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激光与光电子学进展 2020年第9期57卷 255-261页

作者：张静孙宇勃付秀华刘冬梅母一宁李爽长春理工大学光电工程学院吉林长春130022 长春理工大学理学院吉林长春130022 光驰科技(上海)有限公司上海200444

针对微光系统光子数量较少的问题,研制出符合色度学的光学调色膜,构成六基色彩色滤镜,从而提升色彩还原度。通过对光谱特性的分析,利用Essential Macleod膜系设计软件以及Mathcad工程计算软件,建立采点迭代法优化模型,实现光学调色膜的... 详细信息

针对微光系统光子数量较少的问题,研制出符合色度学的光学调色膜,构成六基色彩色滤镜,从而提升色彩还原度。通过对光谱特性的分析,利用Essential Macleod膜系设计软件以及Mathcad工程计算软件,建立采点迭代法优化模型,实现光学调色膜的膜系设计。采用电子束热蒸发方法制备薄膜。利用光控与晶控相结合的方法进行膜厚控制,以膜堆为单元进行反演分析,实现光学调色膜的研制。该薄膜通过光谱测试,满足使用要求。

关键词：薄膜彩色微光夜视彩色滤镜光学调色膜膜系设计膜厚控制

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微光系统CMOS彩色滤镜阵列光学调色膜的研制

微光系统CMOS彩色滤镜阵列光学调色膜的研制

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作者：孙宇勃长春理工大学

学位级别：硕士

随着微光夜视技术的快速发展,如何将灰度微光夜视技术转变为真彩微光夜视技术是目前夜视成像方向亟待解决的问题。真彩微光夜视技术的关键是使微光夜视图像传感器获得更多光子,提高成像色彩的还原度、饱和度。针对微光系统光子数量较少... 详细信息

随着微光夜视技术的快速发展,如何将灰度微光夜视技术转变为真彩微光夜视技术是目前夜视成像方向亟待解决的问题。真彩微光夜视技术的关键是使微光夜视图像传感器获得更多光子,提高成像色彩的还原度、饱和度。针对微光系统光子数量较少的问题,本文仿照虾姑眼视觉响应曲线,研制符合色度学的光学调色膜,构成六基色彩色滤镜,六基色光学调色膜透射光谱可见光波段全覆盖,提升微光系统图像传感器光子接收效率,从而提升器件色彩还原度。通过对光谱特性的分析,利用Essential Macleod膜系设计软件以及Mathcad工程计算软件,建立采点迭代法优化模型。研究可见近红外波段薄膜材料特性,选取Ti3O5、Si O2作为高低折射率材料实现光学调色膜的膜系设计。采用电子束热蒸发的方法制备薄膜,辅以高能射频离子源以提升膜层致密度,同时降低Ti3O5材料在400nm至500nm处的材料吸收。利用光控与晶控相结合的方法进行膜厚控制,通过对光学膜厚反演方式的分析,选择以膜堆为单元分组的反演分析方法,实现光学调色膜的研制。该薄膜通过光谱测试,满足使用要求。

关键词：彩色微光夜视彩色滤镜光学调色膜膜系设计膜厚控制

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