子孔径拼接中系统误差的修正方法

作     者：吴世霞 田爱玲 刘丙才 张鹏飞 WU Shi-xia;TIAN Ai-ling;LIU Bing-cai;ZHANG Peng-fei

作者机构：西安工业大学陕西省薄膜与光学检测技术重点实验室 Optical Bioimaging LabNational University of SingaporeSingapore 117574 

出 版 物：《应用光学》 (Journal of Applied Optics)

年 卷 期：2013年第34卷第4期

页      面：639-643页

学科分类：080901[工学-物理电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 0803[工学-光学工程] 

基　　金：国家自然科学基金(51075322) 陕西省教育厅项目(12JS048) 

主　　题：光学测量 子孔径拼接 平面绝对检验 三平面互检 

摘      要：为了提高大口径光学元件子孔径拼接测量的检测精度,提出一种平面绝对测量技术,修正子孔径拼接过程中产生的系统误差。利用改进的三面互检法获得参考平面的面形数据,采用这些测量数据构建基于Zernike多项式的参考面面形误差修正波面,在拼接过程中运用误差修正波面对获得的子孔径测量数据进行实时修正,并与全口径直接测量结果进行对比,结果 PV(peak value,PV,峰谷值)误差从0.072 1λ减少到0.028 6λ。结果表明该方法有效减少了参考平面系统误差对拼接测量精度的影响,提高了大口径光学元件的检测精度。