金属杂质辅助低能氩离子束诱导蓝宝石自组织纳米结构

作     者：唐黎 陈智利 刘雨昭 毕倩 惠迎雪 刘卫国 TANG Li;CHEN Zhili;LIU Yuzhao;BI Qian;XI Yingxue;LIU Weiguo

作者机构：西安工业大学光电工程学院陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室西安710021 

出 版 物：《光子学报》 (Acta Photonica Sinica)

年 卷 期：2021年第50卷第2期

页      面：183-191页

核心收录：

学科分类：08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 0702[理学-物理学] 

基　　金：科技部政府间国际科技创新合作重点专项项目(No.2018YFE0199200) 陕西省自然科学基础研究计划项目(No.2018JM6082) 

主　　题：自组织纳米结构 低能Ar^(+)离子束 杂质共沉积 岛状纳米结构 蓝宝石 表面形貌 

摘      要：使用实验室自主研发的等离子抛光与刻蚀系统,研究了不同入射能量下不锈钢杂质辅助Ar+离子束刻蚀蓝宝石表面自组织纳米结构的形成机制。采用Taylor Surf CCI2000非接触式表面测量仪和原子力显微镜分别对刻蚀后蓝宝石样品的粗糙度、纳米结构的纵向高度和表面形貌进行了分析。研究表明:引入不锈钢杂质后,当离子束入射角度为65°、束流密度为487μA/cm^(2)、刻蚀时间为60 min、离子束入射能量为1000 eV时,蓝宝石样品表面出现了纵向高度为11.1 nm高度有序的条纹状纳米结构;随着入射能量的增加,表面开始出现岛状纳米结构;当入射能量为1200 eV时,形成了岛状与条纹状相结合的纳米结构,其纵向高度为13.6 nm;入射能量继续增加,蓝宝石表面岛状结构密度变大;当入射能量达1400 eV时,样品表面岛状结构的纵向高度为18.8 nm;入射能量为1600 eV时,样品表面出现较为有序且密集的岛状结构,其纵向高度为20.1 nm。自组织纳米结构先是以“条纹形状出现,随着入射能量的增加,引入的金属杂质打破了在离子束溅射过程中表面生长机制和表面平滑机制的平衡状态,形成了岛状结构,该结构促进了纳米结构的生长,改变了纳米结构的有序性。