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  • 1 篇 期刊文献

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  • 1 篇 电子文献
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日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 光学工程

主题

  • 1 篇 微透镜阵列
  • 1 篇 制作与测试
  • 1 篇 光刻胶
  • 1 篇 微光学

机构

  • 1 篇 成都精密光学工程...
  • 1 篇 浙江大学

作者

  • 1 篇 舒晓武
  • 1 篇 杨国光
  • 1 篇 杨李茗
  • 1 篇 许乔

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=制作与测试"
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扩展微透镜数值孔径范围的阶梯光刻热熔法研究
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光学学报 1998年 第8期18卷 1128-1133页
作者： 许乔 杨李茗 舒晓武 杨国光 成都精密光学工程研究中心 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室
在微透镜阵列的光刻热熔制作法中，临界角效应严重影响了微透镜的制作范围和面形质量。在对临界角效应定性研究的基础上，提出了用阶梯光刻热熔法来扩展热熔型微透镜阵列的数值孔径范围。实验结果表明，采用这一方法制作的微透镜，其单... 详细信息
来源： 维普期刊数据库 维普期刊数据库 同方期刊数据库 同方期刊数据库 评论
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