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正压漏孔的校准方法

真空科学与技术 1998年第6期18卷 444-449页

作者：孟扬李旺奎兰州物理研究所兰州730000

随着吸枪式质谱计检漏法的广泛应用，在有些应用领域中，对正压检漏法的定量性提出了更高的要求。解决正压检漏定量性问题的关键之一，就是要精确地校准正压漏孔。校准正压漏孔的主要方法有：恒压变容法、定容变压法、变容变压法、动态... 详细信息

随着吸枪式质谱计检漏法的广泛应用，在有些应用领域中，对正压检漏法的定量性提出了更高的要求。解决正压检漏定量性问题的关键之一，就是要精确地校准正压漏孔。校准正压漏孔的主要方法有：恒压变容法、定容变压法、变容变压法、动态比较法和理论推算法。这些方法既有各自的优点，也存在各自的不足。在实验研究的基础上，对以上各种方法的适用性、局限性、误差分析和尚需解决的问题作一探讨和评价。

关键词：正压漏孔校准测量吸枪式质谱计检漏法

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全自动正压漏孔校准装置

上海计量测试 2022年第5期49卷 32-34页

作者：刘贝贝刘燚蒋厚庸周宇仁上海市计量测试技术研究院

针对漏孔形状不一、受温度影响大、手动测量误差大的难题,建立了一套“基于活塞体积补偿、温度补偿”的全自动正压漏孔校准装置。通过体积连续和自动测量系统、半导体恒温系统、自动化控制与处理系统的合理设计,该装置可完成1×10^(-7)~... 详细信息

针对漏孔形状不一、受温度影响大、手动测量误差大的难题,建立了一套“基于活塞体积补偿、温度补偿”的全自动正压漏孔校准装置。通过体积连续和自动测量系统、半导体恒温系统、自动化控制与处理系统的合理设计,该装置可完成1×10^(-7)~1×10^(-5)Pa﹒m^(3)/s的正压漏孔漏率的量值溯源,装置不确定度为Urel=6%(k=2)。

关键词：正压漏孔检漏体积补偿温度补偿

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正压漏孔校准装置的研制

真空科学与技术学报 2004年第6期24卷 439-441页

作者：王金锁许红胡央丽唐景远上海交通大学上海市计量测试技术研究院上海200040

作者对正压漏孔校准方法作了研究 ,为了对不同示漏气体的正压漏孔进行精确校准 ,建立了一套改进型的PΔV/t漏孔校准装置 ,并对该装置进行了不确定度的分析。该装置校准范围 1× 10 -4Pam3 /s～ 1× 10 -7Pam3 /s ,在漏率 2× 10 -6Pam3... 详细信息

作者对正压漏孔校准方法作了研究 ,为了对不同示漏气体的正压漏孔进行精确校准 ,建立了一套改进型的PΔV/t漏孔校准装置 ,并对该装置进行了不确定度的分析。该装置校准范围 1× 10 -4Pam3 /s～ 1× 10 -7Pam3 /s ,在漏率 2× 10 -6Pam3 /s时系统总误差小于 4 0 %。

关键词：正压漏孔系统总误差漏率

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正压漏孔校准装置优化设计

真空 2009年第4期46卷 72-75页

作者：冯焱张涤新成永军卢耀文赵澜赵光平徐婕兰州物理研究所甘肃兰州730000

针对目前正压漏孔校准工作中存在的测量下限指标低、测量不确定度大等问题,提出了正压漏孔校准装置的优化设计方法。采用特殊设计,将定容室的容积减小到10mL以下,降低了气体累计时间,延伸了测量下限。采用主、被动相结合的恒温方法提高... 详细信息

针对目前正压漏孔校准工作中存在的测量下限指标低、测量不确定度大等问题,提出了正压漏孔校准装置的优化设计方法。采用特殊设计,将定容室的容积减小到10mL以下,降低了气体累计时间,延伸了测量下限。采用主、被动相结合的恒温方法提高恒温精度,使得测量系统温度变化在校准时间内小于0.02K,减小了温度漂移引入的虚流量及测量不确定度。在恒压法正压漏孔校准方法中,提出采用直径小于1mm的精密细活塞及适用的动密封结构,可以将测量下限延伸到10-7Pa·m3/s量级。通过以上方法,可使正压漏孔校准装置的测量下限优于5×10-7Pa·m3/s,不确定度小于5%,同时具有较高的工作效率。

关键词：真空计量学正压漏孔漏率校准校准装置优化设计

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体积补偿式正压漏孔校准方法改进分析

真空科学与技术学报 2021年第12期41卷 1203-1207页

作者：张海锭杨春节万宇鹏桂桂万正军姚小兵中国测试技术研究院成都610021

针对被校漏孔接头种类繁多,接头漏气难以避免且其值测量不方便的问题。采用两种方式进行修正:一方面利用进退活塞得到两个修正的体积系数,推导出接头漏气和漏孔漏率引起的差压变化之比的测试方法,用以修正接头漏气的影响;另一方面通过... 详细信息

针对被校漏孔接头种类繁多,接头漏气难以避免且其值测量不方便的问题。采用两种方式进行修正:一方面利用进退活塞得到两个修正的体积系数,推导出接头漏气和漏孔漏率引起的差压变化之比的测试方法,用以修正接头漏气的影响;另一方面通过粘滞流公式推导出微小压力差下气体漏率与压力差近似成正比。通过调整校准室的压力,利用差分的原理减少漏气对校准结果的影响。两种修正方式的采取,解决了常规漏孔接头漏气难以原位测量或减小到可以忽略的问题,降低了对被校漏孔接头的要求,提升了体积补偿法的测量准确度和工作效率,同时将校准下限延伸到10^(-7)Pa·m^(3)/s。

关键词：正压漏孔差分法体积补偿法差压漏率

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模拟刚性正压漏孔的泄漏率与压力关系研究

真空科学与技术学报 2017年第12期37卷 1141-1145页

作者：刘吉党杰陈镇杨明德清华大学核能与新能源技术研究院北京100084

为满足大型氦气工程试验回路(Helium Test Loop,HTL)工作状态下泄漏率的精确定量要求,进行了模拟刚性高压标准漏孔的研制工作。采用石英玻璃钻孔法制作得到正压漏孔2支,测定了漏孔在入口压力为0.7~7.0 MPa(表压),出口为大气压(绝对压力1... 详细信息

为满足大型氦气工程试验回路(Helium Test Loop,HTL)工作状态下泄漏率的精确定量要求,进行了模拟刚性高压标准漏孔的研制工作。采用石英玻璃钻孔法制作得到正压漏孔2支,测定了漏孔在入口压力为0.7~7.0 MPa(表压),出口为大气压(绝对压力100 k Pa)和真空(绝对压力漏孔在不同压力范围下泄漏率与压力之间的关系,发现He气通过两支漏孔的泄漏为粘滞-分子流状态,漏率与压差之间的关系可以采用二次多项式进行拟合,拟合相关性系数良好。研究结论很好的揭示了刚性漏孔在较高压力下的泄漏状态,并且为正压检漏在相对较高压力范围内(0~7 MPa)的应用提供了良好的校准工具。

关键词：泄漏检测氦质谱正压检漏正压漏孔

一种下限为10^(-10)Pa·m^3/s的正压漏孔校准装置

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真空科学与技术学报 2018年第12期38卷 1019-1024页

作者：卢耀文刘志宏闫荣鑫齐京王欢田虎林闫睿杨传森查良镇北京市真空计量检测工程技术研究中心北京100029 北京东方计量测试研究所北京100029 北京卫星环境研究所北京100094 清华大学北京100084

为了解决漏率小于10^(-8)Pa·m^3/s正压漏孔(示漏气体为He气)的校准问题,研制出下限可达10^(-10)Pa·m^3/s的校准装置。提出基于累积比较的正压漏孔校准方法,通过向漏孔入口充入100 kPa高纯度N_2气模拟大气压环境,将漏孔泄漏后的示漏气... 详细信息

为了解决漏率小于10^(-8)Pa·m^3/s正压漏孔(示漏气体为He气)的校准问题,研制出下限可达10^(-10)Pa·m^3/s的校准装置。提出基于累积比较的正压漏孔校准方法,通过向漏孔入口充入100 kPa高纯度N_2气模拟大气压环境,将漏孔泄漏后的示漏气体引入累积室经过一段时间的累积来提高浓度,采用膨胀衰减压力和分子流进样将混合气体引入质谱分析室,提出对质谱分析室中示漏气体进行累积模式的测量方法,通过四极质谱计作为比较器分别测量漏孔泄漏形成的混合气及配置的标准混合气体在累积模式下离子流的变化率得到漏孔漏率,解决了无法测量微小示漏气体离子流信号的技术瓶颈;采用全金属密封结构和特殊的工艺处理解决了累积室中延伸下限由于本底示漏气体的影响因素,采用体积小于1 mL的取样室通过直接取样和膨胀衰减压力取样获得与漏孔累积后形成同等数量的标准混合气体,解决了微小漏率正压漏孔校准所用标准混合气体获得。为此基于累积比较法的正压漏孔校准方法实现了10^(-8)～10^(-10)Pa·m^3/s的校准范围,合成标准不确定度不超过7. 5%。

关键词：正压漏孔累积比较法分子流动态进样微小漏率漏孔

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恒压式正压漏孔校准装置的设计

真空科学与技术学报 2007年第5期27卷 442-445页

作者：冯焱张涤新兰州物理研究所兰州730000

设计了基于恒压自动控制的正压漏孔校准装置,装置由供气和稳压系统、抽气系统、校准系统、测量与控制系统、恒温系统等五部分组成,可采用比例积分微分(PID)控制模式和压力微小波动控制模式校准正压漏孔。在装置的设计中,解决了计算机控... 详细信息

设计了基于恒压自动控制的正压漏孔校准装置,装置由供气和稳压系统、抽气系统、校准系统、测量与控制系统、恒温系统等五部分组成,可采用比例积分微分(PID)控制模式和压力微小波动控制模式校准正压漏孔。在装置的设计中,解决了计算机控制系统的设计、精密小活塞的加工和计量、平动机构的设计、恒温系统的设计等关键技术。装置的预计测量范围为4×10-7Pa.m3/s^5×10-5Pa.m3/s,标准不确定度小于5%。

关键词：真空计量学正压漏孔漏率校准校准装置恒压法

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正压漏孔校准

真空与低温 1998年第4期4卷 204-209页

作者：张涤新孟扬吕时良龚月莉兰州物理研究所

介绍了定容变压法、恒压变容法、定量气体动态比较法、参考漏孔动态比较法对正压漏孔进行校准方法。给出了测试结果和实验分析。

关键词：真空计量正压漏孔校准方法测试结果