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一种微电子机械系统共振器的非线性自由振动

Free Vibration with Nonlinearity for a Resonator of Micro-electro-mechanical System

作     者:陈运生 杨国来 杭燚 

作者机构:南京理工大学机械工程学院南京210094 

出 版 物:《南京理工大学学报》 (Journal of Nanjing University of Science and Technology)

年 卷 期:2003年第27卷第5期

页      面:515-519页

核心收录:

学科分类:0810[工学-信息与通信工程] 08[工学] 080203[工学-机械设计及理论] 0805[工学-材料科学与工程(可授工学、理学学位)] 0802[工学-机械工程] 0812[工学-计算机科学与技术(可授工学、理学学位)] 

主  题:微电子机械系统 共振器 非线性 自由振动 

摘      要:该文建立了某微电子机械系统共振器的单自由度非线性力学模型 ,由微分方程的线性化方法和一元高次方程理论 ,讨论了自由振动的平衡位置以及系统非线性自由振动的频率和运动响应的求解方法 ,给出了刚度较小时的非线性自由振动的解析解 ,这对相应的共振器设计具有一定的参考价值。

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