一种下限为1.3×10^(-14)Pa·m^3/s的真空漏孔校准装置
A Novel Vacuum Leak Calibration Apparatus with Lower Limit of 1. 3 × 10^(-14)Pa·m^3/s作者机构：清华大学北京100084 兰州物理研究所兰州730000 西安航天计量测试研究所西安710100
出 版 物：《真空科学与技术学报》 (Chinese Journal of Vacuum Science and Technology)
年 卷 期：2014年第34卷第5期
页 面：504-509页
核心收录：
学科分类：08[工学] 0804[工学-仪器科学与技术]
摘 要：为了解决漏率小于10-12Pa·m3/s漏孔的校准问题,提出累积法与固定流导法相结合的方法,研制出下限可达10-14Pa·m3/s量级的校准装置。装置主要由累积比较系统和固定流导法流量计组成,采用四极质谱计作为比较器测量示漏He气离子流大小,通过累积的方法解决了质谱分析室中示漏气体分压力测量问题;采用激光打孔和多次镀膜的方式获得10-10m3/s量级的分子流导,用吸气剂泵将真空室本底压力维持在10-7Pa量级,使磁悬浮转子真空计对固定流导元件入口He气压力测量下限可达10-4Pa,从而获得下限为1.3×10-14Pa·m3/s的标准气体流量。研究结果表明,装置采用He气作为示漏气体的校准范围为10-12~1.3×10-14Pa·m3/s,合成标准不确定度为5.2%~5.8%。
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