平面干涉仪检测立方体直角误差的方法
Detection method for the cube right angle errors with plane interferometer作者机构：南京理工大学军工试验中心南京210094
出 版 物：《光学技术》 (Optical Technique)
年 卷 期：2014年第40卷第3期
页 面：286-288页
核心收录：
学科分类：12[管理学] 1201[管理学-管理科学与工程(可授管理学、工学学位)] 08[工学] 0802[工学-机械工程] 080201[工学-机械制造及其自动化]
摘 要：介绍一种使用平面干涉仪对立方体直角误差的测量方法。利用激光干涉测量方法具有精度高和灵敏度高的特点,制做一个放置立方体的夹具,使其测试光路在立方体内经反射后又由入射面出射,当与测试平行光重合时形成干涉,实现用平面干涉仪对立方体直角误差的检测。同时,也可对立方体表面平面度、玻璃材质缺陷等指标进行判别。具有与棱镜透镜干涉仪检测立方体直角误差的同等效果。
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