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多晶氧化铍陶瓷上金刚石薄膜的生长

中国有色金属学报 2009年第4期19卷 766-772页

作者：陈永勤余志明方梅魏秋平陈爽中南大学材料科学与工程学院长沙410083 中南大学粉末冶金国家重点实验室长沙410083 中南大学有色金属材料科学与工程教育部重点实验室长沙410083

采用热丝化学气相沉积(HFCVD)系统,以CH4和H2为反应气体,在多晶氧化铍陶瓷基体上沉积了金刚石薄膜。采用场发射扫描电子显微镜(FESEM)、原子力显微镜(AFM)和激光热物性测试仪进行检测分析,研究工艺参数对金刚石薄膜生长及膜/基复合体热... 详细信息

采用热丝化学气相沉积(HFCVD)系统,以CH4和H2为反应气体,在多晶氧化铍陶瓷基体上沉积了金刚石薄膜。采用场发射扫描电子显微镜(FESEM)、原子力显微镜(AFM)和激光热物性测试仪进行检测分析,研究工艺参数对金刚石薄膜生长及膜/基复合体热学性能的影响。结果表明:随着CH4浓度的增加(或CH4浓度一定,反应气体总流量增加),金刚石晶粒尺寸逐渐减小,膜/基复合体的热导率逐渐降低;当CH4浓度为2%(体积分数),流量为30cm3/min,压强为1.33kPa时,沉积的膜/基复合体的热导率最高,可达2.663W/(cm·K)。

关键词：金刚石薄膜氧化铍热丝化学气相沉积工艺参数热导率

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X-射线荧光光谱测定氧化铍中杂质元素

分析化学 2000年第6期28卷 756-758页

作者：包生祥王志红荣丽梅刘敬松郭俊昆明高新技术开发区!昆明650000 电子科技大学材料分析中心!成都610054

拟定了BeO中12种痕量杂质元素的X-射线荧光光谱测定方法．采用光谱纯试剂人工合成校准标样，粉末压块法制备分析样片。考虑到BeO对X射线的透明性，在样片与样品盒支架之间垫置钼片消除试样盒发射线的干扰并产生附加激发以提高灵敏度。... 详细信息

拟定了BeO中12种痕量杂质元素的X-射线荧光光谱测定方法．采用光谱纯试剂人工合成校准标样，粉末压块法制备分析样片。考虑到BeO对X射线的透明性，在样片与样品盒支架之间垫置钼片消除试样盒发射线的干扰并产生附加激发以提高灵敏度。本文分析结果与等离子发射光谱和原子吸收光谱对照相吻合。

关键词： X-射线荧光光谱氧化铍杂质测定

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基体预处理对氧化铍基金刚石膜性能的影响

材料科学与工艺 2010年第1期18卷 19-22页

作者：方梅余志明肖柱陈爽陈永勤中南大学材料科学与工程学院长沙410083 中南大学教育部重点实验室功能薄膜研究室长沙410083 中南大学教育部重点实验室有色金属材料科学与工程实验室长沙410083

通过改变氧化铍基体的预处理方法,研究了热丝化学气相沉积系统中金刚石薄膜与氧化铍基体的结合情况,及其对导热性能的影响.分别利用金相显微镜和扫描电镜观察薄膜的剥落程度和其表面形貌,利用激光热物性测试仪测量基体和金刚石膜/氧化... 详细信息

通过改变氧化铍基体的预处理方法,研究了热丝化学气相沉积系统中金刚石薄膜与氧化铍基体的结合情况,及其对导热性能的影响.分别利用金相显微镜和扫描电镜观察薄膜的剥落程度和其表面形貌,利用激光热物性测试仪测量基体和金刚石膜/氧化铍复合体的热扩散系数,并计算其热导率.实验结果表明:水磨砂纸研磨和氢氟酸处理均能有效提高金刚石薄膜与基体的结合情况;氢氟酸处理时间10min时可得到致密连续、表面均匀的金刚石薄膜,此时复合体的热导率较原来的氧化铍基体可提高31.4%.

关键词：热丝化学气相沉积金刚石薄膜基体预处理氧化铍热导率

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氧化铍金刚石膜及其导热性能

粉末冶金材料科学与工程 2009年第1期14卷 32-35页

作者：方梅余志明肖柱陈爽陈永勤中南大学材料科学与工程学院长沙410083 教育部重点实验室功能薄膜材料研究室长沙410083

提高氧化铍的热导率,既能助其开拓新的发展空间,又能满足电子器件的散热需求,因而利用热丝化学气相沉积法在氧化铍上沉积得到与基体串、并联方式不同的、利于提高导热率的各种金刚石薄膜。通过扫描电镜和原子力显微镜观察薄膜表面的晶... 详细信息

提高氧化铍的热导率,既能助其开拓新的发展空间,又能满足电子器件的散热需求,因而利用热丝化学气相沉积法在氧化铍上沉积得到与基体串、并联方式不同的、利于提高导热率的各种金刚石薄膜。通过扫描电镜和原子力显微镜观察薄膜表面的晶体形貌;采用X射线衍射仪分析薄膜成分;借助热物性激光测试仪测量金刚石膜/氧化铍基复合体的热扩散系数,并计算其热导率。结果表明:镀膜后可使氧化铍的热导率提高12.1%～34.4%;基体预处理方法、金刚石膜和氧化铍基体的串、并联方式对复合体的热导率均有较大影响。

关键词：热丝化学气相沉积金刚石薄膜氧化铍热导率

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杆状氧化铍表面金刚石薄膜的生长

真空科学与技术学报 2015年第12期35卷 1513-1518页

作者：张田田李国伟王传新付秋明黄宏伟马志斌武汉工程大学材料科学与工程学院等离子体化学与新材料湖北重点实验室武汉430073

利用一种新型线形微波等离子体源以甲烷和氢气为反应气体在135 mm×1 mm×0.5 mm杆状氧化铍表面沉积金刚石膜。研究了氧化铍基底预处理对金刚石形核密度和膜的连续性,以及基底温度对金刚石质量的影响。通过扫描电镜、拉曼光谱对沉积的... 详细信息

利用一种新型线形微波等离子体源以甲烷和氢气为反应气体在135 mm×1 mm×0.5 mm杆状氧化铍表面沉积金刚石膜。研究了氧化铍基底预处理对金刚石形核密度和膜的连续性,以及基底温度对金刚石质量的影响。通过扫描电镜、拉曼光谱对沉积的金刚石膜表面形貌以及质量进行表征。实验结果表明:600#砂纸与金刚石粉混合预处理可以大大提高氧化铍表面金刚石的形核密度,得到连续性较好的金刚石薄膜;同时,基底温度不仅影响着金刚石膜的表面形貌,也影响着金刚石膜的质量。基底温度较低时,金刚石膜在沉积过程中二次形核增强,非金刚石相含量较高;提高沉积温度后,等离子体中H原子浓度增加,有利于金刚石质量的提高。

关键词：线形微波等离子体化学气相沉积金刚石膜氧化铍

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氧化铍陶瓷的应用综述

轻金属 2010年第2期 20-23页

作者：李文芳黄小忠杨兵初杜作娟唐明成中南大学物理科学与技术学院湖南长沙410083 中南大学粉末冶金院湖南长沙410083 湖南省水口山有色金属集团有限公司湖南常德421513

氧化铍陶瓷材料由于热、电、核、力等性能优异,使其广泛地应用于众多领域。本文对BeO陶瓷在大功率电子器件和集成电路、核反应堆、耐火材料、计量测定等诸多方面的应用进展情况进行了回顾与总结。

关键词：氧化铍性能应用

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氧化铍对铍材微屈服强度的影响

宇航材料工艺 2002年第3期32卷 50-53页

作者：付晓旭钟景明王东新王学泽王零森西北稀有金属材料研究院石嘴山753000

用粒度相同、不同BeO含量的铍粉开展了BeO对铍材微屈服强度 (σmys)的研究 ;结果发现 ,与BeO含量相比 ,BeO在铍中的分布状态对σmys的影响更大。在晶界及晶内较细小弥散分布的BeO对基体铍有弥散强化作用 ,使σmys较高 ;如果BeO较粗大地... 详细信息

用粒度相同、不同BeO含量的铍粉开展了BeO对铍材微屈服强度 (σmys)的研究 ;结果发现 ,与BeO含量相比 ,BeO在铍中的分布状态对σmys的影响更大。在晶界及晶内较细小弥散分布的BeO对基体铍有弥散强化作用 ,使σmys较高 ;如果BeO较粗大地成簇状聚集在晶界 ,反而对σmys有不良的影响。

关键词：氧化铍铍材微屈服强度影响航天材料

氧化铍作业工人血清血管紧张素Ⅰ转换酶和铁蛋白测定

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职业卫生与病伤 1990年第3期5卷 36-37页

作者：林锦周毅沈国安文楚强四川省劳动卫生职业病防治研究所国营799厂职工医院

为探讨铍接触者血液生化改变,本文测定了氧化铍作业工人血清血管紧张素I转换酶(ACE)及血清铁蛋白水平,迄今,国内尚未见类似报道。现将结果介绍如下。

关键词：氧化铍人工 ACE 铁蛋白测定

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氧化铍致大鼠肺纤维化及相关指标的动态变化

环境与职业医学 2016年第7期33卷 644-649页

作者：王凯刘志宏王和静王瑶魏丛慧张娜周慈宁夏医科大学公共卫生与管理学院宁夏银川750004

[目的]探讨氧化铍(Be O)致SD大鼠肺纤维化过程中肺组织的病理变化及纤维化相关指标的动态变化。[方法]无特定病原体(SPF)级SD雄性大鼠64只,随机分为阴性对照组、Be O染毒组。染毒方法采用一次性非暴露式气管内灌注法,Be O染毒组灌注0.5 ... 详细信息

[目的]探讨氧化铍(Be O)致SD大鼠肺纤维化过程中肺组织的病理变化及纤维化相关指标的动态变化。[方法]无特定病原体(SPF)级SD雄性大鼠64只,随机分为阴性对照组、Be O染毒组。染毒方法采用一次性非暴露式气管内灌注法,Be O染毒组灌注0.5 m L浓度为10 g/L的Be O悬浮液,阴性对照组灌注相同体积的质量分数为0.9%的生理盐水溶液。两组大鼠分别于染毒后的第20、40、60和80天4个时间点处死,每时间点每组各8只。取肺组织制作病理标本通过光学显微镜观察其肺组织病理变化并检测血清和肺组织匀浆中的胶原蛋白Ⅰ(COL-Ⅰ)、胶原蛋白Ⅲ(COL-Ⅲ)、平滑肌肌动蛋白α(α-SMA)、转化生长因子β1(TGF-β1)的表达。[结果]Be O染毒组肺组织病理观察染毒早期主要病理改变为支气管、肺间质炎性细胞浸润,并以单核/巨噬细胞为主,肺泡隔增厚,染毒后期肺泡间隔明显增厚,肺泡腔缩小,部分肺泡结构消失,肺泡结构紊乱,局部可见纤维化结节,结节中央可见Be O粉尘,肺组织局部发生实变。肺组织匀浆中:染毒组中COL-Ⅰ表达高于同时间点的阴性对照组(P<0.05),染毒后60、80天COL-Ⅲ表达高于同时间点阴性对照组(P<0.05),染毒后80天α-SMA表达高于同时间点阴性对照组(P<0.05),染毒后60、80天TGF-β1表达高于同时间点阴性对照组(P<0.05);与染毒后20天时比较,阴性对照组中各指标其他所有时间点与之差异均无统计学意义,染毒后40、60、80天COL-Ⅰ表达高于20天的(P<0.05),染毒后80天α-SMA、COL-Ⅲ、TGF-β1表达高于20天的(P<0.05)。血清中:染毒后60、80天COL-Ⅲ和TGF-β1表达高于同时间点阴性对照组(P<0.05),染毒后80天COL-Ⅰ表达高于同时间点的阴性对照组(P<0.05),染毒组中α-SMA表达均高于同时间点阴性对照组(P<0.05);与20天时比较,阴性对照组中各指标其他所有时间点与之差异均无统计学意义;染毒后60、80天COL-Ⅲ及染毒后80天COL-Ⅰ和TGF-β1的表达均高于20天的(P<0.05)。[结论]Be O染毒后肺组织发生纤维化,肺组织匀浆中和血清中COL-Ⅰ、COL-Ⅲ、α-SMA、TGF-β1的表达水平在不同时间点升高。

关键词：氧化铍肺纤维化胶原蛋白Ⅰ 胶原蛋白Ⅲ α-平滑肌肌动蛋白转化生长因子β1