检索结果-南通市图书馆

中国测试 2015年第4期41卷 14-18页

作者：徐德王艳茹冉铮惠中国工程物理研究院计量测试中心四川绵阳621000

为分析大口径平面光学元件面形绝对测量的准确度,补偿重力引起的形变误差,在分析基于奇偶函数法的三平面互检算法的基础上,利用3片准300 mm口径的待测平面镜进行实验测量分析。对于三平面互检中不同装夹方式下的重力引起镜片形变情况进... 详细信息

为分析大口径平面光学元件面形绝对测量的准确度,补偿重力引起的形变误差,在分析基于奇偶函数法的三平面互检算法的基础上,利用3片准300 mm口径的待测平面镜进行实验测量分析。对于三平面互检中不同装夹方式下的重力引起镜片形变情况进行有限元仿真分析,据此对测量数据进行修正并对最终面形结果进行补偿,使测量结果更加逼近真实值。

关键词：三平面互检绝对测量奇偶函数法重力变形有限元分析

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装夹自重变形对大口径绝对面形检测的影响

光子学报 2018年第2期47卷 141-147页

作者：赵思伟田爱玲王大森刘丙才朱学亮刘卫国西安工业大学光电工程学院陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室西安710021 中国兵器科学院宁波分院浙江宁波310022

针对立式大口径平面干涉仪,采用结合Zernike多项式的三平面互检面形检测方法,研究参考平面在装夹情况下的自重变形对绝对面形检测结果的影响.运用ANSYS有限元分析方法研究了不同参数下的装夹和自重变形情况,得到了最优的装夹参数为环带... 详细信息

针对立式大口径平面干涉仪,采用结合Zernike多项式的三平面互检面形检测方法,研究参考平面在装夹情况下的自重变形对绝对面形检测结果的影响.运用ANSYS有限元分析方法研究了不同参数下的装夹和自重变形情况,得到了最优的装夹参数为环带宽度15mm、平面厚度90mm,此时的变形量峰谷值为0.023λ(λ=632.8nm).通过参考平面装夹自重变形对测量结果影响的模拟检测试验和对比分析,发现参考平面装夹自重变形不仅影响其自身的面形,而且对未变形大口径平面的绝对面形检测结果也有较大影响,面形残差峰谷值基本都在0.011λ,尤其在高精度干涉测量中该影响不可忽略.研究结果可为高精度测量的变形补偿提供参考.

关键词：光学检测绝对检测有限元分析法装夹自重变形三平面互检

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基于相移干涉的大平面测量关键技术研究

基于相移干涉的大平面测量关键技术研究

作者：郑显锋西安工业大学

学位级别：硕士

惯性约束核聚变（Inertial Confinement Fusion简称ICF）是人类解决全球能源危机的一个有效途径,其中ICF驱动系统中大口径平面光学元件的加工质量是ICF系统性能的关键,所以对大口径光学元件的加工和检测提出了新的要求,尤其是大口径平... 详细信息

惯性约束核聚变（Inertial Confinement Fusion简称ICF）是人类解决全球能源危机的一个有效途径,其中ICF驱动系统中大口径平面光学元件的加工质量是ICF系统性能的关键,所以对大口径光学元件的加工和检测提出了新的要求,尤其是大口径平面光学元件的检测成为重中之重。本课题就是在相移干涉的基础上进行大口径平面光学元件测量的关键技术研究。用相移干涉法测量高精度的平面时需要一个更高精度的平面作为参考面,因此在高精度大口径平面光学元件的面型检测中,需要引入绝对测量来对参考面误差和系统误差进行有效的标定。本论文主要针对平面的绝对测量技术进行研究,三平面互检法是一种重要的用于高精度光学平面绝对测量的干涉测量方法,它是对三个待测平面两两组合进行测量,得到三个平面各自的面型信息。传统的三平面互检法仅能实现对三个平面各自在平面Y轴方向—维面型的绝对测量,本论文在传统三平面互检法的基础上,采用一种改进的新方法实现了平面三维面型的绝对测量,从而进一步实现了对参考面误差和系统误差的有效标定。通过对实验设备的改造和数据处理程序的编写,实现了改进三平面互检法对三个高精度平面的实验测量和数据处理,并得到最终的测量结果。对这种改进方法的测量结果与ZYGO干涉仪中"three-flats"程序的直接测量结果进行比较和分析,验证了这种改进方法的可行性和有效性。该研究成果为本课题的后续研究提供了指导性结论。

关键词：相移干涉绝对检验三平面互检方位角平均算法 zernike多项式

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基于多面互检的标准平面绝对检测技术研究

基于多面互检的标准平面绝对检测技术研究

作者：刘瑞锟西安工业大学

学位级别：硕士

随着大口径平面光学元件在科技领域的广泛应用,其面形高精度检测常采用干涉测量来完成。菲索干涉是具有代表性的干涉检测方法,其检测精度主要由干涉仪标准镜的面形精度决定。当被检光学元件的面形精度与标准镜面形精度处于同等水平时,... 详细信息

随着大口径平面光学元件在科技领域的广泛应用,其面形高精度检测常采用干涉测量来完成。菲索干涉是具有代表性的干涉检测方法,其检测精度主要由干涉仪标准镜的面形精度决定。当被检光学元件的面形精度与标准镜面形精度处于同等水平时,标准镜的面形误差会对测量结果产生较大的影响。随着光学元件口径增大,标准镜装夹变形会对检测精度产生更显著的影响。为了获得更高的检测精度,须补偿干涉系统的系统误差。通过研究绝对检测技术得到标准镜的面形误差,并结合有限元法分析标准镜的装夹变形,消除标准镜面形误差及变形对测量结果的影响。首先完成Zernike多项式拟合法、奇偶函数法以及N次旋转法的理论分析,编写仿真程序模拟检测流程,分析检测方法的理论计算精度。对比后选取计算精度较高的N次旋转法作为目标检测方法;从而分析旋转次数及标准面面形精度对N次旋转法仿真精度的影响。其次,使用有限元法仿真320mm口径标准镜在不同装夹方式下产生的变形,针对侧面胶点支撑的装夹方式,分析不同胶点个数、不同胶点大小产生的装夹变形,获得装夹变形量化的理论结果。再次,分析装夹变形对N次旋转法仿真结果的影响,提出一种在大口径平面干涉测量过程中补偿系统误差的方法。最后,基于大口径干涉仪开展实验研究,针对320mm口径标准镜进行N次旋转绝对检测,获得标准镜装夹变形量并完成装夹变形补偿,得到320mm标准平面测量结果的残余误差PV值偏差小于3.34nm。通过理论推导、仿真分析和实验测量,验证了N次旋转绝对检测方法和大口径标准镜装夹补偿方法的可靠性,为大口径高精度光学元件面形干涉检测提供了重要补偿方法及技术支持。

关键词：光学测量绝对检测三平面互检装夹变形变形补偿

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子孔径拼接中系统误差的修正方法

应用光学 2013年第4期34卷 639-643页

作者：吴世霞田爱玲刘丙才张鹏飞西安工业大学陕西省薄膜与光学检测技术重点实验室 Optical Bioimaging Lab National University of SingaporeSingapore 117574

为了提高大口径光学元件子孔径拼接测量的检测精度,提出一种平面绝对测量技术,修正子孔径拼接过程中产生的系统误差。利用改进的三面互检法获得参考平面的面形数据,采用这些测量数据构建基于Zernike多项式的参考面面形误差修正波面,在... 详细信息

为了提高大口径光学元件子孔径拼接测量的检测精度,提出一种平面绝对测量技术,修正子孔径拼接过程中产生的系统误差。利用改进的三面互检法获得参考平面的面形数据,采用这些测量数据构建基于Zernike多项式的参考面面形误差修正波面,在拼接过程中运用误差修正波面对获得的子孔径测量数据进行实时修正,并与全口径直接测量结果进行对比,结果 PV(peak value,PV,峰谷值)误差从0.072 1λ减少到0.028 6λ。结果表明该方法有效减少了参考平面系统误差对拼接测量精度的影响,提高了大口径光学元件的检测精度。

关键词：光学测量子孔径拼接平面绝对检验三平面互检

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等倾与相移两种干涉仪的平面度绝对测量比对

计测技术 2018年第2期38卷 30-33页

作者：王青顾洋南京理工大学江苏南京210094

采用三平面互检测量方法,分别在等倾干涉仪和相移干涉仪上对平晶平面度进行了绝对测量比对。针对两种干涉仪不同的测量原理,提出了一种规范方法以从相移干涉仪数十万点阵测量数据中,提取符合等倾干涉仪测量数据格式的结果;对比等倾干涉... 详细信息

采用三平面互检测量方法,分别在等倾干涉仪和相移干涉仪上对平晶平面度进行了绝对测量比对。针对两种干涉仪不同的测量原理,提出了一种规范方法以从相移干涉仪数十万点阵测量数据中,提取符合等倾干涉仪测量数据格式的结果;对比等倾干涉仪的结构与环境控制方法,研究了相移干涉仪进行平面度绝对检验过程中的温度、温度梯度、温度分层情况,采取双重保温措施下达到了0.002μm的测量重复性,和0.01μm的绝对检验测量不确定度。与等倾干涉仪的检定结果的差异小于0.01μm,证明了相移干涉仪用于平晶的平面度检定工作可行性。

关键词：平面度相移干涉仪等倾干涉仪三平面互检

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三维面型的绝对测量

西安工业大学学报 2012年第6期32卷 431-436页

作者：田爱玲郑显锋刘丙才王红军王春慧郑颖西安工业大学光电工程学院西安710032 西安航天计量测试研究所西安710100 西安航空技术高等专科学校西安710065

传统的三平面互检法与ZYGO干涉仪自带的three-flats程序都不能实现三个平面的三维面型测量.以ZYGO干涉仪的GPI程序为基础,通过对仪器的局部改装,实现对三个平面的三维面型测量的一种改进的三平面互检法.将改进的三平面互检法的结果取其... 详细信息

传统的三平面互检法与ZYGO干涉仪自带的three-flats程序都不能实现三个平面的三维面型测量.以ZYGO干涉仪的GPI程序为基础,通过对仪器的局部改装,实现对三个平面的三维面型测量的一种改进的三平面互检法.将改进的三平面互检法的结果取其纵向面型信息与ZYGO干涉仪中three-flats程序直接测得的三个平面纵向面型的测量结果进行比较,结果PV值误差在0.001λ以内.验证了此法的准确性和可行性,为干涉法测量高精度面型技术的发展提供有力的支持.

关键词：干涉测量绝对检验三平面互检方位角平均算法

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子孔径拼接中系统误差的修正方法

子孔径拼接中系统误差的修正方法