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  • 1 篇 期刊文献

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日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 材料科学与工程（可...
    • 1 篇 电子科学与技术（可...

主题

  • 1 篇 同时形成欧姆接触
  • 1 篇 合金相
  • 1 篇 ni基金属
  • 1 篇 n/p型4h-sic
  • 1 篇 欧姆接触机理

机构

  • 1 篇 中国科学院半导体...
  • 1 篇 中国科学院微电子...
  • 1 篇 先进输电技术国家...
  • 1 篇 全球能源互联网研...

作者

  • 1 篇 张文婷
  • 1 篇 杨香
  • 1 篇 田丽欣
  • 1 篇 夏经华
  • 1 篇 郑柳
  • 1 篇 查祎英
  • 1 篇 杨霏
  • 1 篇 吴军民
  • 1 篇 田亮
  • 1 篇 桑玲

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=同时形成欧姆接触"
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功率器件用n/p型4H-SiC同时形成欧姆接触工艺
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微纳电子技术 2020年 第7期57卷 568-576页
作者： 夏经华 桑玲 杨香 郑柳 查祎英 田亮 田丽欣 张文婷 杨霏 吴军民 先进输电技术国家重点实验室 北京102209 全球能源互联网研究院有限公司 北京102209 中国科学院半导体研究所 北京100083 中国科学院微电子研究所 北京100029
综述了在n/p型4H-SiC上同时形成欧姆接触技术的研究进展,包括欧姆接触理论、欧姆接触工艺及其优缺点以及热稳定性/可靠性等方面。重点介绍了基于Ni基金属的n/p型4H-SiC同时形成欧姆接触的工艺,包括以金属Ni为基础并结合Ti和Al与W等金属... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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