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一种简单的大口径全息平面干涉仪

仪器仪表学报 1991年第3期12卷 321-323页

作者：郑刚顾去吾孙逸平上海机械学院

一、引言全息平面(或球面)干涉仪采用了全息干涉的一次曝光法或二次曝光法,相对于传统的平面(或球面)干涉仪,除少用光学元件外,更主要的是由于全息图具有位相误差补偿作用,大大降低了对仪器中主要光学元件的质量要求,从而使得研制大口... 详细信息

一、引言全息平面(或球面)干涉仪采用了全息干涉的一次曝光法或二次曝光法,相对于传统的平面(或球面)干涉仪,除少用光学元件外,更主要的是由于全息图具有位相误差补偿作用,大大降低了对仪器中主要光学元件的质量要求,从而使得研制大口径的平面(或球面)干涉仪成为现实。在国内也已有多人报道了这方面的研究成果。本文提出了一种结构十分简单的大口径平面干涉仪,除了激光光源部分外,仅用了一个用于大光束扩束的倒置望远系统和一个作为平面标准的平面反射镜。由于结构简单,所以调整方便,在一般的实验室或光学车间均能实现。

关键词：全息干涉仪平面干涉仪干涉仪

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基于平面干涉仪的长曲率半径测量方法研究

基于平面干涉仪的长曲率半径测量方法研究

作者：王凯亮南京理工大学

学位级别：硕士

球面光学元件的曲率半径是其重要的光学结构参数之一。随着大型光学系统如大型望远系统、巨型激光器的发展,使用的长曲率半径球面元件越来越多,对球面元件曲率半径的精度要求也越来越高。光学干涉测量技术是非接触式测量长曲率半径的主... 详细信息

球面光学元件的曲率半径是其重要的光学结构参数之一。随着大型光学系统如大型望远系统、巨型激光器的发展,使用的长曲率半径球面元件越来越多,对球面元件曲率半径的精度要求也越来越高。光学干涉测量技术是非接触式测量长曲率半径的主要方法之一,具有高精度、高灵敏度等特点。本文围绕四十米左右的曲率半径的精密测量技术研究为中心,以曲率半径标称值为41400 mm、Taylor Hobson轮廓仪测试结果为41350mm的激光器谐振腔反射镜为研究对象,基于数字平面干涉仪测量平台,以传统牛顿环法为基础,开展了长曲率半径高精度测量方法研究。为了克服经典牛顿环法条纹过密和变异牛顿环法需要实球面样板的缺点,提出了虚拟牛顿环(参考曲率半径数字产生)与现实牛顿环(实际样品的实验数据)复合的莫尔变异牛顿环求解曲率半径的方法。为了有效提取莫尔变异牛顿环的暗环位置,采用二阶极坐标变换将圆载频莫尔条纹转化成等间距直条纹和傅里叶频谱分析方法,得到了被测对象的曲率半径一维分布结果,实验结果相对精度为0.5%。为了有效利用干涉图二维数据信息,引入移相干涉波面恢复的方法,提出了莫尔移相波前差分法,计算虚实牛顿环表征的两球面之间差分波面,据专用曲率半径计算模型,求取了长曲率半径的二维分布结果,实验结果相对精度为1.1%。针对长曲率半径球面反射返回波面与参考平面波之间存在的回程误差,应用ZEMAX光学设计软件平台,建立长曲率半径球面的干涉测试多重结构模型,分析长曲率球面元件引入的回程误差对测量结果的影响,提出了回程误差补偿方法。经过回程误差补偿后,待测样品的曲率半径一维分布结果相对精度提升为0.04%,曲率半径二维分布结果相对精度提升为0.5%。

关键词：平面干涉仪长曲率半径牛顿环波面恢复回程误差

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平面干涉仪测立方体直角方法误差分析

科学技术创新 2018年第25期 69-70页

作者：陈光钟林张铉华中光电技术研究所湖北武汉430223

用平面干涉仪测量立方体直角的方法方便快捷,适应于大批量的方体加工。对影响平面干涉仪测立方体直角方法误差影响因素进行了分析,确定了面形误差与角度相互配置的合理允差值。为方体加工中角度控制及测量提供了科学理论依据。

关键词：平面干涉仪面形精度角度误差允差值

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平面干涉仪测立方体直角方法的研究

光学与光电技术 2020年第6期18卷 30-34页

作者：陈光熊长新王潺何侃张铉华中光电技术研究所一武汉光电国家研究中心湖北武汉430223

为实现方体加工过程中快速准确的测角目的,解决传统测角技术难以适应大批量的方体加工问题,对平面干涉仪测立方体直角方法进行了研究。通过理论推导建立了待测角度偏差与干涉条纹条数的关系式,同时为在线加工过程角度的修正提供理论及... 详细信息

为实现方体加工过程中快速准确的测角目的,解决传统测角技术难以适应大批量的方体加工问题,对平面干涉仪测立方体直角方法进行了研究。通过理论推导建立了待测角度偏差与干涉条纹条数的关系式,同时为在线加工过程角度的修正提供理论及检测方法的指导。通过对90 mm×90 mm×90 mm的立方体进行测角工艺探究,实现了用平面干涉仪对立方体直角误差的检测,以及误差正负的判断,结果表明当视场内条纹数m=5.5时,直角误差δ≤2″。条纹收缩时为正误差,条纹扩散时为负误差。

关键词：平面干涉仪等厚干涉测量方体直角直角误差

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激光平面干涉仪的演示实验

实验技术与管理 1991年第4期8卷 88-89页

作者：齐文浦西安工业学院

在光具座上做激光平面干涉仪演示实验,是一种简便易行的方法,它可以讨论两点光源的干涉场及其特点;干涉仪的瞳和窗及其与干涉条纹的关系;正确选择干涉场的方法及相应的观测方法;空间滤波现象和提高条纹对比度应注意的问题。

关键词：激光平面干涉仪演示实验

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一种新的简单的大口径全息平面干涉仪

光学仪器 1991年第2期13卷 30-33页

作者：郑刚刘铁英孙逸平上海机械学院

本文提出一种结构相当简单的大口径全息平面干涉仪,文中详细介绍了干涉仪的工作原理,并给出了实验结果。这种干涉仪特别适合光学车间使用。

关键词：平面干涉仪干涉仪

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一种新的结构简单的大口径全息平面干涉仪

上海机械学院学报 1990年第2期12卷 69-72页

作者：郑刚徐真善顾去吾孙逸平上海机械学院仪器仪表学院

本文提出了一种结构十分简单的大口径全息平面干涉仪,理论与实验证明利用全息图的位相误差补偿作用制成大口径的全息平面干涉仪是完全可行的。

关键词：全息图平面干涉仪干涉仪

改进型平面干涉仪在光学元件表面检测中的应用

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改进型平面干涉仪在光学元件表面检测中的应用

平面等倾干涉仪检定规程的误差分析与实验数据

第十三届全国实验力学学术会议

作者：陆鹏中国船舶重工集团公司第七一一研究所

光学干涉计量是基于光波叠加原理,分析处理干涉场中亮暗变化的条纹或其灰度变化来获取被测量的有关信息的测量技术。当把被测量引入干涉仪的一支光路中,干涉仪光路中的光程差将发生变化,干涉条纹也随之变化。通过测量干涉条纹的变化量,... 详细信息

光学干涉计量是基于光波叠加原理,分析处理干涉场中亮暗变化的条纹或其灰度变化来获取被测量的有关信息的测量技术。当把被测量引入干涉仪的一支光路中,干涉仪光路中的光程差将发生变化,干涉条纹也随之变化。通过测量干涉条纹的变化量,可以获得与介质折射率和几何光程有关的各种物理量。波长量级的灵敏度分析必然要借助于干涉现象,且干涉法具有条纹稳定,分辨率高,便于理解和分析,可记录等优点而得到广泛应用。文章介绍了平面干涉仪的改造工作和在此基础上对光学元件表面检测的应用。通过对一般平面干涉仪光路上的改进,使得测量灵活性和便携性得到较大提高,再进一步通过分析得到了光学元件前后表面的平行度及表面粗糙度有关的信息。对于类似的光学元件的表面检测或评价均可参照本文提出的光路和观点。下图显示了较好及较差平面的光学元件在干涉仪中的前后表面干涉等厚图样,条纹笔直且均匀分布的为佳(前者),而由于表面粗糙度较大,使得条纹弯曲为次(后者)。

关键词：平面干涉仪平面检测等厚干涉

来源： cnki会议评论

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计测 1990年第1期16卷 46-47,45页

作者：张成悌