Polymer/SiAWG器件材料光学常数的准确测量
作者单位：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室 集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区 集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区 集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区 集成光电子学国家重点联合实验室吉林大学实验区 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
会议名称：《中国光学学会2004年学术大会》
会议日期：2004年
学科分类：070207[理学-光学] 07[理学] 0702[理学-物理学]
基 金：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所现代光学创新基金(C03Q14Z) 国家国家高技术研究发展计划(2001AA312160) 重点基础研究发展规划项目(TG2000036602)联合资助
摘 要：本文使用WVASE32型椭偏仪,对Si基聚合物薄膜的折射率和吸收系数的测量方法进行分析;对聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）材料和氟化聚酯材料在波长为1.55μm时的折射率进行了准确测量,并根据测量结果对聚合物AWG器件进行了设计,器件通道数为32,工作波长为1.55μm,波长间隔为0.8nm。本文同时探讨了多层有机薄膜及氟化聚合物薄膜折射率的测量方法。