低温热处理CoN/CN软X射线多层膜的界面互扩散研究

作     者：白海力 姜恩永 

作者机构：天津大学应用物理学系天津300072 

出 版 物：《金属学报》 (Acta Metallurgica Sinica)

年 卷 期：1998年第34卷第4期

页      面：406-411页

核心收录：

学科分类：0806[工学-冶金工程] 08[工学] 0818[工学-地质资源与地质工程] 0815[工学-水利工程] 080501[工学-材料物理与化学] 0805[工学-材料科学与工程（可授工学、理学学位）] 0813[工学-建筑学] 0802[工学-机械工程] 0703[理学-化学] 0814[工学-土木工程] 0801[工学-力学（可授工学、理学学位）] 

基　　金：国家自然科学基金!59672O24 国家教委博士点基金!D096006 北京中关村地区联合分析测试中心资助项目 

主　　题：软X射线多层膜 掺杂 有效扩散系数 临界波长 

摘      要：在473—523K的低温退火条件下，通过对CoN／CN软X射线多层膜一级调制峰强度增强的定量观测，研究了CoN／CN软X射线多层膜的界面互扩散行为，并测得低至10-25m2s-1的有效扩散系数通过和Co/C多层膜的结果相比较，发现N掺杂使CoN／CN软X射线多层膜的界面互扩散行为明显不同于Co／C多层膜，并具有如下特点：（1）有效扩散系数和宏观扩散系数较小；（2）扩散激活能较大；（3）临界波长相等Co—N，C—N之间存在的强化学键以及N原子的填隙，减小了结构弛豫和界面扩散这表明通过N掺杂有希望改善Co／C软X射线多层膜的结构热稳定性.