Fizeau型激光干涉仪在面形检测中的应用
作者单位：西安交通大学理学院
会议名称：《2013年（第五届）西部光子学学术会议》
会议日期：2013年
学科分类：080901[工学-物理电子学] 0809[工学-电子科学与技术（可授工学、理学学位）] 08[工学] 080401[工学-精密仪器及机械] 0804[工学-仪器科学与技术] 0803[工学-光学工程]
摘 要：随着科技的进步,现代干涉测量技术具有量程大、精度高、分辨率高以及操作方便等优点,在各项领域得到了广泛的应用。根据ZYGO干涉仪测量方案构建了一个测量样品面形的实验光路,并对一系列样品进行测量,通过对标准镜与被测样品表面之间所夹空气层的干涉图像分析,可以得到被测样品的表面面形状况,并可以通过MetroPro软件直接读取波峰波谷值PV、均方值rms、矢高Power、干涉条纹图、截面面形高度图、面形厚度假色图等,测量精度达到仪器指标。本文研究测量原理,扩展ZYGO干涉仪对测量薄膜厚度和曲率半径的应用。