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  • 3 篇 工学
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主题

  • 3 篇 压电微传声器
  • 3 篇 微机电系统
  • 2 篇 面内极化
  • 1 篇 硅微加工工艺
  • 1 篇 分割电极
  • 1 篇 pzt薄膜
  • 1 篇 电容式传声器
  • 1 篇 振动膜
  • 1 篇 圆形振动膜
  • 1 篇 硅微传声器

机构

  • 1 篇 中国科学院声学研...
  • 1 篇 中国科学院声学研...
  • 1 篇 中国科学院声学研...

作者

  • 3 篇 李俊红
  • 3 篇 汪承灏
  • 3 篇 刘梦伟
  • 2 篇 马军
  • 1 篇 魏建辉
  • 1 篇 徐联

语言

  • 3 篇 中文
检索条件"主题词=压电微传声器"
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基于PZT薄膜面内极化工作的低应力压电微传声器
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纳米技术与精密工程 2011年 第4期9卷 340-344页
作者： 刘梦伟 汪承灏 李俊红 中国科学院声学研究所声学微机电系统实验室 北京100190
本文设计、制作并测试了一种基于压电PZT薄膜面内极化工作的压电微传声器.利用压电薄膜的纵向压电常数,并通过压电微传声器面内电极的设计提高电极间距,以提高压电微传声器的灵敏度.由于基于PZT薄膜的多层结构常具有很大的残余应力,通过... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
基于圆形振动膜的MEMS压电传声器研究
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引用
机械工程学报 2012年 第18期48卷 85-88页
作者： 李俊红 汪承灏 刘梦伟 马军 魏建辉 中国科学院声学研究所声场声信息国家重点实验室 北京100190
为提高微电子机械系统(Micro-electro-mechanical systems,MEMS)压电传声器的灵敏度和成品率,提出一种优化设计的圆形振动膜MEMS压电传声器。采用硼扩散方法实现振动膜的圆形支撑墙,避免由于方形支撑墙造成的四角应力集中,并通过深硼扩... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
基于PZT薄膜面内极化工作的硅微传声器设计与制作
基于PZT薄膜面内极化工作的硅微传声器设计与制作
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引用
2008年全国声学学术会议
作者： 刘梦伟 汪承灏 李俊红 徐联 马军 中国科学院声学研究所
＜正＞1引言硅微传声器是声学微机电系统（Acoustic MEMS）的重要组成部分,主要分为电容式微传声器和压电式微传声器,目前,电容式微传声器已经走向产业化。与电容式相比,压电式微传声器具有
来源： cnki会议 评论
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