检索结果-南通市图书馆

微处理机 2002年第3期23卷 4-7页

作者：王宏东北微电子研究所沈阳110032

叙述了世界 MEMS产业和市场情况 ,介绍了当前 MEMS的设计、制造、封装和测试技术 ,最后浅析了 MEMS产品的商品化进展。

关键词：微电子机械系统发展商品化微电子技术 CAD

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应用于微电子机械系统中多孔硅的研究

功能材料 2004年第z1期35卷 1728-1730页

作者：崔梦胡明雷振坤窦雁威田斌天津大学电子信息工程学院天津300072 天津大学电子信息工程学院天津300072 天津大学机械学院力学系天津300072 天津大学电子信息工程学院天津300072 天津大学电子信息工程学院天津300072

针对多孔硅在MEMS中作为牺牲层和绝热层的应用,主要研究了电化学腐蚀法制备多孔硅的实验条件与多孔硅深度及其孔隙率间的关系,实验发现电化学腐蚀法制备多孔硅的腐蚀速率在腐蚀前期阶段基本是一定值(电流密度为80mA/cm2时为1.3μm/min,... 详细信息

针对多孔硅在MEMS中作为牺牲层和绝热层的应用,主要研究了电化学腐蚀法制备多孔硅的实验条件与多孔硅深度及其孔隙率间的关系,实验发现电化学腐蚀法制备多孔硅的腐蚀速率在腐蚀前期阶段基本是一定值(电流密度为80mA/cm2时为1.3μm/min,电流密度为40 mA/cm2时为0.4μm/min),但到腐蚀后期阶段随着孔深的增加有所下降.同时发现对于不同的腐蚀电流密度,多孔硅的孔隙率都有随腐蚀时间的延长先增加后降低的趋势,用Beale模型可以很好的解释这一现象.最后,针对多孔硅在制备后易发生龟裂的现象,用拉曼光谱分析了多孔硅的内部应力情况,结果表明随多孔硅孔隙率的上升其内部残余应力有增加的趋势.

关键词：多孔硅微电子机械系统腐蚀速率孔隙率残余应力

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微电子机械系统光耀环球

世界产品与技术 2002年第11期 17-18页

作者：陈忠

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在极端环境中保护微电子机械系统的合金

现代材料动态 2013年第9期 2-3页

作者：黄文梅(摘译)

新加坡A-Star微电子研究所的研究人员研发了一种合金，这种合金能在极端恶劣的环境中对微电子机械系统（MEMS）传感器实施更好的保护。

关键词：微电子机械系统极端环境合金保护电子研究所研究人员新加坡传感器

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微电子机械系统及其加工工艺简述

技术与市场 2011年第5期18卷 120-120页

作者：薛小红齐齐哈尔职业学院黑龙江齐齐哈尔150025

微电子机械系统是一项建立在微纳米技术基础上的前沿技术,是对微纳米材料进行设计、加工、制造和控制的技术。硅微机械加工工艺是近年来随着集成电路工艺发展起来的微电子机械系统主流技术。介绍了微电子机械系统的特点,并讨论了微电子... 详细信息

微电子机械系统是一项建立在微纳米技术基础上的前沿技术,是对微纳米材料进行设计、加工、制造和控制的技术。硅微机械加工工艺是近年来随着集成电路工艺发展起来的微电子机械系统主流技术。介绍了微电子机械系统的特点,并讨论了微电子机械系统的三种加工方法。

关键词：微电子机械系统体微加工表面微加工 LIGA

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微电子机械系统计算机辅助设计

电子科技导报 1999年第10期 32-35页

作者：黄庆安秦明李伟华匡一宁朱珂章彬孟为民鞠瑜华严先蔚张昭勇东南大学

主要介绍ＭＥＭＳ计算机辅助设计（ＣＡＤ）的研究内容和发展，以及和ＭＥＭＳＣＡＤ有关的ＭＥＭＳ标准化制造技术的发展情况。

关键词：微机械加工技术微电子机械系统 MEMS CAD

微电子机械系统在硅谷的发展及其对压力传感器技术的影响

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传感器世界 1997年第3期3卷 7-12页

作者： Janusz Bryzek

现在人们对高技术谈论最多的莫过于MEMS-微电子机械系统.MEMS实际上意味着一种能力,即利用IC技术研制可控的、机械式可动结构.目前该项技术商业化最成功的例子是微机械压力传感器.传感器,尤其是压力传感器主要用作临界状态监测,确定传... 详细信息

现在人们对高技术谈论最多的莫过于MEMS-微电子机械系统.MEMS实际上意味着一种能力,即利用IC技术研制可控的、机械式可动结构.目前该项技术商业化最成功的例子是微机械压力传感器.传感器,尤其是压力传感器主要用作临界状态监测,确定传感器的可行性.因此,传感器通常有一种重要的平衡因素,即传感器本身生产成本应低于其所构成系统成本几个数量级.例如,对于一辆价值2.5万元的汽车,为保证其燃料有效利用、降低空气污染所使用的传感器价格应在10美元左右.最早的硅压力传感器价格昂贵,只能用于一些特殊的领域如航空,而在近十年,硅微机械加工生产技术的进步开辟了许多新的低成本市场.

关键词：硅谷压力传感器微电子机械系统

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微电子机械系统（MEMS）研究现状与展望

薄膜科学与技术 1995年第3期8卷 250-259页

作者：张寿柏蔡炳初

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MEMS微电子机械系统与流程工业自动化

中国仪器仪表 2009年第7期 29-31,41页

作者：卞正岗中国仪器仪表行业协会现场总线专业委员会

1引言在20世纪80年代，随着美国借助半导体集成电路制造技术研制成功微米级的硅微型静电电机而形成了微机械领域。这期间德国卡尔斯鲁厄原子核物理研究中心发明了LIGA技术（LIGA，Lithographie Galvanofomung Abfomung），并制作出微加... 详细信息

1引言在20世纪80年代，随着美国借助半导体集成电路制造技术研制成功微米级的硅微型静电电机而形成了微机械领域。这期间德国卡尔斯鲁厄原子核物理研究中心发明了LIGA技术（LIGA，Lithographie Galvanofomung Abfomung），并制作出微加速度器、微型涡轮、微电机等多种微机械和微光学元件和系统。日本也研制出在硅衬底上制造几十微米大小的微连接铰链、弹簧、齿轮等构件。

关键词：微电子机械系统流程工业自动化 MEMS 半导体集成电路 LIGA技术制造技术原子核物理微光学元件

基于Si纳米膜的差分结构矢量水听器工艺研究

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传感器与微系统 2024年第3期43卷 60-62,75页

作者：苗晋威杨沙沙齐秉楠曹文萍史一明王任鑫中北大学省部共建动态测试技术国家重点实验室山西太原030051 声纳技术重点实验室浙江杭州310000

通过关键工艺步骤,将硅(Si)纳米膜制备在差分结构水听器上作为压敏电阻,利用Si纳米膜的巨压阻效应来提高水听器的灵敏度;利用深Si刻蚀,将Si柱与芯片一体化,减少了差分结构的对准误差,同时抑制海洋洋流带来的振动干扰。设计了相对应的光... 详细信息

通过关键工艺步骤,将硅(Si)纳米膜制备在差分结构水听器上作为压敏电阻,利用Si纳米膜的巨压阻效应来提高水听器的灵敏度;利用深Si刻蚀,将Si柱与芯片一体化,减少了差分结构的对准误差,同时抑制海洋洋流带来的振动干扰。设计了相对应的光刻掩模版和整套工艺流程,通过MEMS工艺,成功加工出Si纳米膜作为压敏电阻,实现矢量水听器芯片与Si柱集成化。对制备好的芯片进行观测与测试,使用激光共聚焦显微镜和扫描电子显微镜(SEM)设备观察芯片形貌良好,尺寸与设计基本一致;通过半导体分析仪测量得到压敏电阻器的阻值为15.3×10^(4)Ω,线性度良好,符合矢量水听器功能需求。

关键词：矢量水听器抑制振动干扰硅纳米膜压敏电阻器微电子机械系统