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  • 1 篇 工学
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主题

  • 1 篇 xps
  • 1 篇 aes
  • 1 篇 动态离子柬混合
  • 1 篇 氧化钽薄膜

机构

  • 1 篇 辐照物理和技术教...

作者

  • 1 篇 展长勇
  • 1 篇 黄宁康
  • 1 篇 杜纪富

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=动态离子柬混合"
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动态离子束混合沉积氧化钽薄膜的微观分析
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功能材料与器件学报 2007年 第6期13卷 512-516页
作者： 杜纪富 展长勇 黄宁康 辐照物理和技术教育部重点实验室 四川大学原子核科学技术研究所成都610064
用动态离子束混合技术在铁基材料表面上制备氧化钽薄膜。用Ar^+束溅射沉积薄膜的同时,分别用100 keV,2×10^(17)/cm^2的O^+离子或100 keV,8×10^(16)/cm^2的Ar^+进行辐照。对两种工艺下生成的氧化钽薄膜进行了XPS、AES及RBS分析研究,结... 详细信息
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