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吉林大学自然科学学报 2001年第3期 51-54页

作者：邢华吴远大于永森侯韶华刘国范张玉书吉林大学电子工程系集成光电子学国家重点实验室长春130023

介绍用于波分复用的一种新型的无源器件列阵波导光栅 ,分析其工作原理 ,概述制备方法、用途和目前的发展状况 .

关键词：列阵波导光栅波分复用集成光学

4×4列阵波导光栅复用器/解复用器理论设计

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长春邮电学院学报 1999年第3期17卷 18-21页

作者：侯韶华田丰郭滨翟冠军杨文英长春邮电学院通信工程系吉林长春130012 长春邮电学院图书馆吉林长春130012

简要分析了列阵波导光栅复用器／解复用器的传播特性，利用有效折射率法求解了ＳｉＯ２：ＧｅＯ２单模脊型掩埋通道波导的传播常数，并在此基础上完成了４×４列阵波导光栅复用器／解复用器的理论设计和数值模拟分析，这些结果对... 详细信息

简要分析了列阵波导光栅复用器／解复用器的传播特性，利用有效折射率法求解了ＳｉＯ２：ＧｅＯ２单模脊型掩埋通道波导的传播常数，并在此基础上完成了４×４列阵波导光栅复用器／解复用器的理论设计和数值模拟分析，这些结果对设计实用化器件有较大帮助。

关键词：光栅复用器单模波导列阵波导光栅

4×4列阵波导光栅复用器/解复用器理论设计

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吉林大学学报(信息科学版) 1999年第2期 8-8页

作者：侯韶华田丰翟冠军杨文英长春邮电学院图书馆长春邮电学院通信工程系

简要分析了列阵波导光栅复用器／解复用器的传播特性，利用有效折射率法求解了ＳｉＯ２：ＧｅＯ２单模脊型掩埋通道波导的传播常数，并在此基础上完成了４×４列阵波导光栅复用器／解复用器的理论设计和数值模拟分析，这些结果对设计实... 详细信息

关键词：光栅复用器单模波导列阵波导光栅

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考虑光强分布的光通信光栅列阵光束整形方法

激光杂志 2024年第9期45卷 97-102页

作者：胡荣肖春燕朱海宽南昌大学科学技术学院江西共青城332020

光栅单元阵列由大量的单元组成,每个单元的大小和形状都需要精确控制,以确保光束的整形效果。然而,在光通信过程中,光强分布的变化会导致光栅列阵中每个单元的响应度不一致,从而引起每个单元接收到的光信号出现差异,进而影响光束的整形... 详细信息

光栅单元阵列由大量的单元组成,每个单元的大小和形状都需要精确控制,以确保光束的整形效果。然而,在光通信过程中,光强分布的变化会导致光栅列阵中每个单元的响应度不一致,从而引起每个单元接收到的光信号出现差异,进而影响光束的整形效果。因此,提出一种考虑光强分布的光通信光栅列阵光束整形方法。以光通信光栅列阵中的最常用的列阵波导光栅为例,通过阵列波导结构中的阵列波导的芯区宽度、芯区折射率、包层折射率、波导周期宽度等参数,结合波导中的传播常数受到光束波长和折射率影响,得到阵列波导的归一化本征方程,将其结果结合匀化洛伦兹函数得到入射光和出射光的光强分布,通过计算得到光通信光栅列阵光束入射光及出射光的映射函数,利用函数调整光学参数,实现光通信光栅列阵光束整形。实验结果表明:该方法对光通信光栅列阵光束的整形效果好,整形光束的能量利用率高,光束不均匀性小。

关键词：光通信光栅列阵光强分布光束整形列阵波导光栅匀化洛伦兹函数

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聚合物阵列波导光栅波分复用器的研究

吉林大学学报（信息科学版） 2002年第1期20卷 8-12页

作者：陈开鑫赵禹崔占臣张大明马春生刘式墉衣茂斌吉林大学集成光电子学国家重点联合实验室吉林长春130023 吉林大学化学学院吉林长春130023

利用甲基丙稀酸甲酯 -甲基丙稀酸缩水甘油酯共聚物制作聚合物光波导 ,对聚合物阵列波导光栅波分复用器的原理、版图设计及制作工艺进行了研究。设计了聚合物阵列波导光栅的版图 ,并利用厚胶掩模和铝掩模两种工艺完成了聚合物阵列波导光... 详细信息

利用甲基丙稀酸甲酯 -甲基丙稀酸缩水甘油酯共聚物制作聚合物光波导 ,对聚合物阵列波导光栅波分复用器的原理、版图设计及制作工艺进行了研究。设计了聚合物阵列波导光栅的版图 ,并利用厚胶掩模和铝掩模两种工艺完成了聚合物阵列波导光栅光波导的制作。实验结果证明 ,与厚胶掩模相比 ,铝掩模具有较好工艺重复性 ,同时也更能实现设计所要求的参数。

关键词：波分复用器光波导列阵波导光栅聚合物

Polymer/Si AWG器件材料光学性质的准确测量

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吉林大学学报（理学版） 2005年第2期43卷 185-189页

作者：姜文海侯小柯崔占臣张大明集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区长春130012 吉林大学化学学院长春130023

使用WVASE32型椭偏仪,对Si基单层有机薄膜的测量方法进行分析;并对聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)材料和氟化聚酯材料进行测量,根据测量结果对阵列波导光栅(AWG)器件进行设计.在124nm到1700nm之间可测量出任意波长的折射率,其均方差(MSE)均远小... 详细信息

使用WVASE32型椭偏仪,对Si基单层有机薄膜的测量方法进行分析;并对聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)材料和氟化聚酯材料进行测量,根据测量结果对阵列波导光栅(AWG)器件进行设计.在124nm到1700nm之间可测量出任意波长的折射率,其均方差(MSE)均远小于1,证明测量结果极其准确.同时探讨了对多层有机薄膜及氟化聚合物薄膜的测量方法.

关键词：列阵波导光栅聚合物光学系数椭偏仪

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AWG用Si基SiO_2波导材料的制备

光电子．激光 2002年第8期13卷 868-871页

作者：张乐天吴远大邢华李爱武郑伟刘国范张玉书吉林大学电子科学与工程学院

平面光波导在光波分复用技术中起着重要的作用 ,尤其是 Si基 Si O2 波导器件在光通信领域中具有许多优点。因此 ,如何在 Si衬底上制备出性能稳定良好的 Si O2 光波导材料至关重要。本文介绍了几种制备 Si O2

关键词： AWG SiO2 波导材料波分复用热氧化法溶胶-凝胶法阳极氧化法化学汽相法火焰水解法二氧化硅列阵波导光栅

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紫外诱导折变AWG材料基础研究

紫外诱导折变AWG材料基础研究

作者：唐海侠吉林大学

学位级别：硕士

随着全球通信业务量的飞速增长，光通信系统和网络对带宽和容量的需求也不断提高，波分复用技术可以实现大容量和多功能，因此在网络业务应用方面具有巨大的潜力，成为光纤通信领域的首选技术。列阵波导光栅因传输损耗小、波长分辨... 详细信息

随着全球通信业务量的飞速增长，光通信系统和网络对带宽和容量的需求也不断提高，波分复用技术可以实现大容量和多功能，因此在网络业务应用方面具有巨大的潜力，成为光纤通信领域的首选技术。列阵波导光栅因传输损耗小、波长分辨率高、易与光纤耦合等优点而被认为是最有发展前途的一种新型器件。它是由一系列输入输出波导、列阵波导和两个块波导组成的，列阵波导中相邻波导间的长度差为常数值，可以起到光栅的作用，从而完成不同波长光的复用和解复用功能。　本论文首先介绍了列阵波导光栅波分复用器的研究进展及其在光通信领域的应用，如光分束器／路由器、波长选择开关、光上路／下路复用器和多频激光器等，这充分展示出列阵波导光栅的发展前途无可限量。　然后介绍了列阵波导光栅基本结构和基本功能，并从理论上简要推导了列阵波导光栅的光波导原理，阐述了目前　ＡＷＧ的相位误差补偿、温度误差补偿和波长响应平坦化以及双折射控制的常用方法。　硅基二氧化硅平面波导技术是９０年代发展起来的，在国外已经比较成熟，在国内也逐渐成为人们研究的热点。由于硅加工工艺非常成熟、便于光电子器件的大规模集成，并且由于常用光纤导波材料ＳｉＯ２　便于在硅基底上制作，因此，硅基二氧化硅光波导备受人们关注。硅基二氧化硅薄膜材料的制备一直是硅基ＡＷＧ器件制作的重点和难点之一。　本论文采用火焰水解法制备二氧化硅薄膜以及掺杂二氧化锗的二氧化硅波导材料，该方法具有成膜速度快、设备简单、易于操作等优点而被广泛采用。用这种方法我们已经成功地制备出了均匀性好、损耗低的二氧化硅和掺杂二氧化锗的二氧化硅薄膜材料，并利用高温电阻炉和真空炉分别对已经 63 制备的薄膜进行高温致密化处理，使薄膜的结构更加致密，吸收损耗更低。然后我们分别采用扫描电子显微镜（ＳＥＭ）、原子力显微镜（ＡＦＭ）、Ｘ－射线衍射仪（ＸＲＤ）、Ｘ－光电子能谱（ＸＰＳ）以及椭偏仪等对退火处理前后的二氧化硅膜的表面特性进行了分析。由ＸＰＳ谱分析可知我们制备出的ＳｉＯ２膜中Ｓｉ－Ｏ键组态是化学配比的，但是在退火过程中表面吸附了空气中的氧气而使氧的配比变大，因此最好在真空条件下退火。通过ＡＦＭ图和ＳＥＭ图可以看出，退火后的ＳｉＯ２膜很致密，可有效地减少光的散射损耗。同时测量了ＳｉＯ２膜的折射率和消光指数，在１．５５μｍ处其折射率为１．４５６４，损耗小于０．１ｄＢ／ｃｍ，该材料适合用作波导的下包层;对高温电阻炉（空气气氛）中和真空炉（真空气氛）中退火前后的薄膜进行了性能测试分析比较，可知退火时的气氛条件会影响致密化ＳｉＯ２膜的状态：固化以前的ＳｉＯ２膜是一种疏松的无定形絮状结构;在高温电阻炉中固化后的ＳｉＯ２膜是结构致密的晶态ＳｉＯ２（方石英）;而在真空炉中固化的ＳｉＯ２却是致密均匀、平整度好、光滑透明的玻璃态结构。并且退火处理后薄膜的厚度变薄。　同时我们也对退火后的掺杂二氧化锗的二氧化硅薄膜的性能进行了测试分析，通过ＸＰＳ谱可知制备出的薄膜中的Ｓｉ和Ｇｅ是以ＳｉＯ２和ＧｅＯ２的形式存在，并且算出了薄膜中掺入ＧｅＯ２的摩尔百分含量;通过椭偏仪测量出了不同退火温度下折射率和消光指数的变化情况，可以得到致密化处理的温度越高，材料的折射率也越大，吸收损耗越低。并且得到退火后薄膜的厚度变薄。　近年来，ＧｅＯ２－ＳｉＯ２薄膜中的紫外光致折变现象引起了广泛的关注，因为它具有一个潜在的优势——那就是应用在集成光路和集成光学元件中。这种光敏特性存在于ＧｅＯ２－ＳｉＯ２薄膜中的５ｅＶ吸收带附近，它导致的直接结果是在紫外光照射下，薄膜中的折射率发生较大的变化。　我们利用ＫｒＦ准分子激光器（工作波长２４８ｎｍ）对ＧｅＯ２含量为７．５ｍｏｌ％的ＧｅＯ２－ＳｉＯ２薄膜（利用火焰水解法制备，并进行了高压注氢增敏处理）进行 64 辐照，研究了它的折射率变化规律，发现紫外光辐照以后薄膜的折射率明显变大，变化相对值达到１０－３数量级，在波长１５５０ｎｍ附近折射率变化的相对值达到了０．３３％，这一数值接近了目前相关实验的国际水平;通过椭偏仪对紫外光照射前后薄膜的折射率、消光指数和厚度进行了测试分析，我们认为紫外光辐照ＧｅＯ２－ＳｉＯ２薄膜，存在某种“热”效应，表现在它跟高温致密化处理一样能对薄膜达到某种程度的致密化效果，使薄膜的厚度变薄，而且两种情况下的折射率和吸收损耗随波长具有相同的变化趋势。在ＧｅＯ２－ＳｉＯ２薄膜紫外光致折变实验研究过程中，我们用周期为２０μｍ的掩模板进行掩模，在平面波导上诱导出折射率变化的条形波导。条形波导的宽度约为２０μｍ，与掩模板的周期一致。　

关键词：列阵波导光栅波分复用器光通信温度误差补偿双折射控制二氧化硅薄膜材料紫外写入 AWG器件

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32通道聚合物AWG参数优化

32通道聚合物AWG参数优化

Polymer/SiAWG器件材料光学常数的准确测量

全国第十一次光纤通信暨第十二届集成光学学术会议（OFCIO’2003）

作者：张大明李德辉赵禹王菲马春生刘式墉衣茂斌集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区

以甲基内稀酸甲酯-甲基丙烯酸缩水甘油酯共聚物为光波导包层材料,以双酚A环氧树脂为高折射率调节剂,采用光栅衍射理论对硅基32通道聚合物阵列波导光栅进行了设计与参数优化,制作出AWG版图。对设计的具有矩形截面波导结构的硅基聚合物阵... 详细信息

以甲基内稀酸甲酯-甲基丙烯酸缩水甘油酯共聚物为光波导包层材料,以双酚A环氧树脂为高折射率调节剂,采用光栅衍射理论对硅基32通道聚合物阵列波导光栅进行了设计与参数优化,制作出AWG版图。对设计的具有矩形截面波导结构的硅基聚合物阵列波导光栅的传输及损耗特性进行了分析,给出了波长分布。

关键词：列阵波导光栅聚合物波分复用器

来源： cnki会议评论

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Polymer/SiAWG器件材料光学常数的准确测量