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双声路声表面波毒剂传感器的设计

传感器与微系统 2009年第4期28卷 91-93页

作者：陈传治马晋毅左伯莉江洪敏防化指挥工程学院北京102205 中国电子科技集团公司第二十六所重庆400060

对声表面波(SAW)芯片结构类型、参数条件、覆膜方法及制作工艺流程进行了详细研究,设计了一种新型双声路谐振器型SAW毒剂传感器,并以聚表氯醇PECH为敏感膜材料,测试了该传感器对芥子气(HD)的检测性能,结果表明:该传感器具有稳定性好、... 详细信息

对声表面波(SAW)芯片结构类型、参数条件、覆膜方法及制作工艺流程进行了详细研究,设计了一种新型双声路谐振器型SAW毒剂传感器,并以聚表氯醇PECH为敏感膜材料,测试了该传感器对芥子气(HD)的检测性能,结果表明:该传感器具有稳定性好、灵敏度高、响应快速、适于连续实时检测等特点,为发展毒剂检测器材提供了依据。

关键词：声表面波谐振器双声路毒剂气体传感器

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双声路声表面波传感器的设计

双声路声表面波传感器的设计

作者：刘立长安大学

学位级别：硕士

声表面波技术是一门新兴科学技术领域，它是声学、电子学、光学、压电材料和半导体平面工艺相结合的边缘学科。由于可以通过对声表面波器件本身参数的测量，从而实现对如气体浓度、温度、质量等一些参量的间接测量，因此，目前表面波传... 详细信息

声表面波技术是一门新兴科学技术领域，它是声学、电子学、光学、压电材料和半导体平面工艺相结合的边缘学科。由于可以通过对声表面波器件本身参数的测量，从而实现对如气体浓度、温度、质量等一些参量的间接测量，因此，目前表面波传感器成为国际上器件研究的新热点之一，应用领域己渗入到国民经济的各个领域。然而，目前声表面波传感器件在器件建模、设计、测试方面的理论和方案还不够成熟和系统。本论文正是针对这些问题，从器件建模、设计、测试等方面进行了系统理论研究和实验测试。针对声表面波器件的性能涉及到基片材料的各种参数、膜厚等工艺等诸多因素，论文将研究两个或多个电磁波模式间耦合的理论——耦合模理论用于声表面波器件的设计和特性仿真中，着重分析了声表面波器件的内部结构以及性能，推算出了声表面波器件的耦合模方程，求解该方程，得到了方程的解析解，使器件的各种仿真参数更加准确和逼近实际测量结果。在对设计的器件进行了制作、封装的基础上，使用Agilent E5062A ENA-L射频网络分析仪对器件的各个参数进行了测量，并在此基础上设计了一款声表面波器件理论和测量参数分析软件，软件将用耦合模理论得到的各种声表面波器件参数曲线图与使用网络分析仪测量得到的参数曲线图在同一界面上进行了综合对比分析。利用所设计的器件，制作了一个中心频率为101.764MHz的双声路声表面波传感器件，器件采用双声路结构，一路做为参考声路，另一路做为测量声路，以补偿外界环境因素的影响，并用安捷伦MSO7032A示波器对两声路分别做了对比测试。

关键词：声表面波器件传感器耦合模理论双声路振荡器

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基于MSC双声路SAW器件的设计仿真平台

微纳电子技术 2011年第1期48卷 15-20页

作者：文常保巨永锋康迤闫栋长安大学电子与控制工程学院微纳电子研究所西安710064

利用模块化设计思想,在Matlab编程环境下实现了基于多条耦合器双声路声表面波器件的设计仿真平台。为了提高MSC双声路SAW器件的性能,该平台将多条耦合器、分裂指及假指设计方案融合到器件设计中。多条耦合器不仅实现了两个变迹换能器传... 详细信息

利用模块化设计思想,在Matlab编程环境下实现了基于多条耦合器双声路声表面波器件的设计仿真平台。为了提高MSC双声路SAW器件的性能,该平台将多条耦合器、分裂指及假指设计方案融合到器件设计中。多条耦合器不仅实现了两个变迹换能器传递函数的乘积,而且消除了体声波对器件性能的影响。假指消除了通过变迹换能器引起的波前畸变。分裂指可以最小化换能器内部的声波反射问题。通过一个频率为203.559MHz的基于多条耦合器双声路声表面波器件的设计和实际测试结果的对比分析,证明了该设计仿真平台不仅可以进行器件版图结构的设计和模拟,而且设计平台所得到的版图和数据可以用于器件的掩膜版制作和器件封装尺寸参考。另外,该仿真设计平台可以很好地实现对器件的脉冲特性、频率响应特性的模拟和仿真。

关键词：声表面波器件多条耦合器双声路分裂指假指

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双声路管道流量设计

自动化与仪表 1996年第5期11卷 4-9页

作者：孙长柏东南大学无线电工程系

介绍频差法测量的基本原理、声学系统的主要特征及测量系统的设计方法。上述设计可有效提高测量精度并保持测量精度的稳定性。

关键词：流量计管道双声路

基于聚苯胺/In_2O_3的声表面波CO气体传感器研究

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压电与声光 2009年第3期31卷 302-304,308页

作者：张朋陈明何鹏举西北工业大学自动化学院陕西西安710072

为克服现有CO气体传感器精度低,工作温度高,成本高的缺点,在ST切型石英晶片上成功实现了一种新型的室温下延迟线型声表面波CO气体传感器。传感器采用双通道延迟线结构,在一条延迟线路上采用光刻技术构造出一个方形敏感区,将掺杂有In2O3... 详细信息

为克服现有CO气体传感器精度低,工作温度高,成本高的缺点,在ST切型石英晶片上成功实现了一种新型的室温下延迟线型声表面波CO气体传感器。传感器采用双通道延迟线结构,在一条延迟线路上采用光刻技术构造出一个方形敏感区,将掺杂有In2O3的聚苯胺CO气体敏感材料覆盖在方形敏感区形成敏感膜(0.5~1.2μm)。在-40^+85℃间的CO气体中,对此气体传感器进行测试实验,实验结果显示该声表面波CO传感器具有好的敏感性、快的敏感速度和恢复速度、高的精度。

关键词：声表面波质量沉积效应双声路聚苯胺气体传感器敏感特性

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声表面波器件的设计及其应用振荡器电路实现

声表面波器件的设计及其应用振荡器电路实现

作者：康迤长安大学

学位级别：硕士

随着声表面波技术、电子技术和半导体技术的发展,声表面波器件被应用的越来越广泛,特别是在高频射频领域。因其独特的优点,对声表面波器件的设计优化、对其应用电路的研究搭建显得越来越重要。本文介绍了声表面波器件的基本结构、实现原... 详细信息

随着声表面波技术、电子技术和半导体技术的发展,声表面波器件被应用的越来越广泛,特别是在高频射频领域。因其独特的优点,对声表面波器件的设计优化、对其应用电路的研究搭建显得越来越重要。本文介绍了声表面波器件的基本结构、实现原理,在对比几种常见的声表面波器件结构的基础上,提出了基于多条耦合器的双声路声表面器件结构。着重研究了这种基于多条耦合器的双声路声表面器件的设计和器件应用振荡器电路的搭建。在基于多条耦合器的双声路声表面器件设计中,先介绍了声表面波器件的主要组成部分——叉指换能器、器件的基本尺寸等,突出介绍了用Matlab对器件进行设计。此次设计借助Matlab强大的功能对器件的原理版图和实际结构版图分别进行了设计,并通过GUI界面实现了软件版图的显示,其中器件的压电材料、材料参数和器件的中心频率和尺度的幂指数等参数可以在界面上直接输入,实现了声表面波器件设计的智能化。在声表面波振荡器电路设计中,课题组仍选用双声路结构的测量原理,一路作为测量声路,另外一路则为参考声路。这样不但实现了差值测量原理,而且有效地解决了测量中由于外界环境等对测量输出的影响。在此振荡器电路设计中,选频选用的是课题组自己设计的中心频率为101.764MHz的声表面波器件。通过ADS仿真和示波器等的测试,电路性能良好。整个课题的设计实现了声表面波器件从软件设计到硬件应用,对声表面波器件的实用化具有重要意义。

关键词：声表面波器件器件设计声表面波振荡器电路双声路

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延迟线型无源声表面波压力传感器结构的研究

贵州大学学报（自然科学版） 2017年第5期34卷 62-65页

作者：叶浩王代强贵州大学大数据与信息工程学院贵州贵阳550025 贵州民族大学机械电子工程学院贵州贵阳550025

提出了一种新型无源声表面波压力传感器结构,在传统反射式延迟线型无源声表面波压力传感器的结构的基础上,加入了多条耦合器,使传统单声路结构变为双声路结构,利用二端口网络进行了分析,结果证明提高了回波的信噪比。在无线测量系统中,... 详细信息

提出了一种新型无源声表面波压力传感器结构,在传统反射式延迟线型无源声表面波压力传感器的结构的基础上,加入了多条耦合器,使传统单声路结构变为双声路结构,利用二端口网络进行了分析,结果证明提高了回波的信噪比。在无线测量系统中,对回波信号的测量利用了正交相干检波的方式,用相位的检测代替了时延的检测,提高了测量精度。

关键词：声表面波反射型延迟线多条耦合器双声路相干检波