激光埋种辅助刻蚀制备微凹透镜阵列

作     者：刘墨南 杨罕 孙洪波 LIU MoNan;YANG Han;SUN Hong-Bo

作者机构：吉林大学物理学院凝聚态物理系长春130012 吉林大学电子科学与工程学院集成光电子重点实验室长春130012 

出 版 物：《中国科学：物理学、力学、天文学》 (Scientia Sinica Physica,Mechanica & Astronomica)

年 卷 期：2020年第50卷第8期

页      面：16-23页

核心收录：

学科分类：08[工学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 0803[工学-光学工程] 0704[理学-天文学] 

基　　金：国家自然科学基金(编号:51501070)资助项目。 

主　　题：单脉冲曝光 飞秒激光 微透镜阵列 微加工 

摘      要：微透镜阵列作为微光学领域的一种重要元件,如何实现其高效加工一直是本领域亟需解决的技术环节.但是传统加工方法无法兼顾加工效率和加工质量,激光埋种辅助刻蚀方法可实现微凹透镜阵列的高效制备和微加工.本文回顾了这种新微加工方法的一系列探索工作,即采用空间光调制器对飞秒激光进行相位调制,提供一种激光埋种辅助刻蚀的方法.该方法利用相位调制得到的多个焦点替代单个焦点进行曝光,实现了对微凹透镜阵列的并行加工;同时,结合对多个焦点的相对能量和空间位置的调节,能够实现对每个微凹透镜形貌和光学参数的调控;从根本上改变了以往激光直写加工中对微纳结构逐点扫描的加工方式,从而实现了微阵列结构的高效、高质量加工.