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文献类型

  • 3 篇 期刊文献

馆藏范围

  • 3 篇 电子文献
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日期分布

学科分类号

  • 3 篇 工学
    • 2 篇 电子科学与技术（可...
    • 1 篇 材料科学与工程（可...

主题

  • 3 篇 平面磁控管
  • 1 篇 永久磁体
  • 1 篇 电磁体
  • 1 篇 等离子体增强
  • 1 篇 溅射放电
  • 1 篇 磁控管
  • 1 篇 rf
  • 1 篇 薄膜
  • 1 篇 等离子体
  • 1 篇 溅射

作者

  • 1 篇 a.g.spencer
  • 1 篇 豫民
  • 1 篇 王宝霞
  • 1 篇 musil j
  • 1 篇 喻子建
  • 1 篇 叶粳

语言

  • 3 篇 中文
检索条件"主题词=平面磁控管"
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带附加等离子体限制的平面磁控管
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引用
四川真空 1995年 第4期23卷 45-54页
作者： Musil,J 叶粳
本文报导了一种用于低压薄膜溅射的，带直径为６０ｍｍ靶子的小尺寸平面磁控管。如果在靶子上方安置一个永久磁铁组件，即可改进靶表面附近的等离子体限制，从而维持稳定的放电。试验表明：永久磁铁的极性对等离子体限制起着关键作用。... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 评论
用RF或微波磁活化等离子体增强的平面磁控管溅射放电
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引用
等离子体应用技术快报 1998年 第11期 6-7页
作者： 豫民
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 评论
平面阴极磁控溅射的设计及性能
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引用
电子工艺技术 1989年 第1期10卷 55-57,63页
作者： A.G.Spencer 王宝霞 喻子建
本文分别介绍了周永久磁体和电磁体所做的关于磁场强度及其分布对平面磁控管工作特性影响的研究情况。采用的电磁铁可在环状磁力线路径的中心之处产生0～30mT的变化磁场,在磁场增至25mT(250高斯)时,磁控管工作特性曲线有明显改善;如果超... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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