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微电子机械系统(MEMS)发展研究

The Development Situation of MEMS

作     者：王宏 Wang Hong (Northeast Microelectronics Institute,Shenyang 110032)

作者机构：东北微电子研究所沈阳110032 

出 版 物：《微处理机》 (Microprocessors)

年 卷 期：2002年第23卷第3期

页      面：4-7页

学科分类：08[工学] 080202[工学-机械电子工程] 0802[工学-机械工程] 080201[工学-机械制造及其自动化] 

主　　题：微电子机械系统 发展 商品化 微电子技术 CAD 

摘      要：叙述了世界 MEMS产业和市场情况 ,介绍了当前 MEMS的设计、制造、封装和测试技术 ,最后浅析了 MEMS产品的商品化进展。

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