响规律。实验结果表明:当加工时间在60 min、工具转速为6 000 r/min上下、粒子浓度为30 g/L左右时,加工效果最佳。加工后的硅晶片表面粗糙度Ra能达到1.55 nm。深入分析了液流悬浮超光滑加工的去除机理,硅晶片的液流悬浮超光滑加工是机械冲击作用和化学作用的综合结果,加工液中的磨料颗粒有对工件表面的机械冲击作用和对化学反应的催化作用。理论分析和实验结果表明,通过采用液流悬浮加工新技术,可以实现对半导体材料硅晶片的纳米水平的超光滑加工,获得表面无塑性变形和晶格缺陷的纳米精度表面。

关键词：超光滑加工液流悬浮硅晶片去除机理

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

光学玻璃表面液流悬浮研抛加工

吉林大学学报（工学版） 2007年第3期37卷 544-547页

作者：张富赵继庄艳吉林大学机械科学与工程学院长春130022

在研究表面光整加工方法的基础上,提出了一种液流悬浮研抛加工的新工艺方法。研制了基于三坐标数控铣床的液流悬浮研抛试验系统,并对光学玻璃(K9)进行了液流悬浮研抛试验。对研抛过程进行了分析,探讨了脆性材料的去除机理,即在磨粒冲击... 详细信息

在研究表面光整加工方法的基础上,提出了一种液流悬浮研抛加工的新工艺方法。研制了基于三坐标数控铣床的液流悬浮研抛试验系统,并对光学玻璃(K9)进行了液流悬浮研抛试验。对研抛过程进行了分析,探讨了脆性材料的去除机理,即在磨粒冲击和剪切作用下,工件表面是以冲击和剪切的塑性去除方式加工的。试验结果表明:利用液流悬浮SiC纳米磨料研抛的方法可以实现光学玻璃的纳米去除和超光滑表面加工。

关键词：机械制造工艺与设备研抛加工液流悬浮去除机理塑性去除

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

导流式液流悬浮加工流场特性研究

中国机械工程 2012年第12期23卷 1417-1422页

作者：计时鸣何剑敏洪滔於加峰浙江工业大学特种装备制造与先进加工技术教育部/浙江省重点实验室杭州310014

为提高液流悬浮加工的效率,提出一种应用导流模块来改变悬浮液流场特性的液流悬浮加工方法。基于流体动压理论和可实现的k-ε湍流理论,建立导流式液流悬浮加工的动力学模型。研究发现,该加工方法的压力、速度参数在数值上与传统液流悬... 详细信息

为提高液流悬浮加工的效率,提出一种应用导流模块来改变悬浮液流场特性的液流悬浮加工方法。基于流体动压理论和可实现的k-ε湍流理论,建立导流式液流悬浮加工的动力学模型。研究发现,该加工方法的压力、速度参数在数值上与传统液流悬浮加工方法相比分别提高了5.04%和1%,且流体动压力和流体速度的大小与转速成正比,其流体动压力及速度最大值均出现在加工区最小间隙处。实验结果表明:当转速达到6500r/min时,工件加工区表面在加工90min后粗糙度值降至0.018μm,可得到比较理想的加工效果。

关键词：导流液流悬浮数值模拟动压力转速

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

液流悬浮超光滑加工机理及抛光动压力的研究

液流悬浮超光滑加工机理及抛光动压力的研究

作者：朱崇涛吉林大学

学位级别：硕士

光学零件的表面质量是决定光学系统性能优劣的关键因素,在各个领域都有广泛的应用。液流悬浮超光滑表面加工技术作为一种新型的加工技术,是对光学材料表面传统抛光技术的革新,具有很好的应用前景。本文的主要研究内容是建立了可实现在... 详细信息

光学零件的表面质量是决定光学系统性能优劣的关键因素,在各个领域都有广泛的应用。液流悬浮超光滑表面加工技术作为一种新型的加工技术,是对光学材料表面传统抛光技术的革新,具有很好的应用前景。本文的主要研究内容是建立了可实现在加工过程中改变抛光动压力和加工间隙的液流悬浮抛光系统。并在实验中寻找抛光动压力对加工效果的影响规律,得到抛光K9玻璃的实时控制方案。为提高液流悬浮抛光的实时可控性,本文建立了可对抛光动压力实时控制的液流悬浮抛光系统,并对其工作原理进行了分析。配制出适用于K9玻璃的具有粘度合适、稳定性好、分散性好的液流悬浮抛光液。就液流悬浮超光滑抛光分别从理论和实验方面进行了研究。理论方面,从原子表面去除角度出发,对液流悬浮抛光机理进行了研究,阐述了抛光动压力及加工间隙对加工效果的影响。实验方面:研究了抛光动压力与加工间隙、抛光工具转速二者的关系,得到了二者对抛光动压力的影响规律;利用K9玻璃进行抛光实验,得到了抛光动压力和加工间隙对加工效果的影响规律,实验结果和理论分析相符。针对K9玻璃,设计了液流悬浮对其抛光所能达到最佳效果的实时控制方案,为最终实现液流悬浮抛光柔顺控制提供了依据。

关键词：抛光动压力液流悬浮压电叠堆压力传感器

槽形抛光工具形状对液流悬浮抛光加工效果的影响

同方学位论文库评论

在线全文

同方学位论文库

学校读者我要写书评

暂无评论

农业工程学报 2012年第S1期28卷 87-91,384页

作者：计时鸣於加峰洪滔何剑敏浙江工业大学特种装备制造与先进加工技术教育部重点实验室杭州310014

为了研究抛光工具形状对液流悬浮抛光加工的影响,基于液流悬浮抛光系统对柱形和槽形抛光工具在加工中的流体动压力与材料去除进行仿真及试验研究。液流悬浮加工以高速旋转的抛光工具和工件构成润滑副,利用CFD软件分别对柱形及槽形2种抛... 详细信息

为了研究抛光工具形状对液流悬浮抛光加工的影响,基于液流悬浮抛光系统对柱形和槽形抛光工具在加工中的流体动压力与材料去除进行仿真及试验研究。液流悬浮加工以高速旋转的抛光工具和工件构成润滑副,利用CFD软件分别对柱形及槽形2种抛光工具与工件之间的流体进行数值模拟,通过比较2种抛光工具在工件表面流场中形成的流体动压力与流体速度,可知槽形抛光工具有助于增强加工过程中的流体动压力,但对流体速度的提升效果并不明显。通过加工试验,可知在同等加工条件下槽形抛光工具对粗糙度的去除率和去除速率都要优于柱形抛光工具,并能得到粗糙度为21nm加工表面。

关键词：抛光粗糙度仿真液流悬浮流体动压力流体速度

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

硅晶片液流悬浮加工技术的研究

硅晶片液流悬浮加工技术的研究

作者：陈德祥吉林大学

学位级别：硕士

液流悬浮超光滑表面加工是针对新兴的光电子元件表面超精加工而开发的新技术,它集弹性发射加工原理、粒子动力学,流体动力学以及化学于一体,实现纳米水平的加工。本文依据动压理论和弹性发射加工原理,建立了液流悬浮超光滑表面加工系统... 详细信息

液流悬浮超光滑表面加工是针对新兴的光电子元件表面超精加工而开发的新技术,它集弹性发射加工原理、粒子动力学,流体动力学以及化学于一体,实现纳米水平的加工。本文依据动压理论和弹性发射加工原理,建立了液流悬浮超光滑表面加工系统,该系统由机器人、悬浮液供给系统、调速装置、计算机和两自由度工作台以及被加工工件夹持装置等组成。在对硅晶片液流悬浮超光滑表面加工技术进行了理论和实验研究的基础上,分析了硅晶片液流悬浮超光滑表面加工技术的机理,初步建立了硅晶片液流悬浮表面加工技术的数学模型。研制出适用于硅晶片液流悬浮超光滑表面加工用的悬浮液,并研究了加工时间、加工温度、聚亚胺酯旋转工具的转速以及悬浮液的成分及配比对材料去除和加工效果的影响,得到最佳的参数组合。液流悬浮超光滑表面加工的过程是发生在纳米尺度上的一个动态过程,是在一定运行条件下诸多因素的综合作用效果。本文对硅晶片液流悬浮超光滑表面加工进行的研究,是一种全新的获得超光滑表面的加工方法,该技术有着很好的应用前景。课题的研究工作得到了国家自然科学基金资助(自由曲面液流悬浮超光滑加工的研究,编号50175049)的资助。

关键词：超光滑表面硅晶片液流悬浮悬浮加工液

同方学位论文库评论

在线全文

同方学位论文库

学校读者我要写书评

暂无评论

液流悬浮加工的工艺参数研究

机械制造 2007年第4期45卷 31-33页

作者：张富赵继曹志强庄艳吉林大学机械科学与工程学院长春130022

提出了一种液流悬浮研抛加工的新工艺方法,开发了基于三坐标数控铣床的液流悬浮研抛试验系统。通过分析研抛过程的影响因素,确定了以研抛液介质、磨料(SiC)浓度、研抛头转速和研抛时间作为试验考察对象,并对光学玻璃K9进行研抛加工正交... 详细信息

提出了一种液流悬浮研抛加工的新工艺方法,开发了基于三坐标数控铣床的液流悬浮研抛试验系统。通过分析研抛过程的影响因素,确定了以研抛液介质、磨料(SiC)浓度、研抛头转速和研抛时间作为试验考察对象,并对光学玻璃K9进行研抛加工正交试验。试验结果证明了利用液流悬浮纳米磨料的方法可以实现光学晶体材料的亚微米去除和超光滑表面加工,并给出了各影响因素的优选结果。

关键词：超光滑表面液流悬浮试验研究