玻璃毛细漏孔漏率的测量
作者单位：上海市计量测试技术研究院
会议名称：《真空获得与测量学术交流会》
会议日期：2004年
学科分类：08[工学] 0804[工学-仪器科学与技术]
摘 要：本文介绍了我们对毛细漏孔气流状态,漏率测量以及Q-P关系的的研究。我们利用石英玻璃拉制的毛细漏孔漏率范为1×10-4pa.m3/s-3×10-7Pa.m3/s(0.1MPa差压下漏到大气),测量装置为我们建立的一套改进型的(P△V/t)漏孔校准装置,装置校准范围4×10-8mol./s-1×10-10mol/s(1×10-4Pa.m3/s-3×10-7Pa.m3/s),校准装置的总不确定度(不包括被检漏孔的不重复性)U=2%-5%(k=2)。