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基于PZT薄膜面内极化工作的硅微传声器设计与制作

基于PZT薄膜面内极化工作的硅微传声器设计与制作

作     者:刘梦伟 汪承灏 李俊红 徐联 马军 

作者单位:中国科学院声学研究所 

会议名称:《2008年全国声学学术会议》

会议日期:2008年

学科分类:08[工学] 0804[工学-仪器科学与技术] 

基  金:国家自然科学基金(90607003) 中国博士后科学基金 中国科学院声学研究所所长择优基金 

关 键 词:面内极化 硅微传声器 微机电系统 电容式传声器 硅微加工工艺 压电微传声器 振动膜 

摘      要:正1引言硅微传声器是声学微机电系统(Acoustic MEMS)的重要组成部分,主要分为电容式微传声器和压电式微传声器,目前,电容式微传声器已经走向产业化。与电容式相比,压电式微传声器具有

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