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液流悬浮超光滑加工中流体动压力对加工效果的影响

Fluid pressure and its effect on hydrodynamic suspension ultra-smooth machining

作     者:曹志强 詹建明 朱崇涛 赵继 CAO Zhi-qiang;ZHAN Jian-ming;ZHU Chong-tao;ZHAO Ji

作者机构:中国科学院电工研究所应用超导重点实验室北京100080 宁波大学工学院浙江宁波315211 吉林大学机械科学与工程学院吉林长春130022 

出 版 物:《光学精密工程》 (Optics and Precision Engineering)

年 卷 期:2008年第16卷第6期

页      面:1069-1074页

核心收录:

学科分类:080903[工学-微电子学与固体电子学] 0809[工学-电子科学与技术(可授工学、理学学位)] 08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程(可授工学、理学学位)] 080502[工学-材料学] 

基  金:国家自然科学基金资助项目(No.50705044) 

主  题:超光滑加工 液流悬浮 流体动压力 加工效果 

摘      要:建立了基于数控装备的液流悬浮超光滑加工系统,研制了可控制加工压力的柔顺加工装置。应用流体动压理论分析了液流悬浮超光滑加工过程中的流体动压力分布规律,研究了工具转速和加工间隙对流体动压力的影响规律,并通过实验得到了加工间隙和流体动压力对加工效果的影响规律。结果表明,随着工具转速的提高,流体动压力逐步增大,在工具转速为6000r/min左右时,流体动压力达到最大值,然后又逐渐减小。随着加工间隙的增大,流体动压力逐步降低,并最终趋于稳定。加工间隙在5~40μm时,加工效果比较明显。在工具转速为6000r/min左右、加工间隙在10μm附近时,流体动压力增强为5N左右,加工效果最佳。

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