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基于微电子机械系统技术的高灵敏度电容式微传声器的研制

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声学学报 2001年第1期26卷 19-24页

作者：陈兢刘理天李志坚谭智敏清华大学微电子学研究所北京100084

基于微电子机械系统（ＭＥＭＳ）技术的微传声器是当前国际上研究的热点。使用ＭＥＭＳＩ艺制备的薄膜一般有着不可忽视的残余应力，极大的降低了膜的机械灵敏度。理论分析和数值模拟表明，纹膜结构可在不改变工艺条件的前提下，显著... 详细信息

基于微电子机械系统（ＭＥＭＳ）技术的微传声器是当前国际上研究的热点。使用ＭＥＭＳＩ艺制备的薄膜一般有着不可忽视的残余应力，极大的降低了膜的机械灵敏度。理论分析和数值模拟表明，纹膜结构可在不改变工艺条件的前提下，显著的降低残余应力的不良影响，大幅度增加膜的灵敏度。本文提出了一种使用ＭＥＭＳ技术制作的纹膜结构电容式微传声器，其制作工艺简单、重复性好，所用材料也能与ＩＣＩ艺很好的兼容。圆片级测试的结果表明，在１０Ｖ的偏置电压下，这种微传声器在７ｋＨｚ以下具有平直的频响，开路灵敏度可达４０ｍv／Ｐａ，而其占用的芯片面积仅为１．５ ×ｌ．５ｍｍ２。进一步的研究可望将信号处理电路集成于片内，形成完整的微声学系统。

关键词：微电子机械系统微传声器电容式高灵敏度

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ZnO薄膜硅微压电矢量水听器

声学学报 2016年第3期41卷 273-280页

作者：李俊红魏建辉马军任伟刘梦伟汪承灏中国科学院声学研究所声学微机电系统实验室北京100190 中国科学院声学研究所声场声信息国家重点实验室北京100190

提出了一种基于ZnO压电薄膜的硅微压电矢量水听器,其核心部件是利用微电子机械系统(MEMS)技术制作的悬臂梁结构压电加速度计。由近似解析和有限元分析,得出加速度计的灵敏度和谐振频率,并在此基础上对其进行了优化设计。研制了MEMS压电... 详细信息

提出了一种基于ZnO压电薄膜的硅微压电矢量水听器,其核心部件是利用微电子机械系统(MEMS)技术制作的悬臂梁结构压电加速度计。由近似解析和有限元分析,得出加速度计的灵敏度和谐振频率,并在此基础上对其进行了优化设计。研制了MEMS压电加速度计,并装配后构成MEMS矢量水听器。测试结果表明:加速度灵敏度在20~1,200 Hz范围内约为0.83 mV/(m/s^2)。经过液柱法测量,在1 kHz时,MEMS矢量水听器等效声压灵敏度为-229.5 dB(ref.1V/μPa),比同类型压阻式MEMS矢量水听器的灵敏度高17 dB以上。

关键词：矢量水听器 ZnO 压电加速度计微压压电薄膜加速度灵敏度近似解析微电子机械系统压阻式标准加速度计

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哈尔滨工业大学微电子机械系统研究获新成果

哈尔滨工业大学学报 2007年第6期39卷 896-896页

由哈尔滨工业大学机器人研究所研究完成的“面向微电子机械系统（简称为MEMS）组装、封装与键合测试的关键微操作设备”项目通过了国家技术鉴定．

关键词：微电子机械系统哈尔滨工业大学技术鉴定操作设备研究所机器人

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论微电子机械系统MEMS

西安航空技术高等专科学校学报 2004年第3期22卷 32-34页

作者：鄢云西安航空技术高等专科学校科技处陕西西安710077

简介了微电子机械系统MEMS的基本概念、构成及显著特点 ,并对微电子机械系统的典型器件如传感器 ,执行器等作了介绍与分析 ,提出了微系统之间要研究的问题 ;

关键词：微电子机械系统集成微传感器微执行器微结构器件微系统

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用于光通信的微电子机械系统技术进展

激光与光电子学进展 1999年第10期36卷 11-18,33页

作者：马军山陈高庭王向朝方祖捷中国科学院上海光学精密机械研究所上海201800

以光开关为主介绍了几种典型的用于光通信的微电子机械系统光器件的研究现状，并介绍了微电子机械系统技术进展。基于微电子机械系统技术，可以获得多种光通信器件。与传统器件相比，微电子机械系统光器件具有体积小、响应速度快、集成... 详细信息

以光开关为主介绍了几种典型的用于光通信的微电子机械系统光器件的研究现状，并介绍了微电子机械系统技术进展。基于微电子机械系统技术，可以获得多种光通信器件。与传统器件相比，微电子机械系统光器件具有体积小、响应速度快、集成度高、成本低等优点。

关键词：微电子机械系统光通信光开关

基于修正偶应力理论的Timoshenko微梁模型和尺寸效应研究

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应用数学和力学 2019年第12期40卷 1321-1334页

作者：周博郑雪瑶康泽天薛世峰中国石油大学(华东)储运与建筑工程学院

基于修正偶应力理论,将Timoshenko微梁的应力、偶应力、应变、曲率等基本变量,描述为位移分量偏导数的表达式.根据最小势能原理,推导了决定Timoshenko微梁位移场的位移场控微分方程.利用级数法求解了任意载荷作用下Timoshenko简支微梁... 详细信息

基于修正偶应力理论,将Timoshenko微梁的应力、偶应力、应变、曲率等基本变量,描述为位移分量偏导数的表达式.根据最小势能原理,推导了决定Timoshenko微梁位移场的位移场控微分方程.利用级数法求解了任意载荷作用下Timoshenko简支微梁的位移场控微分方程,得到了反映尺寸效应的挠度、转角及应力的偶应力理论解.通过对承受余弦分布载荷Timoshenko简支微梁的数值计算,研究了Timoshenko微梁的挠度、转角和应力的尺寸效应,分析了Poisson比对Timoshenko微梁力学行为及其尺寸效应的影响.结果表明:当截面高度与材料特征长度的比值小于5时,Timoshenko微梁的刚度和强度均随着截面高度的减小而显著提高,表现出明显的尺寸效应;当截面高度与材料特征长度的比值大于10时,Timoshenko微梁的刚度与强度均趋于稳定,尺寸效应可以忽略;材料Poisson比是影响Timoshenko微梁力学行为及尺寸效应的重要因素,Poisson比越大Timoshenko微梁刚度和强度的尺寸效应越显著.该文建立的Timoshenko微梁模型,能有效描述Timoshenko微梁的力学行为及尺寸效应,可为微电子机械系统(MEMS)中的微结构设计与分析提供理论基础和技术参考.

关键词： Timoshenko微梁尺寸效应位移场控方程级数法微电子机械系统

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微电子机械系统的制造及其应用

机械设计与制造 1997年第5期 14-14页

作者：刘青武汉工业大学机电学院

微电子机械系统的制造及其应用武汉工业大学机电学院刘青微电子机械系统是指从微米（ｍｉｃｒｏｎｍｅｔｅｒ，１０－６ｍ）到毫米（ｍｉｌｉｍｅｔｅｒ，１０－３ｍ）量级大小的装置，这种装置既可以制造成离散的单个零件，也可以以较... 详细信息

微电子机械系统的制造及其应用武汉工业大学机电学院刘青微电子机械系统是指从微米（ｍｉｃｒｏｎｍｅｔｅｒ，１０－６ｍ）到毫米（ｍｉｌｉｍｅｔｅｒ，１０－３ｍ）量级大小的装置，这种装置既可以制造成离散的单个零件，也可以以较大规模的阵列方式制造。其制造过程在...

关键词：微电子机械系统制造微加工

微电子与微电子机械系统(MEMS)中的现代光学测试技术

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机械强度 2001年第4期23卷 447-451页

作者：何小元康新衡伟黄庆安东南大学MEMS教育部重点实验室南京210096

介绍了微电子和微电子机械系统 (MEMS)中几种常用的变形和形貌测量方法以及相关的测量设备。其中相移云纹干涉技术用于微电子器件的面内位移测量 ,灵敏度可达到纳米量级。显微栅线投影技术用于MEMS的离面变形和形貌测量 ,灵敏度可达 0 .... 详细信息

介绍了微电子和微电子机械系统 (MEMS)中几种常用的变形和形貌测量方法以及相关的测量设备。其中相移云纹干涉技术用于微电子器件的面内位移测量 ,灵敏度可达到纳米量级。显微栅线投影技术用于MEMS的离面变形和形貌测量 ,灵敏度可达 0 .1微米。

关键词：微电子机械系统微电子光测力学

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三轴MEMS加速度计的最大似然校正算法

国防科技大学学报 2017年第5期39卷 185-191页

作者：陆欣刘忠张宏欣贺静波海军工程大学电子工程学院湖北武汉430033 海军工程大学兵器工程系湖北武汉430033

加速度计是惯性导航系统的重要测量元件,而由于制造工艺及各类传感器误差,低成本加速度计很难达到要求的精度,因此需要对其进行校正。提出一种基于最大似然估计的加速度计自校正算法。综合考虑加速度计零偏、比例误差、非正交误差、安... 详细信息

加速度计是惯性导航系统的重要测量元件,而由于制造工艺及各类传感器误差,低成本加速度计很难达到要求的精度,因此需要对其进行校正。提出一种基于最大似然估计的加速度计自校正算法。综合考虑加速度计零偏、比例误差、非正交误差、安装误差与测量噪声,建立了传感器误差模型。在此基础上,将加速度校正问题转化为校正参数的最大似然估计问题。通过数值仿真和实测试验验证,表明算法具有较高的参数估计精度,能够有效地对上述因素引起的误差进行校正。

关键词：最大似然估计传感器校正微电子机械系统三轴加速度计