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  • 1 篇 期刊文献

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日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 仪器科学与技术

主题

  • 1 篇 计量学
  • 1 篇 微触觉式传感器
  • 1 篇 性能测试
  • 1 篇 微机电系统
  • 1 篇 微结构几何量测量

机构

  • 1 篇 天津大学
  • 1 篇 上海市计量测试技...

作者

  • 1 篇 赵大博
  • 1 篇 胡小唐
  • 1 篇 邵力
  • 1 篇 李源
  • 1 篇 栗大超

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=微结构几何量测量"
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用于微结构几何量测量的MEMS三维微触觉传感器的性能测试
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计量学报 2008年 第1期29卷 21-25页
作者： 李源 邵力 栗大超 胡小唐 赵大博 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室 天津300072 上海市计量测试技术研究院 上海201203
针对一种用于微结构几何量测量的微机电系统(MEMS)三维微触觉式传感器,开展了传感器的性能测试,系统评价了该传感器的性能。为了检测传感器的输出信号,提出了敏感梁上排布16个压阻的三维差动式压阻排布方式,并研究相应的压阻信号的全桥... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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