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固定流导法校准真空漏孔方法研究

真空与低温 2005年第4期11卷 197-204页

作者：李得天郭美如冯焱葛敏张周焕王占忠刘波杨新民兰州物理研究所甘肃兰州730000 西安航天计量测试研究所陕西西安710100

固定流导法采用的是分压力测量技术,对质谱分析室的漏放气率的指标要求不高。通过实验得到四极质谱计的非线性引起的测量误差可达38%,在具体校准过程中能够很好调节稳压室中的气体压力,使通过小孔的气体流量与待校真空漏孔漏率非常接近... 详细信息

固定流导法采用的是分压力测量技术,对质谱分析室的漏放气率的指标要求不高。通过实验得到四极质谱计的非线性引起的测量误差可达38%,在具体校准过程中能够很好调节稳压室中的气体压力,使通过小孔的气体流量与待校真空漏孔漏率非常接近,从而避免了四极质谱计的非线性影响。稳压室中的气体压力比较大,所以稳压室不需要特别严格的材料处理工艺,具体校准过程中也不需要彻底的烘烤出气就能得到纯净的单一气体。固定流导法校准真空漏孔的不确定度的评定值为2.6%,可以通过精确校准电容薄膜规和控制温度来进一步降低漏孔校准的不确定度。

关键词：固定流导法真空漏孔校准不确定度分析

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固定流导法真空漏孔校准装置性能研究

真空与低温 2011年第1期17卷 48-52页

作者：刘波丁立莉西安航天计量测试研究所陕西西安710100

固定流导法是通过已知流导小孔的气体与真空漏孔流出的气体用四极质谱计进行比较,从而得到漏孔漏率的一种极为精确的方法。小孔是采用机械、激光等方法加工制成,在分子流条件下,小孔流导为一常数。运用此方法,建立了一套真空检漏校准装... 详细信息

固定流导法是通过已知流导小孔的气体与真空漏孔流出的气体用四极质谱计进行比较,从而得到漏孔漏率的一种极为精确的方法。小孔是采用机械、激光等方法加工制成,在分子流条件下,小孔流导为一常数。运用此方法,建立了一套真空检漏校准装置以进行量值传递工作。为了保证校准数据的准确可靠性,需对该套装置的不确定度进行分析与评定。

关键词：固定流导法真空漏孔校准不确定度分析稳定性重复性

一种下限为1.3×10^(-14)Pa·m^3/s的真空漏孔校准装置

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真空科学与技术学报 2014年第5期34卷 504-509页

作者：卢耀文陈旭李得天齐京刘波闫睿查良镇清华大学北京100084 兰州物理研究所兰州730000 西安航天计量测试研究所西安710100

为了解决漏率小于10-12Pa·m3/s漏孔的校准问题,提出累积法与固定流导法相结合的方法,研制出下限可达10-14Pa·m3/s量级的校准装置。装置主要由累积比较系统和固定流导法流量计组成,采用四极质谱计作为比较器测量示漏He气离子流大小,通... 详细信息

为了解决漏率小于10-12Pa·m3/s漏孔的校准问题,提出累积法与固定流导法相结合的方法,研制出下限可达10-14Pa·m3/s量级的校准装置。装置主要由累积比较系统和固定流导法流量计组成,采用四极质谱计作为比较器测量示漏He气离子流大小,通过累积的方法解决了质谱分析室中示漏气体分压力测量问题;采用激光打孔和多次镀膜的方式获得10-10m3/s量级的分子流导,用吸气剂泵将真空室本底压力维持在10-7Pa量级,使磁悬浮转子真空计对固定流导元件入口He气压力测量下限可达10-4Pa,从而获得下限为1.3×10-14Pa·m3/s的标准气体流量。研究结果表明,装置采用He气作为示漏气体的校准范围为10-12~1.3×10-14Pa·m3/s,合成标准不确定度为5.2%~5.8%。

关键词：累积法固定流导法真空漏孔漏率

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极小气体流量测量技术研究

真空科学与技术学报 2011年第4期31卷 435-439页

作者：李得天冯焱成永军张涤新郭美如兰州物理研究所真空低温技术与物理重点实验室兰州730000

介绍了固定流导法极小气体流量测量技术,利用流导值为10-9m3/s量级的精密小孔,通过在10-110 Pa范围内调节进气压力,实现了10-810-10Pa·m3/s的流量测量,合成标准不确定度为0.94%。利用流导比值为187.9的两个激光小孔,将固定流导法产生... 详细信息

介绍了固定流导法极小气体流量测量技术,利用流导值为10-9m3/s量级的精密小孔,通过在10-110 Pa范围内调节进气压力,实现了10-810-10Pa·m3/s的流量测量,合成标准不确定度为0.94%。利用流导比值为187.9的两个激光小孔,将固定流导法产生了流量分流为总流量的0.53%,实现了10-1010-12Pa·m3/s范围内流量的测量,合成标准不确定度为1.2%。利用极小气体流量测量技术校准了小于10-8Pa·m3/s量级的真空漏孔,而且避免了四极质谱计的非线性引入的测量不确定度。与现有气体流量测量技术相比,提出的极小气体流量测量技术将测量下限延伸了4个数量级。

关键词：极小气体流量固定流导法分流法漏率校准

一种(10^(-5)-10^(-16))Pa·m^(3)/s标准气体流量计的设计

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真空科学与技术学报 2021年第5期41卷 422-426页

作者：卢耀文董云宁杨传森徐宇杰闫睿王汐月陈俊儒魏萌萌郝慧萍齐京查良镇北京市真空计量检测工程技术研究中心北京100029 北京东方计量测试研究所北京100029 清华大学北京100084

本文设计出下限为5×10^(-16)Pa·m^(3)/s的标准气体流量计,解决了超灵敏度检漏仪的量值溯源难题。采用基于固定流导法基本原理的标准气体流量计,通过激光打孔和镀膜制备的分子流导元件,成功获得下限为10^(-10)m^(3)/s的分子流导;采用... 详细信息

本文设计出下限为5×10^(-16)Pa·m^(3)/s的标准气体流量计,解决了超灵敏度检漏仪的量值溯源难题。采用基于固定流导法基本原理的标准气体流量计,通过激光打孔和镀膜制备的分子流导元件,成功获得下限为10^(-10)m^(3)/s的分子流导;采用电容薄膜真空计作为参考标准测量压力,将直接供气、膨胀衰减压力及标准混合气体三种方法集成在一起,为流导元件入口获得(10^(3)-10^(-6)) Pa的示漏He气分压力;采用10^(-8)m^(3)/s和10^(-10)m^(3)/s量级的两套分子流导元件,结合流导元件入口压力获得了(10^(-5)-10^(-16)) Pa·m^(3)/s的标准气体流量,设计的标准气体流量计估计合成标准不确定度为1.2%-2.8%。

关键词：超灵敏度检漏仪固定流导法分子流导标准气体流量计

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便携式气体微流量计的设计

真空 2010年第2期47卷 60-63页

作者：李得天冯焱赵澜张涤新兰州物理研究所甘肃兰州730000

为了实现在工作现场对氦质谱检漏仪进行全量程漏率示值的校准,设计了一套便携式气体微流量计。该流量计由供气与抽气系统、定容室与压力测量系统、流量测量系统和烘烤系统等四部分组成,采用固定流导法及定容法两种模式提供和测量流量。... 详细信息

为了实现在工作现场对氦质谱检漏仪进行全量程漏率示值的校准,设计了一套便携式气体微流量计。该流量计由供气与抽气系统、定容室与压力测量系统、流量测量系统和烘烤系统等四部分组成,采用固定流导法及定容法两种模式提供和测量流量。在流量计的设计中,解决了小孔流导的设计和计算、定容室和抽气系统的小型化设计、应用选择性抽气技术延伸流量测量下限等关键技术,同时还采用了分体式结构设计,使流量计具有便于拆卸及携带,操作简单等优点。流量计预计达到的技术指标是,测量范围(:10-4～10-11)Pa.m3/s,标准不确定度小于10%。

关键词：便携式气体微流量计固定流导法定容法漏率值校准

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材料在真空环境下放气的测试技术研究

真空与低温 2014年第1期20卷 46-51页

作者：董猛冯焱成永军盛学民赵澜王永军兰州空间技术物理研究所国防科技工业真空一级计量站甘肃兰州730000

在真空材料放气率测试装置上对金属材料的放气特性进行了实验研究,实验采用的方法为静态升压法、固定流导法、双通道气路转换法。实验结果表明,测试装置的极限真空度为9.2×10-9Pa,铜、铝合金2A12、304不锈钢三种材料半小时后的放气率... 详细信息

在真空材料放气率测试装置上对金属材料的放气特性进行了实验研究,实验采用的方法为静态升压法、固定流导法、双通道气路转换法。实验结果表明,测试装置的极限真空度为9.2×10-9Pa,铜、铝合金2A12、304不锈钢三种材料半小时后的放气率分别为2.34×10-8Pa·m3·s-1·cm-2、1.83×10-9Pa·m3·s-1·cm-2、8.48×10-11Pa·m3·s-1·cm-2。利用四极质谱计测得装置的本底气体成分主要有H2、N2/CO、H2O和CO2,材料放出的气体成分主要有N2/CO、H2O。三种方法测试得到的铜金属材料的放气率随着温度的升高而不断增大。

关键词：材料放气率双通道气路转换法固定流导法静态升压法

一种下限为1.3×10-14 Pam3/s的真空漏孔校准装置

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一种下限为1.3×10-14 Pam3/s的真空漏孔校准装置

2013年广东省真空学会学术年会

作者：卢耀文李得天陈旭刘波齐京查良镇清华大学兰州物理研究所西安航天计量测试研究所

为了解决漏率小于10Pam/s漏孔的校准问题,提出累积法与固定流导法相结合的方法,研制出下限可达10Pam/s量级的校准装置。装置主要由累积比较系统和固定流导法流量计组成,采用四极质谱计(QMS)作为比较器测量示漏气体(He气),通过静态累积... 详细信息

为了解决漏率小于10Pam/s漏孔的校准问题,提出累积法与固定流导法相结合的方法,研制出下限可达10Pam/s量级的校准装置。装置主要由累积比较系统和固定流导法流量计组成,采用四极质谱计(QMS)作为比较器测量示漏气体(He气),通过静态累积的方法解决了质谱分析室中示漏气体分压力测量问题;通过激光打孔和多次镀膜的方法获得10m/s量级的分子流导,用消气剂泵将真空室本底压力维持在10Pa量级,使磁悬浮转子真空计(SRG)对固定流导元件入口气体(He气)压力的测量下限可达10 Pa,获得下限为1.3×10Pam/s的标准气体流量(He气)。研究结果表明,装置的校准范围为10～1.3×10Pam/s(He气),合成标准不确定度为5.2%～5.8%。

关键词：累积法固定流导法真空漏孔漏率

来源： cnki会议评论

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气体微流量测量技术的研究进展

气体微流量测量技术的研究进展