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微电子机械系统中的超微电机

微电子机械系统中的超微电机

第七届中国小电机技术研讨会

作者：陈宝施进浩中国电子科技集团公司第二十一研究所中国电子科技集团公司第二十一研究所

文章介绍了微电子机械系统中的关键执行部件-超微电机,包括静电型微电机、电磁型微电机、超声波微电机等。分析了其原理、分类及各自的特点,概述了超微电机的研制发展过程,综述了微电子机械系统中微电机的发展趋势。

关键词：超微电机微电子机械系统纳米技术

来源： cnki会议评论

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微电子机械系统的制作技术

新技术新工艺 1997年第6期 7-8页

作者：揭景耀华东交通大学

简要介绍了微电子机械系统制作的主要技术：体微机械加工技术、表面微机械加工技术、键合技术和微模制成型技术。

关键词：微电子机械系统微机械 LIGA技术

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一种微电子机械系统共振器的非线性自由振动

南京理工大学学报 2003年第5期27卷 515-519页

作者：陈运生杨国来杭燚南京理工大学机械工程学院南京210094

该文建立了某微电子机械系统共振器的单自由度非线性力学模型 ,由微分方程的线性化方法和一元高次方程理论 ,讨论了自由振动的平衡位置以及系统非线性自由振动的频率和运动响应的求解方法 ,给出了刚度较小时的非线性自由振动的解析解 ,... 详细信息

该文建立了某微电子机械系统共振器的单自由度非线性力学模型 ,由微分方程的线性化方法和一元高次方程理论 ,讨论了自由振动的平衡位置以及系统非线性自由振动的频率和运动响应的求解方法 ,给出了刚度较小时的非线性自由振动的解析解 ,这对相应的共振器设计具有一定的参考价值。

关键词：微电子机械系统共振器非线性自由振动

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微电子机械系统中微尺度热物性研究进展

机械强度 2001年第4期23卷 465-470页

作者：余隽唐祯安魏广芬大连理工大学电子工程系大连116023

微电子机械系统 (MEMS)是结合微电子技术和微机械加工技术制造而成的微型机电一体化系统。MEMS中薄膜材料的厚度可达到微米、亚微米直至纳米量级。由于微尺度效应 ,薄膜材料的导热规律及其各种热物性参数 (如比热、热导率、热扩散率等 ... 详细信息

微电子机械系统 (MEMS)是结合微电子技术和微机械加工技术制造而成的微型机电一体化系统。MEMS中薄膜材料的厚度可达到微米、亚微米直至纳米量级。由于微尺度效应 ,薄膜材料的导热规律及其各种热物性参数 (如比热、热导率、热扩散率等 )与常规材料显著不同。设计MEMS时必须充分考虑微尺度效应 ,并使用合理的热物性参数值 ,才能保证微电子机械系统的热稳定性。本文从理论建模、实验测试和计算机模拟三个方面总结了近年来微尺度薄膜热物性的研究进展。

关键词：微尺度薄膜热物性参数微电子机械系统

微电子机械系统(MEMS)及其在军事领域的应用研究

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军民两用技术与产品 2017年第20期 80-80页

作者：张捍驰陆军炮兵防空兵学院南京校区南京211100

信息化技术手段的日渐成熟推动了整个社会的快速进步,并且不断涌现出全新的技术,其中微电子机械系统在航空航天、汽车工业、生物制药等多个领域中都有着广泛的应用,而微电子机械系统(MEMS)在军事领域内也发挥着关键的作用,能够加快建立... 详细信息

信息化技术手段的日渐成熟推动了整个社会的快速进步,并且不断涌现出全新的技术,其中微电子机械系统在航空航天、汽车工业、生物制药等多个领域中都有着广泛的应用,而微电子机械系统(MEMS)在军事领域内也发挥着关键的作用,能够加快建立一支现代化、信息化的部队,保证技术水平的领先.因此本文首先对MEMS的功能、特点等情况进行阐述,进而对MEMS在军事领域的应用情况展开探讨,主要包括军事电子信息系统、战场无线传感器网络等方面.

关键词：微电子机械系统军事领域军事电子信息系统

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微电子机械系统技术与蓬勃发展的光纤通信

光机电信息 2004年第2期21卷 30-33页

作者：王立斌

硅微机械技术是一种新兴技术 ,它几乎影响着每一个科学技术领域 ,如汽车、移动通信、航天、化学以及光波系统。目前许多工业领域期待选用微 /纳电子机械系统来解决技术上的问题。概括地说 ,是用标准的集成电路技术实现的。用硅晶片作基... 详细信息

硅微机械技术是一种新兴技术 ,它几乎影响着每一个科学技术领域 ,如汽车、移动通信、航天、化学以及光波系统。目前许多工业领域期待选用微 /纳电子机械系统来解决技术上的问题。概括地说 ,是用标准的集成电路技术实现的。用硅晶片作基底沉积多层膜系 ,如氮化物、多晶硅、氧化物和各种金属膜系 ,用制造集成电路的方法可以制造复杂的三维结构。然而 ,这种结构并不是集成电路 ,还要通过蚀刻去氧化物释放器件以生产出能运动的结构。在制作工艺上做细微的改变就能生产可运动的器件 ,诸如旋转齿轮、铰链、平台和柔性梁以及各种类型的电机。在光纤通信应用方面 ,微电子机械系统 (MEMS)技术可制作各种组件 ,如数据调制器 ,可变衰减器、光开关、主动均衡器、插 /分复用器、光学连接器、色散补偿器、全光开关、可调谐激光光源 ,有源元件和自适应光学元件。本文描述了用现有的标准制造设备制作出的光通信用的各种微电子机械光学元件。

关键词：微电子机械系统光纤通信硅微机械光学元件