微光系统CMOS光学调色膜的研制

作     者：张静 孙宇勃 付秀华 刘冬梅 母一宁 李爽 Zhang Jing;Sun Yubo;Fu Xiuhua;Liu Dongmei;Mu Yining;Li Shuang

作者机构：长春理工大学光电工程学院吉林长春130022 长春理工大学理学院吉林长春130022 光驰科技(上海)有限公司上海200444 

出 版 物：《激光与光电子学进展》 (Laser & Optoelectronics Progress)

年 卷 期：2020年第57卷第9期

页      面：255-261页

核心收录：

学科分类：08[工学] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 

基　　金：吉林省教育厅“十三五”科学研究规划项目(JJKH20181097KJ) 

主　　题：薄膜 彩色微光夜视 彩色滤镜 光学调色膜 膜系设计 膜厚控制 

摘      要：针对微光系统光子数量较少的问题,研制出符合色度学的光学调色膜,构成六基色彩色滤镜,从而提升色彩还原度。通过对光谱特性的分析,利用Essential Macleod膜系设计软件以及Mathcad工程计算软件,建立采点迭代法优化模型,实现光学调色膜的膜系设计。采用电子束热蒸发方法制备薄膜。利用光控与晶控相结合的方法进行膜厚控制,以膜堆为单元进行反演分析,实现光学调色膜的研制。该薄膜通过光谱测试,满足使用要求。