检索结果-南通市图书馆

用于微机械器件和微电子机械系统的关键技术——微机械技术

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功能材料与器件学报 1998年第4期4卷 217-223页

作者：王渭源鲍敏杭赖宗声陆德仁沈绍群王效东王云珍中国科学院上海冶金研究所传感技术国家重点实验室复旦大学电子工程系华东师范大学电子科学技术系

微机械技术是研究，生产微机械器件和微电子机械系统的关键技术，熟练掌握并不容易。本文总结了三个单位为时数年在微机械技术方面的研究成果，重点介绍我们首创的三项技术，即自对准的准三维加工技术，硅三维结构的无掩模腐蚀技术和硅... 详细信息

微机械技术是研究，生产微机械器件和微电子机械系统的关键技术，熟练掌握并不容易。本文总结了三个单位为时数年在微机械技术方面的研究成果，重点介绍我们首创的三项技术，即自对准的准三维加工技术，硅三维结构的无掩模腐蚀技术和硅／硅低温直接键合技术，也提到我们开展过的其他几项微机械技术以及所制作的几种微机械器件的参数或结果。

关键词：微机械技术微电子机械系统微机械器件

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碳化硅材料在微电子机械系统中的应用

微纳电子技术 2002年第8期39卷 26-30页

作者：刘肃唐莹李思渊兰州大学物理科学与技术学院微电子中心甘肃兰州730001

碳化硅材料包括单晶碳化硅、多晶碳化硅、无定形碳化硅等,由于其显著的材料特性,如耐热、耐磨、化学惰性和高硬度等,近年来在微电子机械系统(MEMS)领域受到越来越多的关注。应用特定的工艺条件将碳化硅材料制成MEMS器件,可以在某些特殊... 详细信息

碳化硅材料包括单晶碳化硅、多晶碳化硅、无定形碳化硅等,由于其显著的材料特性,如耐热、耐磨、化学惰性和高硬度等,近年来在微电子机械系统(MEMS)领域受到越来越多的关注。应用特定的工艺条件将碳化硅材料制成MEMS器件,可以在某些特殊条件下使用,克服了常规材料本身的局限性,从而为碳化硅材料的应用开发了新的领域。追踪这一国际热点研究问题,针对以上几种不同形态材料,分别举例说明了它们在MEMS领域应用的进展情况。

关键词：碳化硅微电子机械系统微结构 MEMS

用于微电子机械系统封装的体硅键合技术和薄膜密封技术

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中国工程科学 2002年第6期4卷 56-62页

作者：王渭源王跃林中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室上海200050

对静电键合、体硅直接键合和界面层辅助键合等三种体硅键合技术 ,整片操作、局部操作和选择保护等三种密封技术 ,以及这些技术用于微电子机械系统的密封作了评述 ,强调在器件研究开始时应考虑封装问题 ,具体技术则应在保证器件功能和尽... 详细信息

对静电键合、体硅直接键合和界面层辅助键合等三种体硅键合技术 ,整片操作、局部操作和选择保护等三种密封技术 ,以及这些技术用于微电子机械系统的密封作了评述 ,强调在器件研究开始时应考虑封装问题 ,具体技术则应在保证器件功能和尽量减少芯片复杂性两者之间权衡决定。

关键词：体硅键合技术薄膜密封技术微电子机械系统封装技术芯片

EV集团将GEMINI~300mm自动化生产晶圆键合系统带入微电子机械系统制造业

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电子工业专用设备 2016年第2期45卷 61-61页

EV集团（EVG）是微电子机械系统（MEMS）、纳米技术及半导体市场中一家领先的晶圆键合及光刻设备供应商，该集团宣布其EVGGEMINI 300mm自动化生产晶圆键合系统即将应用于未来的（MEMS）微电子机械系统大批量制造（HVM）。这是微电子机... 详细信息

EV集团（EVG）是微电子机械系统（MEMS）、纳米技术及半导体市场中一家领先的晶圆键合及光刻设备供应商，该集团宣布其EVGGEMINI 300mm自动化生产晶圆键合系统即将应用于未来的（MEMS）微电子机械系统大批量制造（HVM）。这是微电子机械系统工业（MEMS）的重要里程碑。

关键词：微电子机械系统自动化生产 GEMINI 键合晶圆 EV 制造业设备供应商

维普期刊数据库评论

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微电子机械系统装配的新方法

新技术新工艺 1997年第5期 11-11页

作者：揭景耀华东交通大学

介绍了微米、纳米级微型元件的装配方法及装配工具，提供了一种新颖的微型元件在室温下互连的新技术。

关键词：微型元件装配表面活化键合微电子机械系统

微电子技术的又一次革命──微电子机械系统(MEMS)发展展望

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科技导报 1997年第9期15卷 3-5页

作者：李志坚清华大学教授北京100084

IEEE和SEMI签署了一项关于共同制定纳米技术和微电子机械系统标准的协议

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半导体信息 2004年第6期 37-38页

作者：刘广荣

SEMI和IEEE签署了一项关于合作项目的谅解备忘录,该项目旨在创建纳米技术和微电子机械系统(MEMS)标准。此协议的签订标志着协议双方的首度标准协调合作。根据该理解备忘录,SEMI和IEEE将确定有关联络事宜,说明定期的信息交流计划并安排... 详细信息

SEMI和IEEE签署了一项关于合作项目的谅解备忘录,该项目旨在创建纳米技术和微电子机械系统(MEMS)标准。此协议的签订标志着协议双方的首度标准协调合作。根据该理解备忘录,SEMI和IEEE将确定有关联络事宜,说明定期的信息交流计划并安排定期召开联合会议。

关键词：协议双方微电子机械系统纳米技术 IEEE SEMI 合作项目信息交流联合会议

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地震预警技术的应用与展望

防灾减灾工程学报 2021年第4期41卷 874-882页

作者：王俊刘红桂周昱辰江苏省地震局江苏南京210014

简要回顾了地震预警的发展历程,介绍了地震预警的基本原理和地震位置、预警震级及预测烈度等关键参数的主要测定方法。作为一种能够有效减轻地震灾害的手段,世界上多个国家和地区相继开始建设各自的地震预警系统,以系统建设与应用实效... 详细信息

简要回顾了地震预警的发展历程,介绍了地震预警的基本原理和地震位置、预警震级及预测烈度等关键参数的主要测定方法。作为一种能够有效减轻地震灾害的手段,世界上多个国家和地区相继开始建设各自的地震预警系统,以系统建设与应用实效为切入点,介绍了世界主要地震预警系统和我国的相关进展情况;并基于目前地震预警面临的主要挑战,从传感器、信号处理算法及组网模式等方面,展望了未来地震预警系统新的、有潜在变革性的技术和方法。

关键词：地震预警系统预警盲区光纤观测微电子机械系统机器学习算法

EV集团将GEMINI;300mm自动化生产晶圆键合系统带入微电子机械系统制造业

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电子工业专用设备 2016年第Z1期 61-61页

EV集团（EVG）是微电子机械系统（MEMS）、纳米技术及半导体市场中一家领先的晶圆键合及光刻设备供应商,该集团宣布其EVG GEMINI;300 mm自动化生产晶圆键合系统即将应用于未来的（MEMS）微电子机械系统大批量制造

关键词：晶圆微电子机械系统键合 GEMINI 制造业加工工业自动化生产自动化操作生产类型 EV