用于微结构几何量测量的MEMS三维微触觉传感器的性能测试

作     者：李源 邵力 栗大超 胡小唐 赵大博 LI Yuan;SHAO Li;LI Da-chao;HU Xiao-tang;ZHAO Da-bo

作者机构：天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室天津300072 上海市计量测试技术研究院上海201203 

出 版 物：《计量学报》 (Acta Metrologica Sinica)

年 卷 期：2008年第29卷第1期

页      面：21-25页

核心收录：

学科分类：08[工学] 080402[工学-测试计量技术及仪器] 0804[工学-仪器科学与技术] 

主　　题：计量学 微结构几何量测量 微机电系统 微触觉式传感器 性能测试 

摘      要：针对一种用于微结构几何量测量的微机电系统(MEMS)三维微触觉式传感器,开展了传感器的性能测试,系统评价了该传感器的性能。为了检测传感器的输出信号,提出了敏感梁上排布16个压阻的三维差动式压阻排布方式,并研究相应的压阻信号的全桥检测方法和微弱信号的调理电路,研究了基于高精度坐标定位平台的传感器三维性能测试方法和测试装备。通过实验,获得传感器的轴向100 nm的分辨力,4.7μm的量程,低于0.15%的线性误差,低于0.5%的轴间耦合度;以及在横向100 nm的分辨力和低于0.37%的线性误差等性能参数。