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一种热对流式MEMS二维质点振速传感器
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声学学报 2023年 第3期48卷 541-548页
作者: 许相园 孙远 赵静 葛浩 鲍明 卢明辉 朱梦尧 黎椿建 李晓东 中国科学院声学研究所 北京100190 中国科学院噪声与振动重点实验室(声学研究所) 北京100190 中国科学院大学 北京100049 南京大学固体微结构物理国家重点实验室&现代工程与应用科学学院 南京210093 西北工业大学自动化学院 西安710072 华为终端有限公司 深圳518129 上海大学通信与信息工程学院 上海200444
由空气质点振速传感器和声压传感器组成的矢量传声器是测量声场空间信息的重要方式。本文设计了一种新型热对流式二维质点振速传感器,不同于传统平行线式传感机制,该器件由多线进行交叉连结形成一个中央十字加热器和四个直角测温线,构... 详细信息
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超短脉冲激光精细加工纤维增强树脂基复合材料的研究进展
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复合材料学报 2023年 第5期40卷 2465-2479页
作者: 李遥遥 侯新富 何光宇 王明伟 南开大学现代光学研究所天津市微尺度光学信息技术科学重点实验室 天津300350
纤维增强树脂基复合材料具有轻质量、高强度、耐腐蚀和抗疲劳等优点,被广泛地应用在航空航天、风电及汽车等领域。然而纤维树脂复合材料是各向异性的非均质材料,属于典型的难加工材料,现有的加工技术存在热影响区过大、分层、起毛等问题... 详细信息
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用于细胞球状体培养的准球形底微孔阵列的快速加工方法
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分析化学 2023年 第8期51卷 1292-1301页
作者: 张郭远 吴蕾 彭熙尧 葛玉卿 刘婷 徐铁刚 赵建龙 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 传感技术联合国家重点实验室 中国科学院大学材料科学与光电技术学院
与传统的二维单层细胞相比,细胞球状体的功能更类似于体内细胞,因此在药物筛选和生理病理学研究中受到广泛关注。在低吸附准球形微孔阵列上培养细胞球状体可以实现尺寸可控和形态一致,并具有易于实现高通量的优点。然而,目前制造准... 详细信息
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共面波导型超导微波功分器: 设计、制备和测试
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物理学报 2021年 第15期70卷 319-325页
作者: 张博 贺青 杨欣达 欧阳鹏辉 王轶文 韦联福 西南交通大学信息科学与技术学院 信息量子技术实验室成都610031 西南交通大学物理科学与技术学院 量子光电实验室成都610031 东华大学理学院 光子学实验室上海201620
功分器是将信号按照一定比例进行功率分配的微波器件,广泛应用于微波电路.鉴于超导功分器是超导量子计算电路和超导微波光子探测器的重要器件单元,本文首先采用奇偶模方法分析三端口微波网络传输特性以获取无隔离电阻功分器的参数,其次... 详细信息
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基于球柱状电流变工具的工件表面形貌演化机理研究
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机械工程学报 2023年
作者: 董晓星 诸铁宇 鲁聪达 金明生 浙江工业大学特种装备制造与先进加工技术教育部/浙江省重点实验室 浙江工业大学机械工程学院 嘉兴学院信息科学与工程学院
在电流变液体特性基础上,开发一种球柱状电流变抛光工具,研究加工工件表面形貌演化机理。基于Preston方程和赫兹弹性接触摩擦理论,建立球柱状电流变工具的材料去除深度模型与工件表面轮廓演化模型。定点加工实验显示,工件表面轮廓... 详细信息
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薄膜热电堆(Cu/Cu55Ni45)热流传感器的制备工艺及性能研究
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人工晶体学报 2023年 第8期52卷 1523-1531页
作者: 冯楠茗 代波 王勇 李伟 西南科技大学环境友好能源材料国家重点实验室 绵阳621000 山东大学空间科学与物理学院 威海264200
本文首先通过磁控溅射技术在单晶Si和Al_(2)O_(3)陶瓷衬底上分别依次沉积厚度为600 nm的Cu和Cu55Ni45薄膜,然后使用微加工技术在10 mm×10 mm的衬底区域内制备了200对串联的热电偶组成薄膜热电堆结构,最后采用反应溅射联合硬掩膜沉积了... 详细信息
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阵列式高频热流信号薄膜传感器制备工艺与参数研究
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航空制造技术 2022年 第8期65卷 107-112页
作者: 董依依 衷洪杰 中国航空工业空气动力研究院 沈阳110034
阵列式高频热流信号柔性薄膜传感器在流体力学风洞试验中有着十分重要的应用前景。聚酰亚胺具有优良的力学性能、化学稳定性和耐高温特性,是微加工制备薄膜传感器的理想衬底材料之一。但该材料表面有疏水基团,制备的金属镀层极容易被破... 详细信息
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陶瓷基微反应器制备的研究进展
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化工进展 2019年 第8期38卷 3508-3516页
作者: 刘润阳 颜婷珪 张婷 田蒙奎 贵州大学化学与化工学院
微反应器中亚毫米级的流体通道具有高效的传质传热效应,使其能够强化反应过程。随着微细加工技术的发展,制备出了耐高温耐腐蚀的陶瓷基微反应器,适用于更严苛的反应条件,然而陶瓷基微反应器的制备存在微结构成型工艺复杂、密封难度较大... 详细信息
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高频超声换能器技术研究进展与展望
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振动.测试与诊断 2017年 第1期37卷 1-12+195页
作者: 吴大伟 南京航空航天大学机械结构力学及控制国家重点实验室
高频超声是超声技术前沿研究领域,可以提供更高的空间分辨率、更精准的检测诊断信息,在生物医学临床与基础研究、先进装备制造无损检测等领域具有重要的应用价值,但其核心器件高频超声换能器的研制一直是高频超声技术发展的瓶颈。首先,... 详细信息
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激光埋种辅助刻蚀制备微凹透镜阵列
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中国科学:物理学、力学、天文学 2020年 第8期50卷 16-23页
作者: 刘墨南 杨罕 孙洪波 吉林大学物理学院 凝聚态物理系长春130012 吉林大学电子科学与工程学院 集成光电子重点实验室长春130012
微透镜阵列作为微光学领域的一种重要元件,如何实现其高效加工一直是本领域亟需解决的技术环节.但是传统加工方法无法兼顾加工效率和加工质量,激光埋种辅助刻蚀方法可实现微凹透镜阵列的高效制备和微加工.本文回顾了这种新微加工方法的... 详细信息
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