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脉冲负偏压的占空比对多孔氧化硅薄膜拉曼光谱的影响
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材料工程 2008年 第10期36卷 169-172页
作者: 杨沁玉 刘磊 丁可 张菁 王庆瑞 东华大学材料学院 上海201620 东华大学理学院 上海201620
用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)的方法,以硅烷为源气体,在玻璃基片上沉积得到多孔氧化硅薄膜。将反应过程中加在沉积区域的脉冲负偏压固定在-300V,当占空比从0.162增大到0.864时,薄膜样品的结构、形貌均不相同。拉曼光谱显示,位于... 详细信息
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稻壳炭基高比表面多孔氧化硅的表征及Cu(Ⅱ)吸附特性
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化工学报 2011年 第12期62卷 3434-3439页
作者: 李大伟 陈登宇 朱锡锋 中国科学技术大学安徽省生物质洁净能源重点实验室 安徽合肥230027
以热解稻壳炭为原料,H3PO4为酸化剂,聚乙二醇为模板剂,制得了多孔氧化硅;采用N2吸脱附、X射线荧光光谱、X射线能谱、X射线衍射等测试技术表征了制得的多孔氧化硅,采用批量吸附实验考察了它对水溶液中Cu(Ⅱ)的吸附特性。结果表明:以稻壳... 详细信息
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采用纤蛇纹石制备纳米纤维状多孔氧化硅
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中南大学学报(自然科学版) 2007年 第6期38卷 1088-1093页
作者: 冯其明 杨艳霞 刘琨 肖愉 张国范 中南大学资源加工与生物工程学院 湖南长沙410083
以天然纤蛇纹石为原料,通过酸浸制备纳米纤维状多孔氧化硅,并使用X射线荧光光谱(XRF)、X射线衍射(XRD)、傅里叶变换红外光谱(FTIR)和N2吸附-脱附等温线技术等对其进行表征。研究结果表明:该多孔氧化硅具有独特的纳米纤维状形貌;其结构... 详细信息
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脉冲偏压占空比对多孔氧化硅薄膜性质的影响
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核聚变与等离子体物理 2010年 第2期30卷 189-192页
作者: 杨沁玉 刘磊 丁可 张菁 王庆瑞 东华大学材料学院 上海201620 东华大学理学院 上海201620 东华大学磁约束核聚变教育部研究中心 上海201620
采用由脉冲负偏压调节的等离子体增强化学气相沉积方法,以硅烷为源气体,在玻璃基片上沉积得到了多孔氧化硅薄膜。将反应过程中加在沉积区域的脉冲偏压固定在-350V,当占空比从0.162增大到0.864时,薄膜样品的形貌、成份和结构均不相同... 详细信息
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从热蒸发多孔氧化硅薄膜表面形貌研究其生长机理
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材料导报 2015年 第12期29卷 37-42页
作者: 赵丽特 范东华 朱慧群 罗坚义 王忆 龙拥兵 文铨 五邑大学应用物理与材料学院 江门529020
薄膜的表面形貌与生长机理相关,因此可以通过研究薄膜表面形貌的演变来外推其生长机理。利用热蒸发法在硅片上制备了纳米多孔氧化硅薄膜,利用扫描电镜(SEM)和X射线能谱(EDS)对不同样品的形貌、成分进行了表征。研究发现所制备的薄膜... 详细信息
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高选择和自终止多孔氧化硅SOI技术研究
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Journal of Semiconductors 1997年 第12期18卷 921-925页
作者: 黄宜平 李爱珍 邹斯洵 李金华 竺士炀 复旦大学电子工程系 上海200433 江苏石油化工学院 常州213016
本文研究了n型硅阳极化的高选择和自终止工艺,并将该工艺用于形成多孔氧化硅全隔离SOI结构.采用这种FIPOS(FullIsolationbyPorousOxidizedSilicon)技术在n-/n+/n-衬底上形成的SOI(SiliconOnInsulator)结构,其顶层硅岛厚度可... 详细信息
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改性多孔氧化硅材料的差热性能分析
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硅酸盐通报 2014年 第11期33卷 3063-3065页
作者: 钱晴 刘君 李露晴 姚子建 马东东 宿迁学院三系 宿迁223800
采用溶胶凝胶+超临界干燥法制备了纳米氧化硅气凝胶块体,用KH550和氟硅烷对其进行了表面改性,利用DTA分析了两种改性剂对多孔氧化硅的接枝特性。结果表明,KH550与氟硅烷相比,可与气凝胶表面接枝反应良好,降低表面羟基含量以及对空气中... 详细信息
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核壳型多孔氧化硅制备过程中表面活性剂的浓度调控及作用机理
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硅酸盐通报 2015年 第8期34卷 2404-2408页
作者: 雷博 刘卫丽 上海微系统与信息技术研究所 上海200050
本文通过液晶模板法制备核壳型多孔氧化硅,分析了多孔氧化硅在纳米颗粒表面的包覆特性。探究了表面活性剂与硅源的摩尔比(CTAB/TEOS)对多孔氧化硅壳层生长的影响,从实验上证实了多孔氧化硅壳层生长的最适摩尔浓度比随纳米颗粒尺寸的变... 详细信息
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纳米多孔氧化硅的制备及荧光光谱研究
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激光技术 2008年 第6期32卷 605-607页
作者: 车永莉 曹小龙 李清山 曲阜师范大学信息技术与传播学院 日照276826 曲阜师范大学计算机科学学院 日照276826 曲阜师范大学物理工程学院 曲阜273165
为了制作性能良好的光电子集成、光波导等器件,研究纳米多孔氧化硅膜的制备和表征具有重要意义。采用高温氧化多孔硅的方法制备了纳米多孔氧化硅,进行了两种样品的荧光光谱和傅里叶变换红外吸收谱对比检测。相比于多孔硅,多孔氧化硅的... 详细信息
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利用粉煤灰制备多孔氧化硅的实验
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现代地质 2006年 第3期20卷 399-404页
作者: 李贺香 马鸿文 王芳 王英滨 中国地质大学矿物材料国家专业实验室 北京100083
利用相分离原理,以粉煤灰经硅铝分离后所得的硅酸凝胶为原料,选用聚乙烯醇为造孔剂,硝酸为催化剂,成功地制备了多孔氧化硅。实验结果表明:制备的多孔氧化硅的孔道发育良好,含有三级孔道。扫描电镜分析显示:大孔孔径为1~2μm,... 详细信息
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