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玻璃毛细漏孔漏率的测量

玻璃毛细漏孔漏率的测量

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真空获得与测量学术交流会

作者：王金锁许红唐景远上海市计量测试技术研究院

本文介绍了我们对毛细漏孔气流状态,漏率测量以及Q-P关系的的研究。我们利用石英玻璃拉制的毛细漏孔漏率范为1×10-4pa.m3/s-3×10-7Pa.m3/s(0.1MPa差压下漏到大气),测量装置为我们建立的一套改进型的(P△V/t)漏孔校准装置,装置校准范围... 详细信息

本文介绍了我们对毛细漏孔气流状态,漏率测量以及Q-P关系的的研究。我们利用石英玻璃拉制的毛细漏孔漏率范为1×10-4pa.m3/s-3×10-7Pa.m3/s(0.1MPa差压下漏到大气),测量装置为我们建立的一套改进型的(P△V/t)漏孔校准装置,装置校准范围4×10-8mol./s-1×10-10mol/s(1×10-4Pa.m3/s-3×10-7Pa.m3/s),校准装置的总不确定度(不包括被检漏孔的不重复性)U=2%-5%(k=2)。

关键词：毛细漏孔不确定度气流状态

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玻璃毛细漏孔漏率的测量

玻璃毛细漏孔漏率的测量

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中国真空学会第六届全国会员代表大会暨学术会议

作者：王金锁许红上海市计量测试技术研究院

本文介绍了我们对毛细漏孔气流状态,漏率测量以及Q-P关系的的研究。我们利用石英玻璃拉制的毛细漏孔漏率范为1×10-4Pa.m3/s～3×10-7Pa.m3/s(0.1MPa差压下漏到大气),测量装置为我们建立的一套改进型的(P△V/t)漏孔校准装置,装置校准范... 详细信息

本文介绍了我们对毛细漏孔气流状态,漏率测量以及Q-P关系的的研究。我们利用石英玻璃拉制的毛细漏孔漏率范为1×10-4Pa.m3/s～3×10-7Pa.m3/s(0.1MPa差压下漏到大气),测量装置为我们建立的一套改进型的(P△V/t)漏孔校准装置,装置校准范围4×10-8mol/s-1×10-10mol/s(1×10-4Pa.m3/s～3×10-7Pa.m3/s),校准装置的总不确定度(不包括被检漏孔的不重复性)U=2%～5%(k=2)。

关键词：毛细漏孔不确定度气流状态

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玻璃毛细漏孔漏率的测量

玻璃毛细漏孔漏率的测量

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上海市真空学会成立20周年暨第九届学术年会

作者：王金锁许红上海市计量测试技术研究院上海市计量测试技术研究院

本文介绍了我们对毛细漏孔气流状态,漏率测量以及Q-P关系的的研究。我们利用石英玻璃拉制的毛细漏孔漏率范为1×10-4Pa.m3/s-3×10-7Pa.m3/s（0.1MPa差压下漏到大气）,测量装置为我们建立的一套改进型的（P△V/ t）漏孔校准装置,装置校... 详细信息

本文介绍了我们对毛细漏孔气流状态,漏率测量以及Q-P关系的的研究。我们利用石英玻璃拉制的毛细漏孔漏率范为1×10-4Pa.m3/s-3×10-7Pa.m3/s（0.1MPa差压下漏到大气）,测量装置为我们建立的一套改进型的（P△V/ t）漏孔校准装置,装置校准范围4×10-8mol/s-1×10-10mmol/s（1×10-4Pa.m3/s-3×10-7Pa.m3/s）,校准装置的总不确定度（不包括被检漏孔的不重复性）U=2%-5%（k=2）。

关键词：毛细漏孔不确定度气流状态

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玻璃毛细漏孔对氘气的漏率测量

玻璃毛细漏孔对氘气的漏率测量

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第十四届全国质谱分析和检漏会议·第九届全国真空计量测试年会

作者：王金锁许红上海市计量测试技术研究院

氘气是氢的稳定同位素,室温下是一种无色、无味、无毒、无害的可燃性气体。氘气可用于核能、可控核聚变反应、激光器和灯源等。一般真空检漏都用氦气作为检漏气体,所以对标准漏孔漏率测量都用氦气作为校准气体。但在某些特殊情况,需要... 详细信息

氘气是氢的稳定同位素,室温下是一种无色、无味、无毒、无害的可燃性气体。氘气可用于核能、可控核聚变反应、激光器和灯源等。一般真空检漏都用氦气作为检漏气体,所以对标准漏孔漏率测量都用氦气作为校准气体。但在某些特殊情况,需要针对特定的气体进行漏率测量。另外大家知道高纯氘气价格昂贵,我们利用膨胀法真空标准装置和四极质谱计利用很少的氘气,实现了对四只玻璃毛细漏孔对氘气漏率的测试。本文介绍了我们对四只玻璃毛细漏孔针对氘气在不同气源压力下漏率进行测试,测试内容包括Q-P关系。另外同时我们测量了这四只毛细漏孔对氦气漏率,并同对氘气漏率进行了比较。测量结果证明毛细漏孔在(2～250)kPa绝对压力范围内下氘气同具有相同气体摩尔质量的氦气漏率近似。

关键词：毛细漏孔漏率摩尔质量

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