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学科分类号

  • 1 篇 理学
    • 1 篇 化学
  • 1 篇 工学
    • 1 篇 化学工程与技术

主题

  • 1 篇 溶解
  • 1 篇 侵刻
  • 1 篇 表面反应
  • 1 篇 硅
  • 1 篇 表面结构
  • 1 篇 器件加工
  • 1 篇 微机电系统

机构

  • 1 篇 加拿大安大略teck

作者

  • 1 篇 章小鸽

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=侵刻"
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硅的表面结构与电化学(英文)
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引用
电化学 2006年 第1期12卷 1-8页
作者： 章小鸽 加拿大安大略Teck comino金属有限公司厦门大学化学系福建厦门361005
从原子水平到微米尺寸,准确控制硅表面结构的精密加工,诸如无序的表面粗糙或者精细的图案,乃是电子元件性能及其可靠性的保证.硅在液中的湿清洗以及硅表面侵刻的电化学反应对硅表面结构的形成具有重要作用.近数十年来,有关阐明和控制硅... 详细信息
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