恒压式正压漏孔校准装置的设计
Design of Pressure Leak Calibrator in Constant Pressure Mode作者机构：兰州物理研究所兰州730000
出 版 物：《真空科学与技术学报》 (Chinese Journal of Vacuum Science and Technology)
年 卷 期：2007年第27卷第5期
页 面：442-445页
学科分类：08[工学] 0804[工学-仪器科学与技术]
摘 要：设计了基于恒压自动控制的正压漏孔校准装置,装置由供气和稳压系统、抽气系统、校准系统、测量与控制系统、恒温系统等五部分组成,可采用比例积分微分(PID)控制模式和压力微小波动控制模式校准正压漏孔。在装置的设计中,解决了计算机控制系统的设计、精密小活塞的加工和计量、平动机构的设计、恒温系统的设计等关键技术。装置的预计测量范围为4×10-7Pa.m3/s^5×10-5Pa.m3/s,标准不确定度小于5%。
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