基于聚苯胺/In_2O_3的声表面波CO气体传感器研究
Reseach on SAW CO Gas Sensor Based on PAN/In_2O_3 Selective Layer作者机构：西北工业大学自动化学院陕西西安710072
出 版 物：《压电与声光》 (Piezoelectrics & Acoustooptics)
年 卷 期：2009年第31卷第3期
页 面：302-304,308页
核心收录：
学科分类：080902[工学-电路与系统] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学]
主 题：声表面波 质量沉积效应 双声路 聚苯胺 气体传感器 敏感特性
摘 要：为克服现有CO气体传感器精度低,工作温度高,成本高的缺点,在ST切型石英晶片上成功实现了一种新型的室温下延迟线型声表面波CO气体传感器。传感器采用双通道延迟线结构,在一条延迟线路上采用光刻技术构造出一个方形敏感区,将掺杂有In2O3的聚苯胺CO气体敏感材料覆盖在方形敏感区形成敏感膜(0.5~1.2μm)。在-40^+85℃间的CO气体中,对此气体传感器进行测试实验,实验结果显示该声表面波CO传感器具有好的敏感性、快的敏感速度和恢复速度、高的精度。
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