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  • 1 篇 工学
    • 1 篇 电气工程
    • 1 篇 电子科学与技术（可...

主题

  • 1 篇 微电子机械系统
  • 1 篇 压电薄膜微马达
  • 1 篇 电动机
  • 1 篇 ic工艺

机构

  • 1 篇 中国科学院长春光...

作者

  • 1 篇 吕琼莹
  • 1 篇 马建旭
  • 1 篇 王立鼎
  • 1 篇 梁静秋
  • 1 篇 崔天宏

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=压电薄膜微马达"
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微电子机械系统中的压电薄膜微马达
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光学精密工程 1995年 第4期3卷 1-6页
作者： 崔天宏 王立鼎 吕琼莹 马建旭 梁静秋 中国科学院长春光学精密机械研究所
本文提出了压电薄膜微马达的工作原理，介绍了该马达的优良性能、结构形式和加工工艺，最后指出了该马达研制的关键技术以及应用前景。
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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