检索结果-南通市图书馆

激光干涉仪面形检测结果与N、△N对应关系的探讨

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

云光技术 2012年第2期44卷 14-22页

作者：陈岩谢启明云南北方驰宏光电有限公司云南昆明650217

随着以Zygo激光干涉仪为代表的面形检测仪器在我国的普及和应用，对光学加工和检验人员来说，如何将激光干涉仪测试结果中的参数，如PV、SAG、IRR等与我国光学零件制图标准中的指标N、△N之间建立一定的对应关系，就显得尤为重要和迫切... 详细信息

随着以Zygo激光干涉仪为代表的面形检测仪器在我国的普及和应用，对光学加工和检验人员来说，如何将激光干涉仪测试结果中的参数，如PV、SAG、IRR等与我国光学零件制图标准中的指标N、△N之间建立一定的对应关系，就显得尤为重要和迫切。本文介绍了上述测量方法的原理，对相关指标进行了说明，在实际检测的基础上，应用统计的方法，对所得结果进行计算、分析和对比，试图找出PV、SAG、IRR等参数与N、△N之间的联系，供光学加工和检验人员参考。

关键词：面形检测干涉仪 N △N

维普期刊数据库评论

在线全文

维普期刊数据库

学校读者我要写书评

暂无评论

实验室大口径反射镜面形检测的质量控制

设备管理与维修 2016年第11期 22-24页

作者：易聪之全旭松中国工程物理研究院激光聚变研究中心四川绵阳621900

神光-Ⅲ主机装置中大口径光学元件的面形检测的质量控制对激光打靶精度有直接的影响。基于近红外大口径相移平面干涉仪测量反射镜面形为探讨对象,阐述实验室反射镜面形检测过程中的实验室环境控制、人员控制、面形检测仪器设备的使用、... 详细信息

神光-Ⅲ主机装置中大口径光学元件的面形检测的质量控制对激光打靶精度有直接的影响。基于近红外大口径相移平面干涉仪测量反射镜面形为探讨对象,阐述实验室反射镜面形检测过程中的实验室环境控制、人员控制、面形检测仪器设备的使用、校准及维护、光学元件反射镜后期质量控制等因素,并分析各因素对检测数据的精确性、可靠性的影响,为后续光学元件面形检测提供借鉴与参考。

关键词：大口径反射镜面形检测质量控制

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

基于数字全息术物场重建的面形检测

基于数字全息术物场重建的面形检测

Fizeau型激光干涉仪在面形检测中的应用

2010年西部光子学学术会议

作者：焦向阳赵建林王倩甘雪涛闫晓博西北工业大学理学院光信息科学与技术研究所陕西省光信息技术重点实验室

提出一种利用数字全息术对球面或非球面光学元件进行面形重建及检测的方法。实验上通过迈克耳孙干涉光路对已知参数的球面反射镜进行全息记录,然后利用计算机数值重建出其三维面形,并与已知参数的理想面形相比较得到待测样品的面形误差... 详细信息

提出一种利用数字全息术对球面或非球面光学元件进行面形重建及检测的方法。实验上通过迈克耳孙干涉光路对已知参数的球面反射镜进行全息记录,然后利用计算机数值重建出其三维面形,并与已知参数的理想面形相比较得到待测样品的面形误差。另外,实验中因参考光不是平行光等因素对待测样品再现相位产生的检测误差,通过与标准平面镜的再现相位相减进行消除,提高了该方法的测量精度。结果表明,该方法测量精度可以达到波长量级,从而为球面或非球面高精度检测提供了一种新的思路。另外,本文进一步利用最小二乘法对面形误差进行泽尼克多项式拟合,分析其所包含的像差,为面形校正提供依据。

关键词：数字全息术面形重建面形检测泽尼克多项式拟合

来源： cnki会议评论

在线全文

cnki会议

学校读者我要写书评

暂无评论

Fizeau型激光干涉仪在面形检测中的应用

基于单相机的柔性网状天线面板面形的检测技术研究

2013年（第五届）西部光子学学术会议

作者：荣飘张淳民西安交通大学理学院

随着科技的进步,现代干涉测量技术具有量程大、精度高、分辨率高以及操作方便等优点,在各项领域得到了广泛的应用。根据ZYGO干涉仪测量方案构建了一个测量样品面形的实验光路,并对一系列样品进行测量,通过对标准镜与被测样品表面之间所... 详细信息

随着科技的进步,现代干涉测量技术具有量程大、精度高、分辨率高以及操作方便等优点,在各项领域得到了广泛的应用。根据ZYGO干涉仪测量方案构建了一个测量样品面形的实验光路,并对一系列样品进行测量,通过对标准镜与被测样品表面之间所夹空气层的干涉图像分析,可以得到被测样品的表面面形状况,并可以通过MetroPro软件直接读取波峰波谷值PV、均方值rms、矢高Power、干涉条纹图、截面面形高度图、面形厚度假色图等,测量精度达到仪器指标。本文研究测量原理,扩展ZYGO干涉仪对测量薄膜厚度和曲率半径的应用。

关键词：面形检测 ZYGO干涉仪

来源： cnki会议评论

在线全文

cnki会议

学校读者我要写书评

暂无评论

基于单相机的柔性网状天线面板面形的检测技术研究

作者：成颖南京航空航天大学

学位级别：硕士

射电望远镜是复杂的系统工程,柔性网状天线面板是进行天文观测、深空探测等科学研究的重要部分。天线面板对于理想形状的偏离会导致电磁波辐射在相位上产生偏差。通过检测天线面板网点的位置信息,可以测得网面的形变程度和测量精度。然... 详细信息

射电望远镜是复杂的系统工程,柔性网状天线面板是进行天文观测、深空探测等科学研究的重要部分。天线面板对于理想形状的偏离会导致电磁波辐射在相位上产生偏差。通过检测天线面板网点的位置信息,可以测得网面的形变程度和测量精度。然而,网状面板的易形变特性决定了其检测的难度和复杂性。目前对网状天线面板面形的测量手段也各不相同,接触式方式的测量设备由于测头与网面的接触,在网面测量等高精度的测量场景下会造成不可忽略的网面变形和测量误差。为实现高效、高精度、低成本地检测柔性网面,本文实现了一种基于单相机的柔性网状天线面板面形的检测方法。现有的大型射电望远镜的天线面板均是由多块面板拼接而成,本文中的视觉检测技术是针对单块天线面板面形的检测技术研究。该视觉检测系统包括相机标定、网点检测、三维重构、应用分析及影响因素分析四个部分。本文的主要工作如下:(1)设计了一个可分辨方向的以点阵排列的圆点靶标,然后基于该靶标分别使用重心法和相位法来提取系统的精密位置信息,以及测量该视觉系统的重复性和最小分辨率。接着搭建了非接触式系统可检测两个正交方向上的平动位移,验证了该圆点靶标位置视觉检测方法的可行性,最后利用光学平板孔代替特制的圆点靶标亦可获得系统的位置信息。(2)针对网状面板网点的视觉检测方法的研究,提出基于摄影测量原理采用单相机作为采集网点的设备,分别介绍几种典型的角点检测算法,经对比实验后采用基于Harris角点检测算法对柔性网状面板的节点进行信息提取,并在实验基础上设计了更高效的抽样式网面节点信息提取方案。(3)介绍了用单相机对被测网面进行非接触式检测系统,以及相机成像模型和标定方法。在三维重构中,提出结合相机标定的参数和算得的位姿来实现面形重构,根据理论面形方程进行曲面拟合,统计面形误差。利用棋盘靶标对绝对平整的光学平台台面进行面形检测,获得的测量值为该检测技术的系统测量误差。通过系统重复性实验,验证了该视觉检测系统的可行性。(4)验证了本文提出的面形检测技术可基于不同靶标对平面面板进行面形检测分析。分别采用棋盘格靶标和圆点靶标进行相机标定,对平面网状面板的面形和曲面网状面板的面形进行检测分析,经两者实验结果对比可得,基于圆点靶标的网面检测精度更高,数据显示利用本文中的网状面板的尺寸可接收到分米波段,利用该视觉检测技术可测得1cm的观测波段,因此该视觉检测技术的测量精度远大于所需要的精度要求,可为现代天文学和空间技术的发展提供技术参考。实验结果分析表明,本课题所研究的检测技术对柔性网面面形检测的方法属于非接触式高效率测量,过程简单,自动化程度高,为发展网状天线面板面形的测量技术提供新的思路。

关键词：位置检测面形检测视觉靶标相机标定三维重构

同方学位论文库评论

在线全文

同方学位论文库

学校读者我要写书评

暂无评论

基于摄影测量的定日镜面形误差检测方法研究

中国光学（中英文） 2023年第2期16卷 425-433页

作者：魏秀东张凡许英朝长春理工大学空间光电技术研究所吉林长春130022 厦门理工学院光电与通信工程学院福建厦门361024

在塔式太阳能热发电中,定日镜面形误差对镜场光学效率具有重要影响,因此需要对定日镜面形误差进行检测。定日镜一般由多个子镜拼接而成,子镜的倾斜角度误差是定日镜面形误差的重要组成部分。本文提出一种基于摄影测量的定日镜子镜倾斜... 详细信息

在塔式太阳能热发电中,定日镜面形误差对镜场光学效率具有重要影响,因此需要对定日镜面形误差进行检测。定日镜一般由多个子镜拼接而成,子镜的倾斜角度误差是定日镜面形误差的重要组成部分。本文提出一种基于摄影测量的定日镜子镜倾斜角度误差的检测方法,即在已知定日镜子镜外形尺寸的条件下,利用摄影成像原理计算出定日镜子镜4个角点的空间位置坐标,进而求出子镜的法线方向,再利用所求得的法线计算出子镜的倾斜角度,最终实现对定日镜子镜倾斜角度误差的检测。本文详细阐述了该方法的测量原理,推导了计算公式,并利用平面镜与相机进行了相关验证实验。通过在不同距离下对不同倾斜角度的平面镜进行测量实验,得出测量镜面倾斜角度与实际倾斜角度的偏差约为0.1°~0.3°,实验结果表明:该方法能够较准确地检测定日镜子镜的倾斜角度误差,验证了该方法的正确性和可行性。

关键词：定日镜子镜摄影测量法线方向倾斜角度面形检测

维普期刊数据库博看期刊

基于空洞空间卷积网络的点衍射干涉图像相位解包技术

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

光学精密工程 2024年第2期32卷 208-220页

作者：王同盟高芬李兵西安工业大学光电工程学院陕西西安710032 西安交通大学机械制造系统工程国家重点实验室陕西西安710049

为满足点衍射干涉测量对解包算法高精度、高效以及抗干扰的检测需求。提出一种基于空洞空间卷积的相移点衍射干涉图像的相位解包方法,通过将自编码器结构和空洞空间卷积结合获得更高的相位解包精度,实现对包裹相位图像可控的多尺度特征... 详细信息

为满足点衍射干涉测量对解包算法高精度、高效以及抗干扰的检测需求。提出一种基于空洞空间卷积的相移点衍射干涉图像的相位解包方法,通过将自编码器结构和空洞空间卷积结合获得更高的相位解包精度,实现对包裹相位图像可控的多尺度特征提取。根据点衍射图像特点制作的大量多样化数据集对其进行训练和优化,从而实现准确识别包裹相位所在阶次,最终可以快速处理包裹图像得到高精度的解包结果。利用所提方法对实际点衍射干涉图像进行处理,并与ESDI专业干涉图像处理软件以及其他解包算法处理结果进行比对,结果表明:本文解包结果与软件枝切法解包处理结果均方根误差值为0.0222 rad,面形拟合结果与软件面形拟合结果峰谷差值仅为0.0121λ、均方根差值仅为0.0042λ;时间效率上,完成一幅图像的处理平均仅需0.035 s,而传统方法均大于1 s。与其他方法相比,所提方法在处理包裹相位方面具有快速、高精度的特性,为点衍射干涉图像处理的高精度相位解包提供了新的可行方案。

关键词：干涉测量面形检测干涉成像神经网络相位解包

用于反射镜拼接干涉系统的高精度柔性铰链转台研究

同方期刊数据库博看期刊评论

在线全文

学校读者我要写书评

暂无评论

激光与光电子学进展 2024年

作者：王慧云姜帅康魏珅杜学维王秋平中国科学技术大学国家同步辐射实验室

在拼接干涉系统中，为减少机械振动和相移不准确引起的相位测量误差和激光回程误差对测量结果的影响，需要采用近零光程差的方式测量子孔径面形。本文设计了一套基于柔性铰链的纳弧度级二维转台用于待测镜姿态的精密调整。通过有限元仿... 详细信息

在拼接干涉系统中，为减少机械振动和相移不准确引起的相位测量误差和激光回程误差对测量结果的影响，需要采用近零光程差的方式测量子孔径面形。本文设计了一套基于柔性铰链的纳弧度级二维转台用于待测镜姿态的精密调整。通过有限元仿真对转台进行模态分析，并通过实验验证了固有频率，取得较好的一致性。该转台具备调整待测镜俯仰和翻滚姿态的功能，其转角分辨力优于50 nrad。实验结果表明，转台调整角度与干涉仪测量的待测镜实际姿态变化角度的一致性较好。该拼接干涉系统对大口径平面镜的拼接测量结果与长程轮廓仪结果对比显示，两者的面形高度和斜度较为一致，所搭建的拼接干涉系统满足初步测量需求。

关键词：计量学柔性铰链 X射线反射镜拼接干涉面形检测

在线全文

同方期刊数据库

学校读者我要写书评

暂无评论

主动反射面面形实时计算与检测方法研究

电子测量技术 2023年第17期46卷 51-56页

作者：张庆海刘圣乾于春雨赵正旭青岛理工大学机械与汽车工程学院青岛266520

主动反射面技术在射电望远镜发展中具有重要意义,为提高主动反射面技术中面形检测的实时性,减小环境因素造成的检测误差,建设了主动反射面面形监测研究平台,提出一种利用测距传感器的主动反射面面形计算与检测方法。首先确定主动反射面... 详细信息

主动反射面技术在射电望远镜发展中具有重要意义,为提高主动反射面技术中面形检测的实时性,减小环境因素造成的检测误差,建设了主动反射面面形监测研究平台,提出一种利用测距传感器的主动反射面面形计算与检测方法。首先确定主动反射面基准面,其次将面板运动看作旋转运动,利用罗德里格旋转公式得到面板的旋转矩阵,最后利用面板的旋转矩阵计算面板当前位姿。仿真结果显示,该方法具有可行性,计算1625个节点下的面板位姿耗费时长为5070 ms,能够提高面形检测的实时性,为提高主动反射面运行精度提供参考,使采用主动反射面技术的射电望远镜达到更好的性能指标。

关键词：大口径射电望远镜主动反射面面形检测测距传感器实时性