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学科分类号

  • 1 篇 管理学
    • 1 篇 管理科学与工程(可...

主题

  • 1 篇 化学机械抛光
  • 1 篇 抛光转速
  • 1 篇 抛光压力
  • 1 篇 三结砷化镓
  • 1 篇 外延层表面
  • 1 篇 有效氯含量

机构

  • 1 篇 中国电子科技集团...

作者

  • 1 篇 李穆朗

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=外延层表面"
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三结砷化镓太阳能电池外延层表面抛光技术研究
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天津科技 2024年 第2期51卷 33-36页
作者： 李穆朗 中国电子科技集团公司第四十六研究所 天津300022
以空间用三结砷化镓(GaAs)电池外延表面抛光为研究对象,对抛光压力、抛光转速、抛光液pH等参数进行试验研究。研究结果表明:选用抛光压力40 g/cm^(3),采用55 r/min的转速,有效氯含量为5%的抛光液,对三结砷化镓太阳能电池外延表面有良好... 详细信息
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