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作者

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  • 3 篇 范正修
  • 3 篇 裴舒
  • 3 篇 白海力
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  • 3 篇 邵建达
  • 3 篇 易葵
  • 3 篇 姜恩永
  • 3 篇 雷洁红
  • 3 篇 唐永建
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  • 2 篇 王占山
  • 2 篇 袁利祥
  • 2 篇 王存达
  • 2 篇 吴卫东
  • 1 篇 徐正良

语言

  • 19 篇 中文
检索条件"主题词=软X射线多层膜"
19 条 记 录,以下是1-10 订阅
排序:
45°角入射的13.1nm软x射线多层膜的研制
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中国激光 1998年 第6期25卷 565-569页
作者: 邵建达 易葵 范正修 王润文 袁利祥 中国科学院上海光机所
报道了对45°入射角高反的13.1nm射线多层膜反射镜的研制情况。利用在星光装置中进行的射线激光等离子体实验测量多层膜反射率的方法,获得了26.2%的实测反射率,该反射率已达到理论反射率的70%。
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低温热处理CoN/CN软x射线多层膜的界面互扩散研究
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金属学报 1998年 第4期34卷 406-411页
作者: 白海力 姜恩永 天津大学应用物理学系 天津300072
在473—523K的低温退火条件下,通过对CoN/CN软x射线多层膜一级调制峰强度增强的定量观测,研究了CoN/CN软x射线多层膜的界面互扩散行为,并测得低至10-25m2s-1的有效扩散系数通过和Co/C多层膜的结果相比较,发现N掺杂使CoN/CNx射... 详细信息
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Co/C软x射线多层膜的时效研究
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科学通报 1997年 第7期42卷 693-696页
作者: 白海力 姜恩永 田仁玉 王存达 天津大学应用物理学系 天津300072
软x射线多层膜是由折射系数高低不同的两种材料交替沉积而构成的一维周期结构.在软x射线多层膜的实际应用中,如显微学、宇航学和显微全息等方面,具有高反射率是十分重要的.因此,研究x射线多层膜的时间效应有实际意义.本文研究了Co/Cx... 详细信息
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波长小于10nm的软x射线多层膜制备技术
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材料导报(纳米与新材料专辑) 2009年 第1期23卷 245-246,250页
作者: 雷洁红 邢丕峰 唐永建 吴卫东 中国工程物理研究院 绵阳621900
x射线短波段区域(1~10nm)高反射率多层膜的制备对x射线光学的研究具有十分重要的意义。该波段要求镀过程中能减小界面扩散,实现厚控制,从而严格限制了制备技术的应用。介绍了x射线短波段多层膜的发展现状和制备技术,主... 详细信息
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常用间隔层材料软x射线多层膜的设计
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激光技术 2011年 第3期35卷 415-417页
作者: 雷洁红 段浩 邢丕峰 唐永建 西华师范大学 物理与电子信息学院 南充637002 中国工程物理研究院 激光聚变研究中心 绵阳621900 绵阳师范学院 化学与化学工程学院 绵阳621000
为了研究常用间隔层材料的软x射线多层膜的材料设计,利用Lawrence-Livermore国家实验室提供的软x射线多层膜设计程序进行模拟计算,得到了x射线波段内的具有高反射率的系。结果表明,Mo在相当大的波段范围内具有良好的光学特性;除了在... 详细信息
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Co/C,CoN/CN软x射线多层膜的周期结构热稳定性研究
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科学通报 1997年 第23期42卷 2503-2506页
作者: 白海力 姜恩永 王存达 田仁玉 天津大学应用物理学系 天津300072
软x射线多层膜经常在强光束的照射下,做为反射镜使用。由于同步辐射等强光束携带很高的能量,使软x射线多层膜镜在工作时的温升可达几百度。软x射线多层膜为亚稳结构,周期仅为纳米量级,如此高的温升会对其周期结构造成不同程度的破坏,从... 详细信息
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用磁控溅射法制备软x射线多层膜
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光学精密工程 1995年 第1期3卷 16-20页
作者: 张俊平 马月英 高宏刚 陈斌 裴舒 吕俊霞 曹健林 中国科学院长春光学精密机械研究所 应用光学国家重点实验室
本文介绍用直流-射频平面磁控溅射法制备射线多层膜的初步实验结果。在一定工艺条件下,采用计算机定时控制厚的方法,严格按照设计周期制备了多层膜样品,并给出了X射线衍射仪小角衍射的检测结果。
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同步辐射软x射线多层膜反射率计测量控制系统
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光学精密工程 1995年 第1期3卷 45-49页
作者: 徐正良 孙剑辉 中国科学院长春光学精密机械研究所
本文介绍我们首先使用一块射线多层膜反射镜作为色散元件而研制的同步辐射射线反射率计的硬件结构、功能与特点,并报告了实测结果。
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大口径均匀软x射线多层膜制备方法研究
大口径均匀软X射线多层膜制备方法研究
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第六届全国激光科学技术青年学术交流会
作者: 金春水 马月英 裴舒 林强 曹健林 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
本文介绍了基于速度调整技术的均匀软x射线多层膜制备方法,并利用改进后的磁控溅射镀装置,在φ150mm硅片上进行了13um Mo/Si多均匀层
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不连续金属薄对短波长软x射线多层膜反射特性的影响
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中国激光 1998年 第4期25卷 309-312页
作者: 邵建达 易葵 范正修 王润文 袁利祥 中国科学院上海光机所
讨论了不连续金属薄射线多层膜反射特性的影响。给出了理论模型,具体计算了在短波段的射线多层膜反射率与不连续金属岛状在基底表面覆盖率之间的关系,修正了文献中的评估方法。
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