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应用于比长仪的光电显微镜的设计

应用于比长仪的光电显微镜的设计

作者：王培芳长春理工大学

学位级别：硕士

光电显微镜是应用于微小结构观察和非接触测量的高精度瞄准仪器,本课题设计了一套应用于比长仪的光电显微镜系统,可以对玻璃或金属线纹刻尺进行高精度瞄准测量。在分析比长仪国内外发展现状的基础上,阐述了比长仪和光电显微镜的工作原理... 详细信息

光电显微镜是应用于微小结构观察和非接触测量的高精度瞄准仪器,本课题设计了一套应用于比长仪的光电显微镜系统,可以对玻璃或金属线纹刻尺进行高精度瞄准测量。在分析比长仪国内外发展现状的基础上,阐述了比长仪和光电显微镜的工作原理,提出了应用于比长仪的光电显微镜总体设计方案。着重设计光电显微镜的光学系统,根据使用要求计算出光电显微镜的设计参数,运用ZEMAX软件分别设计光电显微镜的物镜系统、观察系统和照明系统,并对设计结果进行公差分析。选取高灵敏度的光电倍增管作为光电转换器件,设计了前置放大电路。分析了影响光电显微镜瞄准精度的因素,并提出了解决方案,通过实验得出光电显微镜的瞄准精度为0.03μm。

关键词：光学设计比长仪光电显微镜光电倍增管测量精度

百分表式比长仪示值误差测量结果不确定度评定

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计量与测试技术 2012年第12期39卷 76-77页

作者：王铁红安军钱程谭卓长春市计量检定测试技术研究院吉林长春130012

本文运用不确定度评定与表示方法,给出表式比长仪测量不确定度评定的结果。

关键词：比长仪不确定度评定

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新型激光比长仪实现激光干涉仪动态高精度校准

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军民两用技术与产品 2017年第1期 38-38页

作者：工报

由中国计量科学研究院联合常州市计量测试技术研究所等单位研制的2台新型多功能1m激光比长仪装置分别在江苏省常州市计量测试技术研究所、无锡市计量测试中心实验室完成了线纹尺测量精度测试，实现了线纹尺测量不确定度U=（0．1＋0．1L... 详细信息

由中国计量科学研究院联合常州市计量测试技术研究所等单位研制的2台新型多功能1m激光比长仪装置分别在江苏省常州市计量测试技术研究所、无锡市计量测试中心实验室完成了线纹尺测量精度测试，实现了线纹尺测量不确定度U=（0．1＋0．1L）μm（k=3，L：m），重复性优于30nm，达到国内先进水平，可满足目前已有线纹尺的动态高精度校准需求，有效提升相关计量机构的一维长度精密测量水平。

关键词：激光干涉仪精度校准比长仪计量测试技术中国计量科学研究院测量不确定度中心实验室线纹尺

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二维动态光电显微镜设计

二维动态光电显微镜设计

作者：路雨桐长春理工大学

学位级别：硕士

动态光电显微镜基于光电转换原理,可实现对线纹的高精度动态瞄准,具有瞄准精度高、对准速度快及可实现非接触测量等优势。随着机械制造水平的发展,二维线纹样板被广泛用于影像测量仪、坐标机等高精度仪器的校准和评价,实现其高精度标定... 详细信息

动态光电显微镜基于光电转换原理,可实现对线纹的高精度动态瞄准,具有瞄准精度高、对准速度快及可实现非接触测量等优势。随着机械制造水平的发展,二维线纹样板被广泛用于影像测量仪、坐标机等高精度仪器的校准和评价,实现其高精度标定、促使线纹计量尺度由一维向二维发展,具有重要意义。为实现二维线纹样板的高精度溯源测量,解决二维线纹的高精度对准这一关键问题,本文以国内外一维动态光电显微镜及比长仪的工作原理为基础,设计了应用于激光干涉比长仪的二维动态光电显微镜瞄准系统,实现二维线纹的高精度标定。首先,确定了二维动态光电显微镜的总体设计要求,对光电显微镜的光学系统、光电转换模块与机械装调结构提出具体设计方案。进而利用光学设计软件对显微镜的5、10、20物镜光学系统、照明光学系统、视频观察系统及分光系统进行设计;推导不同狭缝适配不同线纹时狭缝处光通量变化公式,对不同形状规格的线纹设计与之匹配的光学狭缝,使后续光电倍增管光电转换后输出的信号具有更佳的信噪比与灵敏度。在光学系统设计结果的基础上,选取高灵敏度光电倍增管并设计前置放大电路构成光电转换模块;根据比长仪结构及显微镜光路装调需求完成机械结构设计,满足系统实际装调过程中对于分光棱镜、光学狭缝、物镜筒等的调整需求,保证系统精度,并完成显微镜的整体加工装调。最终,为验证二维光电显微镜的动态瞄准能力,搭建双频激光干涉测长系统,利用高精度二维位移平台,对一维玻璃尺及二维光栅样板进行瞄准重复性测试,经实验验证,二维动态光电显微镜对一维玻璃尺及二维光栅样板X、Y方向的瞄准精度均优于0.1μm,满足系统设计要求。

关键词：溯源测量比长仪动态光电显微镜二维线纹

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激光光波自动比长仪

仪表技术与传感器 1972年第6期 1-5+16页

激光光波自动比长仪是长度计量的基准仪器,对发展国防尖端、精密机械加工和仪器仪表工业有着重要意义。在无产阶级文化大革命前,由于受到修正主义路线的干扰,对计量基准仪器迷信洋人,依靠进口,严重地阻碍了我国长度基准传递工作的开展... 详细信息

激光光波自动比长仪是长度计量的基准仪器,对发展国防尖端、精密机械加工和仪器仪表工业有着重要意义。在无产阶级文化大革命前,由于受到修正主义路线的干扰,对计量基准仪器迷信洋人,依靠进口,严重地阻碍了我国长度基准传递工作的开展。在无产阶级文化大革命中我们遵照毛主席关于“独立自主”,“自力更生”的伟大教导,于1968年由上海机床厂、上海计量局、上海第二机床厂、上海精密机床研究所,复旦大学及沈阳仪器仪表研究所等单位联合组成了以工人为主体的激光精密测长协作小组,对激光光波自动比长仪进行研究与试制。在研制过程中,全体同志以路线斗争为纲,开展革

关键词：线纹尺直角棱镜干涉条纹激光光波电磁波光电显微镜床身丝杆上海机床厂比长仪刻线机刻字机机床反射镜反光镜光波干涉可逆计数器加减法计数器测量结果精密机床无产阶级文化大革命文化大革命

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激光比长仪的研制

航空精密制造技术 1989年第4期25卷 1-7页

作者：刘桂满

本文简要介绍激光比长仪的工作原理及其結构,对仪器精度进行了分析,给出了比对和检定结果,并对激光比长仪设计过程中经常遇到的几个重要问题提出了新观点。

关键词：比长仪仪器精度测量精度激光波长精度分析工作原理脉冲当量检定结果偶然误差干涉条纹

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Abbe-比长仪的概率密度分布函数

青海师范大学学报(自然科学版) 1981年第2期 35-43页

作者：杜宽仪甘肃师大物理系

本文探讨阿贝比长仪的概率密度分布函数是否遵循正态分布函数,即 P=1/(σ(2π)) exp[-((χ-μ)~2)/(2σ~2)]. 一.对一条光谱线进行一系列的等精度测量. 第一“单次”的测量列,N=120次,其测量值见附表(一). 第二“单次”的测量列,N=148次... 详细信息

本文探讨阿贝比长仪的概率密度分布函数是否遵循正态分布函数,即 P=1/(σ(2π)) exp[-((χ-μ)~2)/(2σ~2)]. 一.对一条光谱线进行一系列的等精度测量. 第一“单次”的测量列,N=120次,其测量值见附表(一). 第二“单次”的测量列,N=148次,其测量值省略附表. 二.误差的正态分布在理论上是概率论的中心极限定理的必然结果.但中心极限定理是有条件的,即随机变量的数目要很多;每一个随机变量对总分布的影响很小;且测量是独立的.

关键词：概率密度分布函数比长仪正态分布阿贝 Gauss 分布 Abbe 统计直方图

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激光光波自动比长仪

科学通报 1973年第1期18卷 36-38页

作者：上海市计量测试管理局激光此长仪组上海市计量测试管理局激光此长仪组

激光光波自动比长仪是测量精密线纹尺的长度计量基准仪器,它对发展国防尖端、精密机械加工和仪器仪表工业具有重要意义。在毛主席“独立自主、自力更生”伟大的方针指引下,1968年底,由上海机床厂、上海计量测试管理局、复旦大学、上海... 详细信息

激光光波自动比长仪是测量精密线纹尺的长度计量基准仪器,它对发展国防尖端、精密机械加工和仪器仪表工业具有重要意义。在毛主席“独立自主、自力更生”伟大的方针指引下,1968年底,由上海机床厂、上海计量测试管理局、复旦大学、上海第二机床厂、上海精密机床研究所和沈阳仪器仪表研究所等单位,组成了以工人为主体的试验小组,协作研制激光光波自动比长仪,经过二年多时间试验研究,于1971年5月研制成功了由我国自行设计制造、全部采用国产元件并应用激光、固体电路等先进技术的激光光波自动比长仪。

关键词：线纹尺光波电磁波激光比长仪上海机床厂

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一种用于检定殷钢水准尺的自动比长仪

测绘科学 1984年第6期 5-13页

作者： R.Gottwald B.witte 张卫平

在预先检验水平放置的殷钢水准尺垂曲性能的基础上,设计并制造了一种自动化比长仪,运用它既可按目视法亦可按光电法校准分划线。本文在详细描述该系统之后,介绍了第一批检定成果。

关键词：滑座精确定位激光干涉仪光学干涉仪水准尺光电显微镜殷钢比长仪