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文献类型

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日期分布

学科分类号

  • 1 篇 工学
    • 1 篇 仪器科学与技术

主题

  • 1 篇 微电子机械系统
  • 1 篇 模拟
  • 1 篇 计算机辅助设计
  • 1 篇 低阶动态宏模型

机构

  • 1 篇 中国科学院力学研...

作者

  • 1 篇 王立森
  • 1 篇 胡宇群
  • 1 篇 赵亚溥
  • 1 篇 孙克豪

语言

  • 1 篇 中文
检索条件"主题词=低阶动态宏模型"
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微电子机械系统的计算机辅助设计
微电子机械系统的计算机辅助设计
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引用
“力学2000”学术大会
作者： 孙克豪 胡宇群 王立森 赵亚溥 中国科学院力学研究所非线性力学国家重点实验室
概要论述了微电子机械系统的计算机辅助设计。分析了MEMS CAD系统所应具有的主要内容和系统模拟中的关键问题。采用基于能量的方法构造可取代全三维完整模拟的低阶分析宏模型来近似表示静电致动微系统结构变形,使微系统的计算机辅助设... 详细信息
来源： cnki会议 评论
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