检索结果-南通市图书馆

作者：陈德康中国科学技术大学

学位级别：硕士

低能离子束诱导自组织纳米结构是一种新型的微纳米加工方法,而杂质共沉积作为控制自组织纳米结构生长的有效手段迅速地成为该领域的研究热点之一。但是,杂质共沉积作用机制的复杂性却限制了它的发展。为此,本文针对杂质共沉积下离子束... 详细信息

低能离子束诱导自组织纳米结构是一种新型的微纳米加工方法,而杂质共沉积作为控制自组织纳米结构生长的有效手段迅速地成为该领域的研究热点之一。但是,杂质共沉积作用机制的复杂性却限制了它的发展。为此,本文针对杂质共沉积下离子束诱导自组织纳米结构的若干问题进行了研究,重点研究了其出现的物理机制,并初步探索了该技术对材料表面光学特性的影响。论文主要的研究内容和研究成果如下:1.重点研究了杂质共沉积下离子束诱导自组织纳米结构的特征随离子束入射角度、离子束轰击时间和离杂质靶距离等要素演化的规律。实验结果表明,杂质共沉积不仅可以在小于离子束临界入射角的条件下促进纳米结构的生成,同时也可以在大于离子束临界入射角的条件下(一般在30°以上)调制纳米结构的特征,且该种调制作用是基于纯离子束溅射图形的引导。结合物理化学表征和仿真计算等方法深入研究了杂质调制作用的物理机制,证明了杂质调制作用主要来自于几何因素的作用而不能单纯地依据传统的杂质浓度理论进行解释。这些研究进一步扩展了杂质共沉积的物理机制理论。2.研究了杂质共沉积促进自组织纳米结构刻面化的现象。实验结果表明,杂质共沉积具有放大自组织纳米结构振幅的作用,使得图形演化加速进入非线性阶段,并最终增强了结构的刻面化过程。结合物理化学表征等手段证明了杂质共沉积的振幅放大作用是来自于阴影效应和相分离作用。这些研究证明了杂质共沉积是解决纯离子束诱导刻面图形中瓶颈问题的有效手段,为刻面状自组织纳米结构的应用打下了基础。3.初步研究了杂质共沉积下离子束诱导自组织纳米结构的光学特性。实验结果表明,所制作的自组织纳米结构在紫外波段具有一定的增透特性。结合理论仿真等手段对其表现光学特性的物理机理进行了初步讨论,结果表明结构的增透特性主要来自于折射率渐变效应。这些成果证明了杂质共沉积下离子束诱导自组织纳米结构的光学应用潜力,为日后该技术在光学上的应用奠定了基础。

关键词：离子束轰击杂质共沉积自组织纳米结构硅石英增透结构

来源：

同方学位论文库评论

在线全文

同方学位论文库

学校读者我要写书评

暂无评论

金属杂质辅助低能氩离子束诱导蓝宝石自组织纳米结构

引用

光子学报 2021年第2期50卷 183-191页

作者：唐黎陈智利刘雨昭毕倩惠迎雪刘卫国西安工业大学光电工程学院陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室西安710021

使用实验室自主研发的等离子抛光与刻蚀系统,研究了不同入射能量下不锈钢杂质辅助Ar+离子束刻蚀蓝宝石表面自组织纳米结构的形成机制。采用Taylor Surf CCI2000非接触式表面测量仪和原子力显微镜分别对刻蚀后蓝宝石样品的粗糙度、纳米... 详细信息

使用实验室自主研发的等离子抛光与刻蚀系统,研究了不同入射能量下不锈钢杂质辅助Ar+离子束刻蚀蓝宝石表面自组织纳米结构的形成机制。采用Taylor Surf CCI2000非接触式表面测量仪和原子力显微镜分别对刻蚀后蓝宝石样品的粗糙度、纳米结构的纵向高度和表面形貌进行了分析。研究表明:引入不锈钢杂质后,当离子束入射角度为65°、束流密度为487μA/cm^(2)、刻蚀时间为60 min、离子束入射能量为1000 eV时,蓝宝石样品表面出现了纵向高度为11.1 nm高度有序的条纹状纳米结构;随着入射能量的增加,表面开始出现岛状纳米结构;当入射能量为1200 eV时,形成了岛状与条纹状相结合的纳米结构,其纵向高度为13.6 nm;入射能量继续增加,蓝宝石表面岛状结构密度变大;当入射能量达1400 eV时,样品表面岛状结构的纵向高度为18.8 nm;入射能量为1600 eV时,样品表面出现较为有序且密集的岛状结构,其纵向高度为20.1 nm。自组织纳米结构先是以“条纹”形状出现,随着入射能量的增加,引入的金属杂质打破了在离子束溅射过程中表面生长机制和表面平滑机制的平衡状态,形成了岛状结构,该结构促进了纳米结构的生长,改变了纳米结构的有序性。

关键词：自组织纳米结构低能Ar^(+)离子束杂质共沉积岛状纳米结构蓝宝石表面形貌

来源：

维普期刊数据库

同方期刊数据库评论

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

欢迎您,

建议与咨询留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

时间限定

文献类型

馆藏选择

核心期刊

语言

文献类型

帮助

文字说明：

检索规则说明：

检索范例：

分类表

所选分类

限定检索结果

文献类型

馆藏范围

日期分布

学科分类号

主题

机构

作者

语言

在线全文

在线全文

请选择保存的检索档案：

请选择收藏分类：

通借通还

欢迎您,

建议与咨询 留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

时间限定

文献类型

馆藏选择

核心期刊

语言

文献类型

帮助

文字说明：

检索规则说明：

检索范例：

分类表

所选分类

限定检索结果

文献类型

馆藏范围

日期分布

学科分类号

主题

机构

作者

语言

在线全文

在线全文

请选择保存的检索档案： 新增检索档案 确定 取消

请选择收藏分类： 新增自定义分类 确定 取消

通借通还

建议与咨询留下您的常用邮箱和电话号码，以便我们向您反馈解决方案和替代方法

请选择保存的检索档案：

请选择收藏分类：