检索结果-南通市图书馆

准分子激光微加工技术结合模塑技术加工微流控芯片

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中国激光 2011年第9期38卷 61-66页

作者：申雪飞陈涛吴靖轩北京工业大学激光工程研究院北京100124 北京保利星数据光盘有限公司北京100070

利用准分子激光微加工技术与模塑技术相结合的方法制造微流控芯片。用准分子激光在玻璃基胶层上刻蚀出加工质量较高的微流控生物芯片形貌,通过电铸技术对微流控芯片进行复制,得到反向金属模具。用金属模具通过注塑成型技术用聚碳酸酯注... 详细信息

利用准分子激光微加工技术与模塑技术相结合的方法制造微流控芯片。用准分子激光在玻璃基胶层上刻蚀出加工质量较高的微流控生物芯片形貌,通过电铸技术对微流控芯片进行复制,得到反向金属模具。用金属模具通过注塑成型技术用聚碳酸酯注塑出微流控芯片。系统研究了准分子激光的能量密度和工作台移动速度对胶层微通道加工质量的影响;测量并分析了激光刻蚀加工出的微流控芯片原型、电铸的反向金属模板和注塑成型后的微流控芯片的轮廓精度和表面粗糙度,上表面尺度偏差不大于2μm,底面粗糙度小于20 nm。对注塑出的微流控芯片和激光直写刻蚀的几何结构相同的微流控芯片的流动性能进行比较测试。在流速较小时,用激光微加工技术与模塑技术相结合的方法加工的微通道比准分子激光直写法所加工的微通道流动性能更好。

关键词：激光技术准分子激光微加工模塑技术微流控生物芯片

220GHz折叠波导UV-LIGA微加工工艺(英文)

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强激光与粒子束 2015年第2期27卷 9-13页

作者：马天军孙建海郝保良李飞伊福廷刘濮鲲中国科学院电子学研究所北京100190 中国科学院高能物理研究所北京100049 北京大学应用电子学研究所北京100875

真空电子器件的频率正向太赫兹频段发展,折叠波导慢波结构是行波管的核心部件,由于真空器件的尺寸与波长具有共渡性,频率越高,互作用结构的尺度越小,加工误差的要求越严格。传统的加工方法很难实现如此微小尺寸的结构,UVLIGA技术对于制... 详细信息

真空电子器件的频率正向太赫兹频段发展,折叠波导慢波结构是行波管的核心部件,由于真空器件的尺寸与波长具有共渡性,频率越高,互作用结构的尺度越小,加工误差的要求越严格。传统的加工方法很难实现如此微小尺寸的结构,UVLIGA技术对于制造这种微型结构是一种很有前途的方法。用UV-LIGA方法制备真空器件的慢波结构,涉及到两个主要的问题:一是SU8厚胶匀胶过程中如何确保其厚度及其一致性;二是横向贯穿折叠波导中心的电子注通道如何成型。以220GHz折叠波导为研究对象,针对上述两个问题开展了相关的工艺试验,使用特制的PDMS模具,采用重力匀胶法,实现了大厚度SU8胶匀胶,表面平整,高度一致。在SU8光刻胶中通过专用夹具,嵌入透明有机丝,形成细长电子注通道。而后,采用脉冲电铸电源,在硫酸铜电铸液中电铸,获得了表面平整的无氧铜微结构。

关键词：微加工折叠波导 UV-LIGA 行波管

皮秒激光加工LCP挠性覆铜板的工艺及机理研究

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皮秒激光加工LCP挠性覆铜板的工艺及机理研究

作者：程立中南民族大学

学位级别：硕士

随着新一代通信技术的不断发展,传统的信号频段已经无法满足高速的数据传输、高频系统带宽的要求,进而对高频器件提出了新的要求,因此,亟需高频系统对应的器件封装方案来解决相应的问题。归功于LCP具有优异的介电常数温度系数特性、极... 详细信息

随着新一代通信技术的不断发展,传统的信号频段已经无法满足高速的数据传输、高频系统带宽的要求,进而对高频器件提出了新的要求,因此,亟需高频系统对应的器件封装方案来解决相应的问题。归功于LCP具有优异的介电常数温度系数特性、极低的吸湿性和高频封装表现更好等优势,以LCP为基底复合而成的LCP挠性覆铜板针对高频器件封装表现更佳,其在微波/毫米基板封装中有着广泛地应用,在5G电子器件封装领域受到广泛关注。在高频系统封装过程中,微尺度加工必不可少。由于传统的机械冲压和化学刻蚀等方法在加工程序繁琐和产生化学污染等问题,因而应用受限。利用传统激光加工LCP材料,受激光热效应的影响,LCP基材的热形会改变加工激光聚焦从而影响加工精度,而LCP分子在热效应的影响下容易发生材料改性,影响射频器件的电气性能。针对上述问题,近年来,基于超快激光的激光直写技术被广泛的应用于各种有机高分子聚合物材料的冷加工,其加工热影响区较小,加工尺寸的精度较高,可以有效的改善LCP材料在热效应下出现的表面改性等问题。不同于一般有机高分子聚合物,LCP在熔融状态下成键更稳定,流动性更强。因此在加工过程中,熔融的LCP分子难以被光致等离子体进一步激发,在停止激光作用后,这些LCP熔体会回流凝固,使得加工深度减小以及出现切口粗糙等问题。主要研究内容包括以下几个部分:(1)通过对各种高频基板特性的比较,最终选用LCP挠性覆铜板进行高频封装,再对LCP基板的封装应用进行调研,结合皮秒激光加工LCP的优势,进行实验方案的制定。(2)对皮秒激光脉冲能量密度的高斯分布进行了分析与讨论,根据面积推算法,以及实验测量的数据,分别获得LCP材料在红外波长和紫外波长下的损伤阈值,并通过对比选择合适的波长。实验结果发现LCP在1064nm时光聚合反应严重影响加工质量,355nm波长更适合于LCP的精密加工。(3)进一步分析LCP基板超快加工过程中,激光功率、扫描速度、重复频率等对LCP材料蚀刻热力学方面的影响,结合液晶聚合物LCP物化性质来减小熔体液晶回流,提高微划线的加工质量。通过分析扫描速度和平均功率对划线质量的影响规律,发现在扫描速度为500 mm/s-700mm/s,激光平均功率在2.5W-3.5W时能获得较好的蚀刻效果。(4)最后,对LCP基板进行盲孔和去膜的工艺研究,选定最优参数。在此基础上,通过对LCP基板去膜后边框处热影响区分析,进一步探讨如何减小去膜过程中边框处的热影响区宽度。当扫描层数为5-6层,激光功率2.1W-2.7W,扫描速度在600mm/s时,去膜效果较好。综上所述,本论文的目的是通过皮秒激光实验研究激光工艺参数对LCP挠性覆铜板烧蚀阈值、微划线、去膜以及盲孔的影响,获得优化的加工参数。在此基础上,将加工后的材料通过激光共聚焦显微镜进行表征,探索LCP材料在超快激光作用下的热力学过程,解决加工过程中的液晶重凝问题,为LCP材料高频封装的电子器件加工提供初步的理论模型。

关键词：皮秒激光 LCP基板烧蚀阈值微加工

同方学位论文库评论

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同方学位论文库

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YAG激光微加工机

量子电子学报 1991年第1期 170-171页

作者：霍长征中国科学院安徽光机所 230031

在现代大规模集成电路的制作中,尤其在微电子领域多层布线混合集成电路用的

关键词：微加工激光 YAG

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同方期刊数据库

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微加工技术在新型给药系统中的应用综述

机电产品开发与创新 2007年第6期20卷 20-22页

作者：徐倩赵武唐爱民四川大学制造科学与工程学院学院四川成都610065

由于微加工技术有着精度高,柔性大,制造尺寸小,能实现大批量制造等特点,使用微加工技术制造的新型给药装置,在药物的缓释控释,靶向释放等方面,有着优于传统给药系统的特点。本文重点论述了几种典型的新型给药系统,通过查阅大量相关文献... 详细信息

由于微加工技术有着精度高,柔性大,制造尺寸小,能实现大批量制造等特点,使用微加工技术制造的新型给药装置,在药物的缓释控释,靶向释放等方面,有着优于传统给药系统的特点。本文重点论述了几种典型的新型给药系统,通过查阅大量相关文献,综述了几种典型的新型给药系统,重点论述了微加工技术在这几种给药装置中的应用情况。

关键词：给药系统微加工微机电

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一种热对流式MEMS二维质点振速传感器

声学学报 2023年第3期48卷 541-548页

作者：许相园孙远赵静葛浩鲍明卢明辉朱梦尧黎椿建李晓东中国科学院声学研究所北京100190 中国科学院噪声与振动重点实验室(声学研究所) 北京100190 中国科学院大学北京100049 南京大学固体微结构物理国家重点实验室&现代工程与应用科学学院南京210093 西北工业大学自动化学院西安710072 华为终端有限公司深圳518129 上海大学通信与信息工程学院上海200444

由空气质点振速传感器和声压传感器组成的矢量传声器是测量声场空间信息的重要方式。本文设计了一种新型热对流式二维质点振速传感器,不同于传统平行线式传感机制,该器件由多线进行交叉连结形成一个中央十字加热器和四个直角测温线,构... 详细信息

由空气质点振速传感器和声压传感器组成的矢量传声器是测量声场空间信息的重要方式。本文设计了一种新型热对流式二维质点振速传感器,不同于传统平行线式传感机制,该器件由多线进行交叉连结形成一个中央十字加热器和四个直角测温线,构成新的局域加热和温度传感方式,基于此设计能够获得更高的灵敏度并具有理想的正交性。通过数值分析对其传感机制进行了详细分析,并使用MEMS工艺进行器件制备和性能验证。实验结果表明,该器件具有良好的响应灵敏度和接近完美的正交指向性。所提出器件在体积受限的声场测量中具有潜在应用价值。

关键词：二维矢量传声器质点振速热线式传感器微加工

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微加工的工艺研究现状

精密制造与自动化 2001年第4期 11-15页

作者：吴希让王彦峰姬鸿飞周黎明南阳理工学院机电系 473003 南阳天力公司

各种工业产品小型化是发展方向之一。微加工是产品小型化的基础。文中介绍了微加工的基本概念和使用的主要方法。

关键词：微加工精密设备工业产品小型化机械去除溶解去除烧蚀

短/超短脉冲激光诱导等离子体微加工研究进展

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激光与光电子学进展 2020年第11期57卷 61-73页

作者：王兴盛黄宇珂沈博徐斌章剑缪洁良南京农业大学工学院江苏南京210095

当高强度短/超短脉冲激光聚焦于靶材表面或介质内部时,若其峰值功率密度超过某一阈值,靶材表面或介质内部会形成等离子体,等离子体与工件相互作用进行材料去除,这一过程称为激光诱导等离子体微加工(LIPMM)。这一加工技术可以高效吸收激... 详细信息

当高强度短/超短脉冲激光聚焦于靶材表面或介质内部时,若其峰值功率密度超过某一阈值,靶材表面或介质内部会形成等离子体,等离子体与工件相互作用进行材料去除,这一过程称为激光诱导等离子体微加工(LIPMM)。这一加工技术可以高效吸收激光能量,具有损伤小、效率高、应用广等特点,已被广泛应用于微加工领域。为此介绍了LIPMM的微加工原理,进一步阐述了以固体为靶材和以液体为介质的LIPMM的研究进展,对LIPMM未来所面对的问题和发展方向进行了总结和展望。

关键词：激光光学微加工短/超短脉冲激光激光诱导等离子体微加工

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利用同步辐射进行三维微加工

光机情报 1992年第1期9卷 17-22页

作者： Ehrfe.,W 徐长林